飞思卡尔半导体公司
工作原理
摩托罗拉加速度计是表面microma-
chined集成电路加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的钙的
pacitive传感细胞（克细胞）和信号调节
专用集成电路包含在单个集成电路封装。
所述传感元件设置在所述晶片的密封
采用体硅微机械水平
帽
晶圆。
是一个机械结构，从半形成的克细胞
（多晶硅）采用半导体导体材料
过程（掩模和蚀刻） 。它可以建模为
一组波束连接到一个可移动的中央块那
固定波束之间移动。可动横梁可以是
通过对系从静止位置偏
统到的加速度（图2）。
作为梁安装于中央质量的举动，所述
在一侧的距离它们的固定波束将在 -
折痕相同的量，为在固定的距离
光束在另一侧减小。在显示的变化
距离受到加速度的测量值。
在G-电池板形成两个背到背电容器
（图2） 。为中心板加速移动，显示屏
该板块的变化和每个CA之间tance
p
acitor的价值
特殊功能
筛选
这些摩托罗拉加速度计包含一个板载
单极开关电容滤波器。因为该过滤器是
实现了利用开关电容器技术，不存在
外部无源元件（电阻器的要求
和电容器）来设置截止频率。
自检
该传感器提供了一个自检功能，允许
验证的机械和电气完整性
加速度计在安装之前或之后的任何时间。
第四
板
用在克细胞作为自测试板。
当一个逻辑高电平输入到自测试引脚施加一
横跨自检板校准电位施加
和所述可移动板。将所得的静电力
（ FE =
1
/
2
AV
2
/d
2
）使中心板偏斜。该
所得的偏转是由加速度计的测量
ASIC和比例的输出电压的结果。这种亲
cedure既保证了机械（G细胞）和电
加速度计TRONIC部分的功能一样。
摩托罗拉加速计包括故障检测税务局局长
cuitry和故障闭锁。奇偶校验的EEPROM位BE-
来自单数。
自检时禁用EEPROM校验错误的OC
小人。
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会发生变化， （C = Aε / D ） 。其中，A是板的面积，
ε
是介电常数和D之间的距离
印版。
该ASIC采用开关电容技术来测量
确保G-电池电容和提取加速
由两个电容器之间的差值数据。该
ASIC还信号条件和过滤器（开关电容
器）的信号，提供了一个高电平输出电压
的比例，并与加速度成正比。
促进
比例调节
比例调节只是意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性扩展与应用的电源电压
年龄。也就是说，当电源电压增加时，灵敏度
性和偏移量线性增加;由于电源电压
减小，偏移和灵敏度降低线性。这是
一键功能接口与微控制器或当
A / D转换器，因为它提供了系统级cancella-
供应引起的误差，在模数转换和灰
版本的过程。
图2.简化的传感器物理模型
MMA6200系列
摩托罗拉传感器设备数据
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