气流传感器
系列
信号
空调
技术
流量/压力
范围
AWM1000
未放大
（毫伏）
硅芯片
+1000 SCCM来
-600 SCCM ，
+/- 4" H2O ，
+/- 200 SCCM
直
只有干气
AWM2000
未放大
（毫伏）
硅芯片
+/- SCCM 1000 ，
+/- 4" H2O ，
+/-200sccm,
+/- 30 SCCM
直
只有干气
AWM3000
放大
AWM40000
放大&
未放大
硅芯片
6 SLPM ，
+/- SCCM 1000 ，
+1000 SCCM ，
+/- 25 SCCM
歧管
只有干气
AWM5000
放大
AWM700
放大
AWM90000
未放大
（毫伏）
硅芯片
+/- 200 SCCM ，
+/- 2" H2O
硅芯片
+/- SCCM 1000 ，
+/- 2" H2O ，
+1000 SCCM ，
+/- 30 SCCM
直
只有干气
硅芯片
0-5 SLPM ，
0至10 SLPM ，
0至15 SLPM ，
0至20 SLPM
1 / 4英寸 - 18 NPT
只有干气
硅芯片
200 SLPM
口风
媒体
能力
22毫米圆锥
只有干气
直
只有干气
超低压产品（ <10英寸水）
CPXL
裸传感器
CPCL
CALIBRATED
XPCL
摩托罗拉跌落式
CALIBRATED
硅片与
厚膜电阻器
0 H中
2
o要
4.0 H中
2
O和
H中10.0
2
O
差压，表压
mV
线性&
迟滞
0.5 ％ TYP 。
补偿
0 C至70 C
[ 32 °F至158° F]
XCXL
CALIBRATED
SLP
裸传感器
170PC
CALIBRATED
160PC
放大
只有硅芯片
硅片与
厚膜电阻器
0 H中
2
o要
4 H中
2
O和
H中10.0
2
O
差压，表压
mV
线性&
迟滞
0.5 ％ TYP 。
补偿
0 C至70 C
[ 32 °F至158° F]
硅片与
厚膜电阻器
0 H中
2
o要
4.0 H中
2
O和
H中10.0
2
O
差压，表压
mV
线性&
迟滞
0.5 ％ TYP 。
补偿
0 ℃至50 ℃的
[ 32 °F至122° F]
只有硅芯片
硅片与
厚膜电阻器
0 H中
2
o要
H中28.0
2
O
差压，表压
mV
线性&
迟滞
1.0 ％ （典型值） 。
补偿
0 ℃至50 ℃的
[ 32 °F至122° F]
硅片与
运算放大器的输出
0 H中
2
o要
H中28.0
2
O
差压，表压
1.0伏至6.0伏
准确性
2.0 ％ （典型值） 。
0 H中
2
o要
4.0 H中
2
O和
H中10.0
2
O
差压，表压
mV
线性&
迟滞
0.5 ％ TYP 。
没有温度
赔偿金
0 H中
2
o要
4.0 H中
2
O和
H中10.0
2
O
差压，表压
mV
线性&
迟滞
0.3 ％ （典型值） 。
没有温度
赔偿金
补偿
-18°C至63℃
[ 0 °F至145 ° F]
5
