光电检测技术的发展与新型光源、新型光AD536ASD/883B电器件、微电子技术、计算机技术的发展密不可分，自从1960年世界上第一台红宝石激光器与氦一氖激光器问世以来，由于激光光源的单色性、方向性、相干性和稳定性极好，人们在很短时间内就研制出各种激光干涉仪、激光测距仪、激光准直仪、激光跟踪仪和激光雷达等，大大推动了光电测试技术的发展。

   1970年贝尔实验室研制出第一个固体摄像器件(CCD)，由于它的小巧、坚固、低功耗、失真小、工作电压低，重量轻、抗振性好、动态范围大和光谱范围宽等特点，使得视觉检测进入一个新的阶段，它不仅可以完成人的视觉触及区域的图像测量，而且对于人眼无法涉及的红外和紫外波段的图像测量也变成了现实，从而把光学测量的主观性（靠人眼瞄准与测量）发展成客观的光电图像测量。

   光导纤维自从20世纪60年代问世以来，在传递图像和检测技术方面又发展出一个新的天地，光纤通信已经风靡全球，而光纤传感几乎可以测量各种物理量，尤其在一些强电磁干扰、危及人生命安全的场合可以安全地工作，而且具有高精度、高逮度、非接触测量等特点。可以说一个新的光源、一个新的光电器件的发明都大大推动了光电检测技术的发展。

   近十几年来工程领域的加工精度已达到0.1斗m，甚至0. 01 ym的水平。它对测量技术提出了更高的要求，迫切需要开拓新的测量手段，因此先后出现了各种纳米测量显微镜，如隧道显微镜的问世、原子显微镜的研制成功。为了准确测出这些纳米尺度测量显微镜的精度，还必须溯源到光的波长上，因此，迫切需要研制精度达到纳米和亚纳米级的干涉仪来实现纳米尺度的测量和标定，因而，又相继出现了精度可达到0. Inm的激光外差干涉仪和精度可达0.01nm的X光干涉仪。