CCD作为一种新型的光电器件，在精AAT3520IGY-3.08-50-T1密测量及自动检测领域得到了广泛应用。与其他光电器件相比，CCD有许多优点，它体积小，可靠性好，响应速度快，动态范围大，有准确恒定的光敏元件几何尺寸和间隔，不需附加机械结构，完全依靠电学方法完成对空间信息的采样转换、存储和输出，具有较高的采样速率。按照光敏元件排列结构的不同，CCD可分为线阵和面阵。线阵CCD可完成一维光强空间分布的探测，而面阵CCD能完成二维全场光强空间分布的探测。

    图11.24所示为CCD作为光电转换和定量基准，实现零件外形尺寸非接触测量的基本原理。从图11.24可得被检零件的影像尺寸，三为CCD器件之间的距离；Ⅳ1、Ⅳ2为CCDi和CCD2的阵列像素；ni、玎2分别为CCDi和CCD2的亮光敏像素；P为光敏单元间隔尺寸。如果系统光学放大倍数为届则零件的外形尺寸，通过测量亮光敏元件数ni和，z2，即可实现零件一维尺寸D的检测。因此，当采用面阵CCD作为光电探测器时，通过在二维空间测量亮光敏元件的坐标位置，即可实现被测零件二维全场形位的检测。

   CCD用于几何尺寸测量的上述二值化处理方法，其测量分辨率受光敏元间距尸的约束，其单边测量分辨率为1个光敏单元。为了减小这种约束，提高测量精度，提出了多种提高线阵CCD尺寸分辨率的解调方法，如菲涅耳直边衍射法等。

   除此之外，CCD被广泛用于图像和干涉条纹检测，精度可达微米级，可实现动态记录和结果显示。