压力
飞思卡尔半导体公司
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MP3V5050系列压阻式传感器是一种先进设备,最先进的
单片硅压力传感器设计用于广泛的应用范围,
但特别是那些采用微控制器或微处理器与A / D
输入。这项专利,单件传感器结合了先进的
微机械加工技术,薄膜金属化,和双极处理
提供正比于一个精确的,高水平的模拟输出信号
施加的压力。
MP3V5050
版本1 , 11/2009
MP3V5050
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
0.06 2.82 V输出
特点
2.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
温度补偿在-40 °到+ 125
°
C
专利的硅剪应力应变计
热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
对于设计灵活性多个移植选项
带刺的侧口的鲁棒管连接
订购信息
例
号
无
小型封装( MP3V5050系列)
设备名称
MP3V5050DP
MP3V5050GP
MP3V5050GC6U
MP3V5050GC6T1
1351
1369
482A
482A
#端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MP3V5050G
MP3V5050G
MP3V5050G
MP3V5050G
小外形封装
MP3V5050GC6U/6T1
CASE 482A -01
MP3V5050DP
CASE 1351至01年
MP3V5050GP
CASE 1369至01年
飞思卡尔半导体公司, 2008年, 2009年。保留所有权利。
压力
工作特性
表1.工作特性
(
V
S
= 3.0伏,T
A
= 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 。在显示去耦电路
图4
为满足电气规范要求。 )
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 3.0伏特
满量程输出
(4)
@ V
S
= 3.0伏特
满量程
(5)
@ V
S
= 3.0伏特
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.Device是在此规定范围内的激励比例。
3.Offset (V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
4.Full量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.Full刻度量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.Accuracy (误差预算)由以下部分组成:
线性度:从与压力超过规定的压力范围内的直线关系输出偏差。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:在指定范围内的任意压力输出的偏差,当此压力被循环到并从最小或
最大额定压力在25℃ 。
TcSpan :在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内的输出偏差。
TcOffset :以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
变异的名义:从标称值,偏移和满量程的变化,作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
当经受一个7.Response时间被定义为时间的输出的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
8.Warm建立时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
9.Offset稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
民
0
2.7
—
0.053
典型值
—
3.0
7.0
0.12
最大
50
3.3
10
0.188
单位
帕
VDC
MADC
VDC
(0至85℃ )
V
FSO
2.752
2.8
2.888
VDC
(0至85℃ )
V
FSS
—
2.7
—
VDC
(0至85℃ )
—
V / P
t
R
I
o+
—
—
—
—
—
—
—
—
—
54
1.0
0.1
20
±0.5
±2.5
—
—
—
—
—
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
MP3V5050
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1
& GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40 ℃至+ 125 ℃
-40 ℃至+ 125 ℃
单位
帕
°C
°C
1.Exposure超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
2
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和
地
参考
位移电路
4
V
OUT
3
GND
引脚1 , 5 , 6 , 7 ,和8号连接
小外形封装器件
图1.完全集成压力传感器的原理
MP3V5050
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
片上温度补偿和校准
科幻gure 3
说明了差分/计传感芯片
基本的芯片载体(案例482A ) 。氟硅凝胶
隔离模具表面和引线键从环境,
同时使压力信号被传输到
传感器膜片。
该MP3V5050系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
较干燥的空气等,可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
3
传递函数为:
V
OUT
= V
S
* ( 0.018 * P + 0.04 ) ± ERROR
V
S
= 3.0伏
TEMP = 0 85 ℃下
典型
最大
1
民
图2
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的,最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图4中。
该
输出将饱和指定的压力范围之外。
图4
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的输出到A / D输入
的微处理器或微控制器。适当的去耦
电源被推荐的。
2
输出(V )
0
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
压差(千帕)
图2.输出与差压
氟
GEL模涂
P1
引线键合
领导
FRAME
迪FF erential
传感元件
P2
DIE BOND
热塑性
例
DIE
不锈
钢帽
图3横截面图的SOP (不按比例)
3V
V
OUT
V
s
IPS
1.0
μF
0.01
μF
GND
产量
470 pF的
图4.推荐的电源去耦和输出滤波
(有关更多的输出滤波,请参考应用笔记AN1646 )
MP3V5050
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
传输功能
标称传输值:
V
OUT
= V
S
(P X 0.018 + 0.04 )
± (压力误差X温度因子x 0.018 x垂直
S
)
V
S
= 3.0 V
±
0.30伏
温度误差带
MP3V5050系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
在° C温度
注:该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃,并从85°至125°C 。
温度
–40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
压力误差带
误差极限压力
3.0
2.0
压力误差(千帕)
1.0
0.0
–1.0
–2.0
–3.0
压力
0至50 ( kPa)的
误差(最大值)
± 1.25 (千帕)
0
10
20
30
40
50
60
压力(千帕)
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
压力传感器作为压力的两侧(P1)的
侧和真空(P2)的一侧。的压力( P1)的一侧是
侧含有氟硅凝胶,用于保护从模具
苛刻的媒体。该MP3V压力传感器被设计为
操作与应用, P1 > P2正压差。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下表:
