飞思卡尔半导体公司
工作原理
摩托罗拉加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的电容的
感测单元（克细胞）和CMOS信号调节ASIC
包含在单个集成电路封装中。传感
使用体元件被密封在晶圆级
微机械加工的“上限” “晶圆。
是一个机械结构，从所形成的克细胞
（多晶硅）采用半导体半导体材料
过程（掩模和蚀刻） 。它可以建模为两个
固定板与可动板在两者之间。该中心
板可以从它的静止位置时通过使所述偏转
系统的加速度（图2）。
自检
该传感器提供了一个自检功能，可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在应用，如汽车安全气囊临界
其中，系统的完整性必须得到保证过的生活系统
该车辆。第四个“板” '被用在克细胞作为自测试
板。当用户施加一个逻辑高输入到自检
销，一个标定电位跨越自检板施加
和所述可移动板。将所得的静电力
（ FE =
1
/
2
AV
2
/d
2
）使中心板偏斜。该
所得的偏转是由加速度计的测量控制
ASIC和比例的输出电压的结果。此过程
保证，无论是机械的（克细胞）和电子
加速度计的部分是否正常。
比例调节
比例调节简单地意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性比例随外加电压。
也就是说，当增加的电源电压的灵敏度和偏移
线性增加;由于电源电压降低时，偏移量和
灵敏度降低线性。这是一个关键的特征时
与微控制器或一个A / D转换器，因为它
提供电源引起的误差的系统级的取消
模拟到数字转换处理。
状态
摩托罗拉加速计包括故障检测电路和
故障锁存器。 STATUS引脚从故障锁存输出，
或运算的结果与自检，并且被设置为高，每当一个（或多个）的
发生以下事件：
电源电压低于低电压检测（LVD ）
电压阈值
时钟振荡器低于时钟监视器
最小频率
的EPROM位奇偶奇变中
号。
故障锁存器可以通过自检的上升沿被复位
输入引脚，除非一项所述的故障条件（或多个）继续
存在。
图2.传感器
物理模型
图3.等效
电路模型
飞思卡尔半导体公司...
当中间板挠曲，从它到1的距离
固定板将用相同量的距离增加
到另一个板下降。距离的变化是
测量加速度。
在G-电池板形成两个背到背电容器
（图3） 。为中心板加速运动时，
板的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化， （C = Aε / D ） 。其中，A是板的面积，
ε
是介电常数和D之间的距离
板。
该CMOS ASIC采用开关电容技术
测量的g单元电容器和提取加速度数据
由两个电容器之间的差。该ASIC也
信号条件和过滤器（开关电容器）的信号，
提供一个高层次的输出电压，比例和
与加速度成比例。
促进
特殊功能
筛选
摩托罗拉加速度计包含一个板载4针
开关电容滤波器。贝塞尔实现使用
因为它提供了最平坦的响应延迟（线性
相）从而保持脉冲形状的完整性。因为该过滤器
利用开关电容技术来实现的，没有
对于外部无源元件的要求（电阻器和
电容器）来设置截止频率。
MMA1213D
4
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
摩托罗拉传感器设备数据
