微观技术在公众的感觉中意味着“小”，在科学中是指十亿分之一。因此，特征图AD8185ARU形尺寸和栅条的宽度以微米( micrometer)来表示，如0.018 ym。纳米(1×10』m)正在被广泛使用，I：述的栅条宽度则力180 nm（见图1.17）。1叫。

   在半导体协会的国际技术发展路线图( ITRS)中，对半导体通向未来纳米的道路做了描绘。栅条的宽度到2016年会达到

10 nm或更小。到达这些量级，器件的工作部分仅由几个原子或分子组成。

   这并不容易实现。随着器件尺寸变得更小，会有一系列可预见的事情，其优点是更快的运行速度和更高的密度。然而，更小的尺寸要求更洁净的环境、增加工艺控制、更精密的图形化设备及更多的事项。

   晶圆的直径将会达到450 mm以上，工厂的自动化水平也将遍及到机器之间，并且带有集成的工艺监测系统。更多高水平的工艺将会要求更高产量的晶圆制造厂，这些工厂具有更精密的[艺自动化和工厂管理。，这些大工厂的成本将高达100亿美元“1。来自巨大投资的压力迫使研发和建厂的速度更快。