压力( P1 )侧面标识
方用端口连接
方用最热
垂直端口连接
产品型号
MP3V5050GP
MP3V5050DP
MP3V5050GC6U/T1
案例类型
1369
1351
482A
MP3V5050
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MP3V5050
REV 0 , 08/2008
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MP3V5050系列压阻式传感器是一种先进设备,最先进的
单片硅压力传感器设计用于广泛的应用范围,但
特别是那些采用微控制器或微处理器与A / D输入。
这项专利,单件传感器结合先进的微机械加工
技术中,薄膜金属化,和双极处理,以提供一种准确,
高电平模拟输出信号,该信号正比于所施加的压力。
特点
2.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
温度补偿在-40 °到+ 125
°
C
专利的硅剪应力应变计
耐用的环氧树脂小外形封装( SOP )
易于使用芯片载体选项
对于设计灵活性多个移植选项
带刺的侧口的鲁棒管连接
MP3V5050
系列
集成
压力传感器
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
0.06 2.82 V输出
小外形封装
表面贴装
MP3V5050GP
CASE 1369至01年
MP3V5050DP
CASE 1351至01年
MP3V5050GC6U
CASE 482A -01
小外形封装
PIN号码
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
1.引脚1 ,5,6 ,7,和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到
缺口处于领先地位。
订购信息
设备类型
选项
案件编号:
MP3V系列订单号
包装选项
器件标识
小型封装( MP3V5050系列)
移植的元素侧口
双端口
AXIAL PORT
1369
1351
482A
482A
MP3V5050GP
MP3V5050DP
MP3V5050GC6U
MP3V5050GC6T1
托盘
托盘
轨道
磁带&卷轴
MP3V5050G
MP3V5050G
MP3V5050G
MP3V5050G
飞思卡尔半导体公司2008年版权所有。
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
GND
引脚1 , 5 , 6 , 7 ,和8号连接
小外形封装器件
图1.完全集成压力传感器的原理
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1
& GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40 °C至+ 125 °
-40 °C至+ 125 °
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MP3V5050
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2 。工作特性
(
V
S
= 3.0伏,T
A
= 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 。在显示去耦电路
图4
为满足电气规范要求。 )
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 3.0伏特
满量程输出
(4)
@ V
S
= 3.0伏特
满量程
(5)
@ V
S
= 3.0伏特
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。
3.偏移量(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
4.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃ 。
TcSpan :
输出偏差在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset :
以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
从标称变化:在
变化的标称值,偏移和满量程,为V的百分比
FSS
在25℃ 。
当经受7.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
民
0
2.7
—
0.053
典型值
—
3.0
7.0
0.12
最大
50
3.3
10
0.188
单位
帕
VDC
MADC
VDC
(0至85℃ )
V
FSO
2.752
2.8
2.888
VDC
(0至85℃ )
V
FSS
—
2.7
—
VDC
(0至85℃ )
—
V / P
t
R
I
o+
—
—
—
—
—
—
—
—
—
54
1.0
0.1
20
±0.5
±2.5
—-
—-
—-
—-
—-
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
MP3V5050
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
科幻gure 3
说明了差分/计传感芯片
基本芯片载体(情况482)。氟硅凝胶分离
从环境的模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到传感器
隔膜。
该MP3V5050系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
较干燥的空气等,可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
3
传递函数为:
V
OUT
= V
S
* ( 0.018 * P + 0.04 ) ± ERROR
V
S
= 3.0伏
TEMP = 0 85 ℃下
图2
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的,最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图4中。
该
输出将饱和指定的压力范围之外。
图4
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的输出到A / D输入
的微处理器或微控制器。适当的去耦
电源被推荐的。
2
输出(V )
典型
最大
1
民
0
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
压差(千帕)
图2.输出与差压
氟
GEL模涂
P1
引线键合
领导
FRAME
迪FF erential
传感元件
P2
DIE
不锈
钢帽
3V
热塑性
例
V
OUT
V
s
IPS
1.0
F
0.01
F
GND
产量
470 pF的
DIE BOND
图3横截面图的SOP
(不按比例)
图4.推荐电源去耦
和输出滤波
(有关更多的输出滤波,请参考
应用笔记AN1646 )。
MP3V5050
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
传输功能
标称传输值:
V
OUT
= V
S
(P X 0.018 + 0.04 )
± (压力误差X温度因子x 0.018 x垂直
S
)
V
S
= 3.0 V
±
0.30伏
温度误差带
MP3V5050系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
在° C温度
注:该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃,并从85°至125°C 。
温度
–40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
压力误差带
误差极限压力
3.0
2.0
压力误差(千帕)
1.0
0.0
–1.0
–2.0
–3.0
压力
0至50 ( kPa)的
误差(最大值)
± 1.25 (千帕)
0
10
20
30
40
50
60
压力(千帕)
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
飞思卡尔表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有氟硅凝胶的侧
其保护免受恶劣介质模具。该MP3V压力
产品型号
MP3V5050GP
MP3V5050DP
MP3V5050GC6U/T1
传感器被设计为具有正的差分操作
施加的压力, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下表:
案例类型
1369
1351
482A
压力( P1 )侧面标识
方用端口连接
方用最热
垂直端口连接
MP3V5050
传感器
飞思卡尔半导体公司
5