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镜像式读数头

发布时间:2017/2/5 21:13:07 访问次数:469

    镜像式读数头。直读式和ICR18650-22F分光式光栅读数头,都是利用指示光栅和主光栅形成的莫尔条纹信号进行工作的。镜像式光栅读数头则不同,它是利用主光栅和它本身的镜像所产生的莫尔条纹信号进行工作的。镜像式光栅读数头的典型光路图。

   透射镜像式光栅读数头的光路图。光源1的光束经析光镜’7和聚光镜6出射平行光束照明主光栅3,而物镜4和反射镜5构成望远系统,主光栅经此系统可在其上产生自身的镜像,主光栅3和自身镜像形成光闸莫尔条纹,再经聚光和折光镜7成像在光电接收器2上,获得光闸莫尔条纹的光电信号。

   反射镜像式光栅读数头的光路图。主光栅3为反射式光栅。其泵统的工作原理与相同。

   镜像式光栅读数头具有两个显著的优点:一是无须考虑光栅副间的间隙,它可得到无间隙的莫尔条纹信号;二是输出信号的频率增加一倍,测量分辨率提高一倍,因为镜像与主光栅的运动速度相同而方向相反的原因。但这类型的读数头需要一个量的成像物镜像式读数头早期的应用偏重于小栅距的透射光栅,实际上也适用于较粗栅距的光栅和反射式光栅。


    镜像式读数头。直读式和ICR18650-22F分光式光栅读数头,都是利用指示光栅和主光栅形成的莫尔条纹信号进行工作的。镜像式光栅读数头则不同,它是利用主光栅和它本身的镜像所产生的莫尔条纹信号进行工作的。镜像式光栅读数头的典型光路图。

   透射镜像式光栅读数头的光路图。光源1的光束经析光镜’7和聚光镜6出射平行光束照明主光栅3,而物镜4和反射镜5构成望远系统,主光栅经此系统可在其上产生自身的镜像,主光栅3和自身镜像形成光闸莫尔条纹,再经聚光和折光镜7成像在光电接收器2上,获得光闸莫尔条纹的光电信号。

   反射镜像式光栅读数头的光路图。主光栅3为反射式光栅。其泵统的工作原理与相同。

   镜像式光栅读数头具有两个显著的优点:一是无须考虑光栅副间的间隙,它可得到无间隙的莫尔条纹信号;二是输出信号的频率增加一倍,测量分辨率提高一倍,因为镜像与主光栅的运动速度相同而方向相反的原因。但这类型的读数头需要一个量的成像物镜像式读数头早期的应用偏重于小栅距的透射光栅,实际上也适用于较粗栅距的光栅和反射式光栅。


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