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摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
由MPX2700 / D
700千帕
高压力,温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPX2700系列设备是硅压阻式压力传感器提供
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的压力。
该传感器是一个单片硅膜片的应变仪和薄膜
电阻网络集成在芯片上。该传感器激光调整,精确范围和
偏移校准和温度补偿。
特点
独特的硅剪应力应变计
±
0.5 %线性度
易于使用的芯片载体封装
基本元素,单和双端口器件可提供
提供绝压,差压和表压配置
应用实例
泵/电机控制器
气动控制
轮胎压力表
机器人
医疗诊断
压力开关
水力学
图1示出的内部电路上的独立压力的方框图
传感器芯片。
VS
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
电路
MPX2700
系列
0 700千帕( 0100 PSI)的
40 mV的满量程
(典型值)
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ,风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ,风格1
注: 1脚是缺口引脚。
X -能器
传感
元素
2
4
VOUT +
VOUT =
引脚数
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。该传感器被设计用于的应用,其中P1是
总是大于或等于P2 。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
REV 2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX2700系列
最大额定值
v
1大气压)
爆破压力( 8 ) ( P2
v
1大气压)
超压( 8 ) ( P2
储存温度
工作温度
等级
符号
P1max
P1burst
TSTG
TA
价值
2800
5000
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
°C
°C
工作特性
( VCC = 10 VDC , TA = 25 ℃,除非另有说明。 P1
特征
压力范围( 1 )
电源电压( 2 )
电源电流
满量程( 3 )
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后( 5)( 0至700千帕)
温度迟滞( 5 ) ( - 40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响( 5 )
温度效应所抵消( 5 )
输入阻抗
输出阻抗
响应时间( 6) (10%至90%)的
Warm–Up(7)
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
TCVFSS
TCVoff
ZOUT
tR
0
w
P2; P2
v
1个大气压。 )
典型值
10
6.0
40
0.057
±
0.1
±
0.5
1.0
20
最大
700
16
41.5
1.0
0.5
1.0
1.0
4000
3000
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
% VFSS
% VFSS
% VFSS
% VFSS
mV
ms
ms
38.5
–1.0
– 0.5
–1.0
–1.0
1300
1400
机械特性
特征
重量(基本元素案例344-15 )
符号
典型值
2.0
最大
单位
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.预热被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后所需的设备的时间。
仅8基本要素,案例344-15 。
9. P2最大: 500千帕。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX2700系列
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式:输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合或(2)至少
广场最佳拟合线(参见图3) 。而最小二乘拟合
给人的“最佳情况”的线性误差(低级数值) ,
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
相对电压输出
夸大
性能
曲线
至少
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图2.线性度规格比较
片上温度补偿和校准
图3示出了MPX2700的输出特性
系列,在25℃ 。的输出是正比于昼夜温差
髓鞘压力和基本上是一条直线。
温度对满刻度量程和偏移的影响
是非常小的,并在工作Characteris-显示
抽动。
50
40
输出(MV )
30
20
10
0
–5
领导
FRAME
OFFSET
VS = 10 V
TA = 25°C
P1 P2 >
最大
典型值
硅胶
模涂
跨度
范围
(典型值)
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
PSI
20
140
40
280
60
420
80
560
100
700
图3.输出与差压
图4.跨科差压
在其基本套餐传感器芯片(不按比例)
图4显示了摩托罗拉MPX的横截面
压力传感器芯片在芯片载体封装。有机硅
凝胶分离物从模具表面和引线键合
环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。 MPX2700系列
压力传感器的工作特性和内部可靠
能力和鉴定试验是基于使用的干燥空气作为
压力介质。媒体比干燥空气等都有可能
对传感器的性能和长期的不利影响
可靠性。该工厂有关的信息媒体联系
在你的应用程序的兼容性。
摩托罗拉传感器设备数据
P2
环氧情况
RTV DIE
BOND
3
MPX2700系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。摩托罗拉MPX
产品型号
MPX2700D
MPX2700DP
MPX2700GP
MPX2700GVP
MPX2700GS
MPX2700GVS
MPX2700GSX
MPX2700GVSX
MPX2700ASX
MPX2700AS
MPX2700AP
MPX2700A
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用表中识别
如下:
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344A–01
344F–01
344G–01
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
订购信息
MPX2700系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
迪FF erential
迪FF erential
真空压力表
计炉管
计真空炉管
计轴
真空压力表轴向
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344A -01
CASE 344F -01
CASE 344G -01
订单号
MPX2700D
MPX2700DP
MPX2700GP
MPX2700GVP
MPX2700GS
MPX2700GVS
MPX2700GSX
MPX2700GVSX
器件标识
MPX2700D
MPX2700DP
MPX2700GP
MPX2700GVP
MPX2700D
MPX2700D
MPX2700D
MPX2700D
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPX2700系列
包装尺寸
注意事项:
C
R
M
B
–A–
N
销1
1
2
3
4
积极
压力(P1)的
1.尺寸和公差符合ASME
Y14.5M , 1994年。
2.控制尺寸:英寸。
3.尺寸-A-是包容的模具
止动环。模具止动环不超过
16.00 (0.630).
英寸
最大
0.595
0.630
0.514
0.534
0.200
0.220
0.016
0.020
0.048
0.064
0.100 BSC
0.014
0.016
0.695
0.725
30
_
0.475
0.495
0.430
0.450
MILLIMETERS
最大
15.11
16.00
13.06
13.56
5.08
5.59
0.41
0.51
1.22
1.63
2.54 BSC
0.36
0.40
17.65
18.42
30
_
12.07
12.57
10.92
11.43
L
–T–
J
座位
飞机
积极
压力
(P1)
G
F
4 PL
D
0.136 (0.005)
M
T A
M
暗淡
A
B
C
D
F
G
J
L
M
N
R
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
+输出
+电源
=输出
CASE 344-15
ISSUE W
端口# 2
真空
压力
(P2)
C
积极
压力
(P1)
销1
A
注意事项:
1.尺寸和公差符合ANSI
Y14.5M , 1982年。
2.控制尺寸:英寸。
暗淡
A
B
C
D
F
G
J
K
N
R
S
V
英寸
最大
0.690
0.720
0.245
0.255
0.780
0.820
0.016
0.020
0.048
0.064
0.100 BSC
0.014
0.016
0.345
0.375
0.300
0.310
0.178
0.186
0.220
0.240
0.182
0.194
+输出
+电源
=输出
MILLIMETERS
最大
17.53
18.28
6.22
6.48
19.81
20.82
0.41
0.51
1.22
1.63
2.54 BSC
0.36
0.41
8.76
9.53
7.62
7.87
4.52
4.72
5.59
6.10
4.62
4.93
–B–
V
1 2
3 4
K
J
R
座位
飞机
S
G
F
D
4 PL
0.13 (0.005)
M
N
–T–
T B
M
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
CASE 344A -01
问题B
摩托罗拉传感器设备数据
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    地址:深圳市福田区振兴路156号上步工业区405栋3层

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    -
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    -
    -
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电话:13910052844(微信同步)
联系人:刘先生
地址:北京市海淀区增光路27号2-1-1102
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