压力
飞思卡尔半导体公司
高温度精度
集成硅压力传感器
用于测量绝对压力,
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MPXV6115V系列传感器集成了片上,双极运算放大器电路
和薄膜电阻网络,以提供高输出信号和温度
补偿。小外形尺寸和片上集成的高可靠性
使飞思卡尔半导体公司压力传感器的逻辑和
对于系统设计者经济的选择。
该MPXV6115V系列压阻式传感器是一个国家的最先进的,
单片信号调节,硅压力传感器。该传感器结合
先进的微机械加工技术,薄膜金属化,和双极
半导体加工以提供精确的,高水平的模拟输出
信号正比于施加的压力。
MPXV6115V
REV 0 , 11/2009
MPXV6115V
系列
-115到0千帕( -16.7至2.2磅)
0.2 4.6 V的输出
应用实例
真空泵监控
制动助力器监控
特点
高温提高了精度
1.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
从-40温度补偿, + 125C
耐用的热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
订购信息
例
号
无
小外形封装( MPXV6115V系列)
设备名称
MPXV6115VC6U
MPXV6115VC6T1
482A
482A
#端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPXV6115V
MPXV6115V
真空/压力表
真空/压力表
小外形封装
MPXV6115VC6U/6T1
CASE 482A -01
飞思卡尔半导体公司2009年版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 5.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
满量程输出
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(4)
灵敏度
响应时间
(5)
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.精度是作为跨度的百分比的偏差在从标称输出实际输出在整个压力范围和温度范围
在25℃时,由于错误包括以下的所有源:
线性度:从与压力超过规定的压力范围内的直线关系输出偏差。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:在指定范围内的任意压力输出的偏差,当此压力被循环到并从最小或
最大额定压力在25℃ 。
TcSpan :在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内的输出偏差。
TcOffset :以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后所需的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000次脉冲压力,温度循环有偏差测试。
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
—
—
民
-115
4.75
—
4.534
典型值
—
5.0
6.0
4.6
最大
0
5.25
10
4.665
单位
帕
VDC
MADC
VDC
(0至85℃ )
—
4.4
—
VDC
(0至85℃ )
—
—
—
—
—
—
38.26
1.0
20
±0.5
±1.5
—
—
—
—
%V
FSS
毫伏/帕
ms
ms
%V
FSS
MPXV6115V
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
输出源电流@满量程输出
(2)
输出灌电流@最小压力失调
(2)
符号
P
最大
T
英镑
T
A
I
o
+
I
o
-
价值
400
-40到+125
-40到+125
0.5
-0.5
单位
帕
°C
°C
MADC
MADC
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
2.最大输出电流从V有效阻抗控制
OUT
到GND或V
OUT
到V
S
在应用电路中。
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
2
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和
地
参考
位移电路
4
V
OUT
GND
3
引脚4,5 ,和6是未连接
图1.完全集成压力传感器的原理
MPXV6115V
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
传递函数( MPXV6115V )
标称传输值:
V
OUT
= V
S
×( 0.007652 X P + 0.92 )
± (压力误差X温度因子x 0.007652 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 ± 0.25伏
温度误差带
MPXV6115V
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
40
60
80
100
120
130
140
在° C温度
注:该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃,并从85°至125°C 。
温度。
- 40
0到85
125
倍增器
3
1
2
压力误差带
1.950
1.725
压力误差(千帕)
1.500
0
-1.500
-1.725
-1.950
-115
误差极限压力
-100
-85
-45
-30
-15
0
压力,以kPa
(低于大气压)
压力
-115到0千帕
误差(最大值)
± 1.725千帕
MPXV6115V
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPXV6115VC6U
版本1 , 05/2005
高温度精度
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿
和校准
该MPXV6115VC6U传感器集成了片上,双极运算放大器电路和
薄膜电阻器网络,以提供较高的输出信号和温度
补偿。小外形尺寸和片上集成的高可靠性
使飞思卡尔半导体公司压力传感器的逻辑和
对于系统设计者经济的选择。
该MPXV6115VC6U压阻式传感器是一个国家的最先进的,
单片信号调节,硅压力传感器。该传感器结合
先进的微机械加工技术,薄膜金属化,和双极
半导体加工以提供精确的,高电平模拟输出信号
正比于施加的压力。
图1
示出内部电路集成在一个框图
压力传感器芯片。
特点
高温提高了精度
1.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
从-40温度补偿, + 125C
耐用的热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
MPXV6115VC6U
集成
压力传感器
-115到0千帕( -16.7至2.2磅)
0.2至4.6伏特输出
小外形封装
MPXV6115VC6U
CASE 482A -01
引脚数
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
典型应用
真空泵监控
制动助力器监控
订购信息
设备
TYPE
选项
例
号
482A
MPX系列
订单号
MPXV6115VC6U
填料
选项
轨道
器件标识
MPXV6115V
1.引脚1 ,5,6 ,和8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。销1被表示为
缺口处于领先地位。
移植
真空,
单元轴向端口
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
引脚4,5 ,和6是未连接
GND
图1.完全集成压力传感器的原理
飞思卡尔半导体公司2005年版权所有。
表1中。
最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1
>P2)
储存温度
工作温度
输出源电流@满量程输出
(2)
输出灌电流@最小压力失调
(2)
符号
P
最大
T
英镑
T
A
I
o
+
I
o
-
价值
400
-40 ℃至+ 125 ℃
-40 ℃至+ 125 ℃
0.5
-0.5
单位
帕
°C
°C
MADC
MADC
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
2.最大输出电流从V有效阻抗控制
OUT
到GND或V
OUT
到V
S
在应用电路中。
表2.工作特性
(V
S
= 5.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1
& GT ;
P2)
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
满量程输出
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(4)
灵敏度
响应时间
(5)
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.精度是作为跨度的百分比的偏差在从标称输出实际输出在整个压力范围和温度范围
在25℃时,由于错误包括以下的所有源:
线性度:
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在指定范围内的任意压力,当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset :
以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后所需的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000次脉冲压力,温度循环有偏差测试。
(0至85℃ )
(P
差异
= 0千帕)
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSO
民
-115
4.75
—
4.534
典型值
—
5.0
6.0
4.6
最大
0
5.25
10
4.665
单位
帕
VDC
MADC
VDC
V
FSS
—
4.4
—
VDC
(0至85℃ )
—
V / P
t
R
—
—
—
—
—
—
—
—
38.26
1.0
20
±0.5
±1.5
—
—
—
—
%V
FSS
毫伏/帕
ms
ms
%V
FSS
MPXV6115VC6U
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
传递函数( MPXV6115VC6U )
标称传输值:
V
OUT
= V
S
×( 0.007652 X P + 0.92 )
± (压力误差X温度因子x 0.007652 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 ± 0.25伏
温度误差带
MPXV6115VC6U
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
温度。
- 40
0到85
125
倍增器
3
1
2
40
60
80
100
120
130
140
在° C温度
注:该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃,并从85°至125°C 。
压力误差带
1.950
1.725
压力误差(千帕)
1.500
0
-1.500
-1.725
-1.950
-115
误差极限压力
-100
-85
-45
-30
-15
0
压力,以kPa
(低于大气压)
压力
-115到0千帕
误差(最大值)
± 1.725千帕
MPXV6115VC6U
4
传感器
飞思卡尔半导体公司