工作原理
飞思卡尔加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微加工的
电容感测单元（克细胞）和信号调节ASIC
包含在单个集成电路封装中。传感
使用体元件被密封在晶圆级
微机械
帽
晶圆。
是一个机械结构，从所形成的克细胞
（多晶硅）采用半导体半导体材料
过程（掩模和蚀刻） 。它可以建模为一组
的梁连接到一个可移动的中央质量该移动
固定横梁之间。可动波束可被偏转
从它们通过使该系统的其余部分的位置
加速度（图
3).
作为梁安装于中央质量的举动，所述
从它们在一侧的固定波束的距离将
按相同的量，该距离增大到固定
光束在另一侧减小。距离的变化
是加速度的测量值。
在G-电池板形成两个背到背电容器
（图
4).
为中心板加速运动时，
板的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化， （C = Aε / D ） 。其中A是的领域
板，
ε
是介电常数，而D是距离
板之间。
该ASIC采用开关电容器技术来测量
对于g单元电容器，并提取从加速度数据
这两个电容之间的差。该ASIC也
信号条件和过滤器（开关电容器）的信号，
提供一个高层次的输出电压，比例和
与加速度成比例。
特殊功能
筛选
这些飞思卡尔加速计包含一个板载
单极开关电容滤波器。因为该过滤器是
实现了利用开关电容器技术，不存在
对于外部无源元件的要求（电阻器和
电容器）来设置截止频率。
自检
该传感器提供了一个自检功能，允许
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。第四
板
用在克细胞作为自测试板。当一个逻辑
高输入到自测试引脚施加一校准的潜在
横跨自检板和可动板被应用。
将所得的静电力（铁=
1
/
2
AV
2
/d
2
）使
中心板偏转。得到的挠度测量
由加速度计的专用集成电路和一个比例输出
电压的结果。这个过程既保证了机械
（克细胞）和加速计的电子部分是
工作。
飞思卡尔加速计包括故障检测电路
和故障锁存器。的EEPROM位奇偶奇变中
号。
当EEPROM校验出错时自检被禁用。
比例调节
比例调节只是意味着输出失调电压和
灵敏度线性比例随外加电压。那
是，由于电源电压增加时，灵敏度和偏移
线性增加;由于电源电压降低时，偏移量和
灵敏度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器，因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
促进
图3.传感器
物理模型
图4.等效
电路模型
MMA6231Q
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
