彗星像差
发布时间:2017/10/30 21:19:58 访问次数:723
彗星像差(coma),简称彗差。是一种U4065B-MFLG3非对称像差。最低阶的是zi(X方丨句)、Z:(Y方向),如图7.77(a)所示,在离轴的位置上,光线经过透镜的不同部位聚焦在不同位置的焦平面卜,如Fl、F2。它对光刻△艺所造成的影响是当某图形的左右两侧的其他图形分布不同时,由于彗差散射出来的光不一佯,造成左右两侧的空问像不对称。一种简 单的方法由图7.77(b)所示,由于彗差的非对称性,左有两 根线将会被测得不同的线宽。彗差还会造成空闸像的发散(I艺窗口下降)和空间平移(套刻的漂移)。所以彗差是必须被消除的。
彗星像差(coma),简称彗差。是一种U4065B-MFLG3非对称像差。最低阶的是zi(X方丨句)、Z:(Y方向),如图7.77(a)所示,在离轴的位置上,光线经过透镜的不同部位聚焦在不同位置的焦平面卜,如Fl、F2。它对光刻△艺所造成的影响是当某图形的左右两侧的其他图形分布不同时,由于彗差散射出来的光不一佯,造成左右两侧的空问像不对称。一种简 单的方法由图7.77(b)所示,由于彗差的非对称性,左有两 根线将会被测得不同的线宽。彗差还会造成空闸像的发散(I艺窗口下降)和空间平移(套刻的漂移)。所以彗差是必须被消除的。
相关技术资料- 10-30彗星像差
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