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无论是光电仪器还是精密机械设备

发布时间:2017/1/5 20:07:37 访问次数:1661

   无论是光电仪器还是精密机械设备,其自身精度是一项重要的技术指标。 FQPF12N60C随着科学技术的发展,对于光电精密仪器的精度也提出了越来越高的要求。例如在半导体工业中,64KB的随机存储器线宽为2ym~3p.m,而256KB存储器的线宽达到0.7ym,这就要半导体的光刻设备和测试仪器本身的精度能达到亚微米级。由此可见,精度设计是仪器设计成败的关键。

   光电精密仪器的精度无论多高,总是存在着误差。进行精度分析的目的是找出产生误差的根源和规律,分析误差对仪器设备精度的影响,以便合理地选择方案、设计结构、确定参数和设置必要的补偿环节,从而在保证经济性的基础上达到较高的精度。

   仪器精度理论主要研究影响仪器精度的各项误差的来源及特性,研究误差的评定和估计方法,掌握误差的传递、转化和相互作用的规律、误差合成与分配原则,从而为精度设计提供可靠的科学依据。

   1.误差定义


   在对某物理量进行测量的过程中,所测得的数值与标一称值(或真值)之间的差值称为误差,即

   真误差值=测量值一标称值

   误差的大小反映了测量值对于栎称值的偏离程度,它具有以下特点。


   (1)任何测量手段无论精度多高,总是有误差存在。即真误差是客观存在的,永远不会等于零。

   (2)多次重复测量某物理参数时,各次的测量值并不相等,这是误差不确定性的反映。只有量仪的分辨率太低时,才会出现测量值相等的情况。

   (3)真误差是未知的,因为通常真值是未知的。

   为了能正确地表达精度,人们在长期实践中,确定了以下基本概念。

   (1)理论真值(即名义值)。它是设计时给定的或是用数学、物理公式计算的给定值,如零件的名义尺寸等。

   无论是光电仪器还是精密机械设备,其自身精度是一项重要的技术指标。 FQPF12N60C随着科学技术的发展,对于光电精密仪器的精度也提出了越来越高的要求。例如在半导体工业中,64KB的随机存储器线宽为2ym~3p.m,而256KB存储器的线宽达到0.7ym,这就要半导体的光刻设备和测试仪器本身的精度能达到亚微米级。由此可见,精度设计是仪器设计成败的关键。

   光电精密仪器的精度无论多高,总是存在着误差。进行精度分析的目的是找出产生误差的根源和规律,分析误差对仪器设备精度的影响,以便合理地选择方案、设计结构、确定参数和设置必要的补偿环节,从而在保证经济性的基础上达到较高的精度。

   仪器精度理论主要研究影响仪器精度的各项误差的来源及特性,研究误差的评定和估计方法,掌握误差的传递、转化和相互作用的规律、误差合成与分配原则,从而为精度设计提供可靠的科学依据。

   1.误差定义


   在对某物理量进行测量的过程中,所测得的数值与标一称值(或真值)之间的差值称为误差,即

   真误差值=测量值一标称值

   误差的大小反映了测量值对于栎称值的偏离程度,它具有以下特点。


   (1)任何测量手段无论精度多高,总是有误差存在。即真误差是客观存在的,永远不会等于零。

   (2)多次重复测量某物理参数时,各次的测量值并不相等,这是误差不确定性的反映。只有量仪的分辨率太低时,才会出现测量值相等的情况。

   (3)真误差是未知的,因为通常真值是未知的。

   为了能正确地表达精度,人们在长期实践中,确定了以下基本概念。

   (1)理论真值(即名义值)。它是设计时给定的或是用数学、物理公式计算的给定值,如零件的名义尺寸等。

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