摩托罗拉
半导体技术资料
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由MPX2700 / D
700千帕
高压力,温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPX2700系列设备是硅压阻式压力传感器提供
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的压力。
该传感器是一个单片硅膜片的应变仪和薄膜
电阻网络集成在芯片上。该传感器激光调整,精确范围和
偏移校准和温度补偿。
特点
独特的硅剪应力应变计
±
0.5 %线性度
易于使用的芯片载体封装
基本元素,单和双端口器件可提供
提供绝压,差压和表压配置
应用实例
泵/电机控制器
气动控制
轮胎压力表
机器人
医疗诊断
压力开关
水力学
图1示出的内部电路上的独立压力的方框图
传感器芯片。
VS
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
MPX2700
系列
0 700千帕( 0100 PSI)的
40 mV的满量程
(典型值)
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ,风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ,风格1
注: 1脚是缺口引脚。
X -能器
传感
元素
2
4
VOUT +
VOUT =
引脚数
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。该传感器被设计用于的应用,其中P1是
总是大于或等于P2 。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
REV 2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX2700系列
最大额定值
v
1大气压)
爆破压力( 8 ) ( P2
v
1大气压)
超压( 8 ) ( P2
储存温度
工作温度
等级
符号
P1max
P1burst
TSTG
TA
价值
2800
5000
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
工作特性
( VCC = 10 VDC , TA = 25 ℃,除非另有说明。 P1
特征
压力范围( 1 )
电源电压( 2 )
电源电流
满量程( 3 )
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后( 5)( 0至700千帕)
温度迟滞( 5 ) ( - 40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响( 5 )
温度效应所抵消( 5 )
输入阻抗
输出阻抗
响应时间( 6) (10%至90%)的
Warm–Up(7)
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
—
—
—
TCVFSS
TCVoff
寻
ZOUT
tR
—
0
—
—
w
P2; P2
v
1个大气压。 )
典型值
—
10
6.0
40
—
0.057
—
±
0.1
±
0.5
—
—
—
—
1.0
20
最大
700
16
—
41.5
1.0
—
0.5
—
—
1.0
1.0
4000
3000
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
% VFSS
% VFSS
% VFSS
% VFSS
mV
ms
ms
民
38.5
–1.0
—
– 0.5
—
—
–1.0
–1.0
1300
1400
—
—
机械特性
特征
重量(基本元素案例344-15 )
符号
—
民
—
典型值
2.0
最大
—
单位
克
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.预热被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后所需的设备的时间。
仅8基本要素,案例344-15 。
9. P2最大: 500千帕。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX2700系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。摩托罗拉MPX
产品型号
MPX2700D
MPX2700DP
MPX2700GP
MPX2700GVP
MPX2700GS
MPX2700GVS
MPX2700GSX
MPX2700GVSX
MPX2700ASX
MPX2700AS
MPX2700AP
MPX2700A
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用表中识别
如下:
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344A–01
344F–01
344G–01
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
订购信息
MPX2700系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
迪FF erential
迪FF erential
规
真空压力表
计炉管
计真空炉管
计轴
真空压力表轴向
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344A -01
CASE 344F -01
CASE 344G -01
订单号
MPX2700D
MPX2700DP
MPX2700GP
MPX2700GVP
MPX2700GS
MPX2700GVS
MPX2700GSX
MPX2700GVSX
器件标识
MPX2700D
MPX2700DP
MPX2700GP
MPX2700GVP
MPX2700D
MPX2700D
MPX2700D
MPX2700D
4
摩托罗拉传感器设备数据