光刻是通过镜头将掩膜版上的图像成像到涂有光刻胶的硅片上。现代光刻机的光学系统分为照明系统和成像系统。照明系统的主要功能是将光源输出的光进行调整, V52C4258Z70以实现不同的部分相干(oartially∞herent)状态,满足不同形状、密度的图形曝光要求。

   照明系统使用了科勒(K。hler)照明方式,如图7,52所示,即在掩膜版平面上能够接收到对应最大斜角度的平行人射光。科勒照明方式的特点是掩膜版上任何一点都能够接收到从各个角度照射过来的而且是平行的光线。使用了科勒照明方式,照明系统中的缺陷,尤其是散射片上的缺陷将不会被投影到掩膜版上,造成掩膜版成像缺陷。而且,后面会讨论到, 在散射片上出射的光需要尽量做到在不同点上不相干(non-∞herent)。