光导纤维传感器的出现，在传递图像和检测技术方面又开拓出一片新的天地，为光ADS7828EB/250电检测技术小型化等开辟了广阔前景。光纤检测技术可以解决传统检测技术难以解决或无法解决的许多问题，如在噪声、干扰、污染严重的工业过程中检测，或者在海洋、反应堆中，自动检测设备或智能机器人必然会遇到高压、高温、辐射、化学腐蚀等极端困难的条件，光纤检测技术则具有独特的优越性，而且具有高精度、高速度、非接触测量等特点。由于光信息传输的独特优点，光纤检测智能化将比其他检测技术更有吸引力，特别是小型集成光学元件与微计算机结合的智能化全光纤检测系统，其前途是无量的。此外，光栅和莫尔条纹的应

用，对光电检洌的数字化提供了有利条件。

   由上所述可以看出，新的光源或新的光电器件的发明，会大大推动光电检测技术的发展。

   近几十年来工程领域的加工精度已达到0.1 Wn甚至0.01 pun的水平，它对测量技术提出了更高的要求，迫切需要新的手段，因此先后出现了各种纳米测量显微镜，如1982年问世的隧道显微镜，它用测量电荷密度的方法测量分子和原子级的微小尺寸，但只能用于测量导体表面。1986年研制成功的原子力显微镜，用测量触针与被测器件之间原子力和离子力的方法来测量微小尺寸，因此可用于导体或非导体的测量，其缺点是，针尖与样品接触易使样品表面划伤。根据原子力显微镜的思路，利用被测表面的不同物理性质对受迫振动悬臂梁的影响，通过测量其共振频率的变化来测量被测表面，相继开发出激光力显微镜、静电力显微镜等。这些仪器都可以达到纳米甚至亚纳米级的分辨率。它们的分辨率大都是用驱动探针的压电陶瓷的电压与位移关系得到的，但是压电陶瓷的滞后特性和蠕变使测量结果并不可信。为了准确测出这些纳米级测量显微镜的精度，还必须溯源到光的波长上，因此迫切需要研制精度达到纳米和亚纳米级的干涉仪，来实现纳米尺度的测量和标定，因而又相继出现了精度可达0.1 nm昀激光外差干涉仪和精度可达0.01 nm的X光干涉仪。在纳米和亚纳米级

精度的光电测量系统中，为了保证系统的稳定可靠，对环境的要求是很高的，环境温度不稳定、振动、光源波动的影响等，都会使纳米尺度的测量精度受到影响。因此系统中机械传动或光学调节往往需要闭环控制，而机械支撑采用无间隙无摩擦的柔性铰链是一个很好的办法。