照明光源和物镜在物的两侧，AD589TH物平面上各部分的透射率不同而调制照明光。缺陷的玻璃板时，得到均匀的亮视场。

   反射光亮视场照明

    照明光源和物镜在物的同侧，物平面上各部分的反射率不同而调制照明光。缺陷的漫反射表面时，得到均匀的亮视场。

   透射光暗视场照明

   照明光源和物镜在物的两侧，倾斜入射的照明光束在物镜侧向通过，当物体为无缺陷的玻璃板时，无光线进入物镜成像，因此得到均匀的暗视场。物体有缺陷时，光束通过物体内部结构的衍射、折射和反射射向物镜而形成物体缺陷的像。

   反射光暗视场照明

   照明光源和物镜在物的同侧，从物镜旁侧入射到物体的照明光束经反射后在物镜侧向通过，当物体为无缺陷的反射镜面时，无光线进入物镜成像，得到均匀的暗视场。物体有缺陷时，光束通过衍射和反射射向物镜而形成物体的像。