AWM2000系列
质量流量传感器,气体
特点
·范围0 ± 30 0 ... ± 1000 SCCM
1
或0 ... ± 4 "H
2
O( 0 ... ± 10毫巴)
·双向传感
·实际质量流量传感
·低差压传感器
服务
要只干气用
该AWM系列在设计上不液
流,并将由液体流过而损坏
传感器
特定网络阳离子
最大额定值
电源电压
2
8 15 V
(典型值) 。 10 ± 0.01 V
最大。 50毫瓦
(典型值) 。 30毫瓦
电气连接
耗电量
P1
P2
温度限制
操作
存储
机械冲击
-25 85°C
-40 90℃
100克(5滴, 6轴)
1 2 3 4 5 6
注意:
1
标准立方厘米表示每分钟标准立方厘米
2
输出电压与供电电压成正比
June五百八十一分之二千○五
1/6
www.sensortechnics.com
AWM2000系列
质量流量传感器,气体
流量传感器特性
3
V
S
= 10 ± 0.01 V,T
A
= 25°C
产品型号
AWM2100V
AWM2150V
AWM2200V
AWM2300V
流量范围
(满刻度)
±200 SCCM
± 30 SCCM
压力
范围
马克斯。流量变化
4
5.0升/秒
5.0升/秒
输出电压
@修剪点
30毫伏@ 100 SCCM
11.8毫伏@ 25 SCCM
20毫伏@ 2 "H
2
O
50毫伏@ 650 SCCM
± 4 "H
2
O
± 1000 SCCM
5.0升/秒
5.0升/秒
性能特点
V
S
= 10 ± 0.01 V,T
A
= 25°C
特征
零点偏移
重复性和迟滞
(联合)
温度影响
5
OFFSET
跨度
-25 85°C
6
-25到25℃
AWM2100V
AWM2150V
AWM2200V
AWM2300V
2585 ℃下
AWM2100V
AWM2150V
AWM2200V
AWM2300V
传感器电阻
(引脚2 - 引脚1 ,引脚6 - 引脚1 )
电流传感器
(引脚2 - 引脚1 ,引脚6 - 引脚1 )
响应时间
共模压力
AWM2300V
所有其他
分钟。
-1.0
典型值。
0
马克斯。
1.0
±1.0
±0.35
单位
mV
%读数
mV
±0.20
2.5
5.0
22.0
5
5.0
-2.5
-5.0
-22.0
5
-5.0
5
0.6
1.0
3.0
25
%读数
千欧
mA
ms
P SI
注意事项:
3
5微米过滤器被推荐用于所有设备。
4
流变化的最大允许速度,以防止损坏。
5
温度变化在差压装置大多是由于气体的温度过高的密度变化。
6
移相至25℃ 。
2/6
June五百八十一分之二千○五
www.sensortechnics.com
AWM2000系列
质量流量传感器,气体
外形绘图
6.3
(0.25)
2.8
(0.11)
2.9
(0.114)
7.60
(0.30)
1.40
(0.055)
1.8
(0.07)
5.1
(0.20)
54.4
(2.14)
8.4
(0.33)
P1
P2
31.5
(1.24)
23.6
(0.93)
2.8
(0.11)
1.0
(0.04)
1 2 3 4 5 6
5.1
(0.20)
7.3
(0.287)
12.7
(0.50)
15.5
(0.61)
0.6
(0.025)
1.52
(0.06)
2.5
(0.10)
4.1
(0.16)
23.9
(0.94)
30.5
(1.20)
质量:
约。 10.8克
尺寸mm (英寸)
注意:
Positiv流方向被定义为从端口1(P1)进到端口2(P2)和
结果在正输出(引脚6 >引脚2 ) 。负流方向被定义
相反并导致负输出(引脚6 <引脚2 ) 。
June五百八十一分之二千○五
5/6
www.sensortechnics.com