用触针式轮廓仪和同轴式高分辨率激光干涉轮廓仪
发布时间:2016/2/17 21:05:48 访问次数:685
用触针式轮廓仪和同轴式高分辨率激光干涉轮廓仪，在相同的扫描速度下测量前述的标准校对样块。 AAT3515IGV-4.38-C-T1测量结果如图11.19所示，其中11.19 (a)所示是激光轮廓仪所测结果，11.19 (b)所示是Taly-6触针式轮廓仪所测结果，很明显，激光轮廓仪的测量形状误差更小，且测量结果细节更清楚。
图11.19激光干涉轮廓仪与Taly-6触针式轮廓仪的测试结果比较
本测量系统也可通过扫描方式形成三维地形图，图11.20所示为本系统的三维测量图。图11.21所示为本轮廓仪采用软件滤波后的测量结果，软件滤波后横向分辨率会降低。
图11.20三维测量图
用触针式轮廓仪和同轴式高分辨率激光干涉轮廓仪，在相同的扫描速度下测量前述的标准校对样块。 AAT3515IGV-4.38-C-T1测量结果如图11.19所示，其中11.19 (a)所示是激光轮廓仪所测结果，11.19 (b)所示是Taly-6触针式轮廓仪所测结果，很明显，激光轮廓仪的测量形状误差更小，且测量结果细节更清楚。
图11.19激光干涉轮廓仪与Taly-6触针式轮廓仪的测试结果比较
本测量系统也可通过扫描方式形成三维地形图，图11.20所示为本系统的三维测量图。图11.21所示为本轮廓仪采用软件滤波后的测量结果，软件滤波后横向分辨率会降低。
图11.20三维测量图
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相关技术资料- 9-3面板
- 8-30倒装焊
- 2-17用触针式轮廓仪和同轴式高分辨率激光干涉轮廓仪
公网安备44030402000607
