解决表面污染物问题通常需要r解其化学状态。对表面氯元素的观测， NAND256W3A2BN6E俄歇电子谱结果并不能确定它是以盐酸还是以三氯化苯的形式存在。对氯形态的确定有利于r解和消除污染的来源：

   用于化学分析的电子分光镜( ESCA)是一种可以用来决定表面化学性质的仪器。、这种仪器的工作原理和俄歇技术相似。然而，X射线代替电子束被用做轰击射线。通过轰击，表面释放光电子。通过对光电子信息的分析，可以得知污染物的化学成分。遗憾的是，电子分光镜的化学分析( ESCA)的X射线比许多集成电路特征尺寸还宽。光束的直径限制其只能进行微米数量级的表面分析。正好相反，俄歇电子束的宽度可以达到零。

   飞行时间二次离子质谱法

   飞行时间二次离子质谱法( TOF-SIMS)表面分析能使用许多入射射线源，例加，钕YAG激光、铯离子束或镓离子束18一。

   对于这种方法，激发能量以脉冲式传输和电离表面材料，产生二次电子，并将其加速到质谱仪。在质谱仪中，测量每个离子从表面出来的飞行时间。这个飞行时间指示表面的元素种类。二次离子质谱法分析还能决定结点的深度。飞行时间二次离子质谱法可取样至卜分之几埃的深度㈠9“。并有区别有机物和无机物的能力，这些都是实验室分析的主要手段。