在用实际仅器进行测量时，由于仪IDT6168器本身的某些缺陷必然产生一定的测量误差，这是由于仪器在原理、结构和制造装配等方面的不完善所造成的。

   光学零件存在加工误差，使得光学系统的曲率、厚度等发生变化，导致系统的焦距、放大倍率等特性参数的大小与理论值之间存在误差，同时光学系统设计中的各种残留像差，尤其是畸变的存在，均对测量精度造成影响。

   由于机械零件的加工装配误差或者使用中的磨损、变形等，使得光学零件的间距产生误差，同时导致光学零件发生偏转或偏心，无法保证光学系统达到设计的成像质量。另外CCD像机与视差仪壳体采用螺纹连接固定，由于搬动或振动的影响，光学系统最后一面与CCD靶面之间的距离可能会发生位置变化，造成像面失调，从而严重影响了成像的清晰度。此外，物镜调焦时产生的空回以及手轮的刻度误差，均对系统测量有所影响。

   系统进行图像采集时，可能无法给CCD提供最佳动态范围和光谱响应条件，这时CCD的转换效率和灵敏度等都会有所降低。同时CCD像元在制造时难免有缺陷，如像元水平和垂直方向不垂直等。另外虽然在测量过程中，对图像噪声进行了处理，噪声的影响还是存在的。

   此外，视差仪的测量方法上存在一定的近似性，如在对视差角与离焦量芙系式的推倒过程中，采用相应角度的弧度用正弦值来代替，使该仪器在设计上就存在固有误差，即原理误差。但其数值不大，可以忽略。