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输出一个正比于工件表面轮廓高度变化的电压值

发布时间:2017/7/25 21:09:22 访问次数:1394

   保证在检测透镜的焦深范围内时,y与x呈线性关系。由式( 11.16)可知,N80C186XL12如果我们设法探测到反射光点的位置变化y,则工件表面轮廓高度的变化量x就可得到。若在检测平面放置一个直径为3 mm呈对半形分布的接收光纤束,该光纤束的两个分支经光纤耦合连接头分别接到两个光电二极管上,这两个光电二极管的输出端分别接到一个高阻抗型差分放大器的同相输入端和反相输入端。其后接低通滤波器,输出一个正比于工件表面轮廓高度变化的电压值,再经一个12位A/D变换器,由计算机采集并处理各种数据,最后得到工件的表面粗糙度值。

   采用光点变位法在线测量表面粗糙度的优点是测量的精度较高,其缺点主要有仪器结构复杂,仪器调整木方便,测量范围较小,并且测量速度也较慢。

   临界角法就是把照射在被测表面上的光的焦点位置测量出来,从而检测表面粗糙度。当被测表面位于物镜的焦点B处时,通过物镜l后变为平行光,再经直角棱镜2反射到两个光敏检测器D和E中。设棱镜的斜面与平行光轴的光束所夹的角为全反射临界角,那么射入到光敏检测器E和D的光强就相等。

   当被测表面靠近物镜位置A处时,光经物镜1后变为发散光。这时,位于光轴上方的光相对棱镜斜面所夹的角比临界角小,所以部分光束向棱镜外散出(虚线箭 头),这样不能全反射到光敏探测器D中,位于光轴下方的光相对棱镜斜面所夹的角比临界角大,所以反射光全能反射到光敏探测器E中。

   保证在检测透镜的焦深范围内时,y与x呈线性关系。由式( 11.16)可知,N80C186XL12如果我们设法探测到反射光点的位置变化y,则工件表面轮廓高度的变化量x就可得到。若在检测平面放置一个直径为3 mm呈对半形分布的接收光纤束,该光纤束的两个分支经光纤耦合连接头分别接到两个光电二极管上,这两个光电二极管的输出端分别接到一个高阻抗型差分放大器的同相输入端和反相输入端。其后接低通滤波器,输出一个正比于工件表面轮廓高度变化的电压值,再经一个12位A/D变换器,由计算机采集并处理各种数据,最后得到工件的表面粗糙度值。

   采用光点变位法在线测量表面粗糙度的优点是测量的精度较高,其缺点主要有仪器结构复杂,仪器调整木方便,测量范围较小,并且测量速度也较慢。

   临界角法就是把照射在被测表面上的光的焦点位置测量出来,从而检测表面粗糙度。当被测表面位于物镜的焦点B处时,通过物镜l后变为平行光,再经直角棱镜2反射到两个光敏检测器D和E中。设棱镜的斜面与平行光轴的光束所夹的角为全反射临界角,那么射入到光敏检测器E和D的光强就相等。

   当被测表面靠近物镜位置A处时,光经物镜1后变为发散光。这时,位于光轴上方的光相对棱镜斜面所夹的角比临界角小,所以部分光束向棱镜外散出(虚线箭 头),这样不能全反射到光敏探测器D中,位于光轴下方的光相对棱镜斜面所夹的角比临界角大,所以反射光全能反射到光敏探测器E中。

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