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基于L298N芯片对离子渗氮中压强的控制

发布时间:2008/6/3 0:00:00 访问次数:501

1 离子渗氮理论
  
渗氮是强化金属表面的一种化学热处理方法,他是将金属零件置于活性氮的介质中,在一定温度和保温时间下,使氮元素渗入金属表层,从而改变金属层的化学成份,使之具有高的耐磨性、疲劳强度、抗蚀能力及抗烧伤性等,因而在工业上获得广泛应用[1]
  
离子渗氮是在低温等离子中进行的,低气压气体在电场作用下使之电离,产生高能离子和高能中性原子,这些高能粒子可以改善渗层组织结构和促进化学反应过程,加速渗氮层的形成。离子渗氮是在辉光放电中进行,在离子渗氮过程中对炉体的压强控制精度要求比较高,控制偏差几十帕。根据帕邢定律[2]

其中: p为气体压强;
   
    d为平行板电极间距离;
   
    γ为阴极二次电子发射系数;
   
    b为斯托列夫常数;

    a是常数。

对式(1)求导,可得出击穿电压表达式(2):  

由式(2)可知,击穿电压v与气体压强和d有关,而一般实验中d是固定不变,因此离子渗氮对压强控制极为重要。

2 系统流量与压强测控框图
  
流量计控制进气口的气体流量,当进气和抽气流量平衡时,炉体压强保持稳定。由于炉体气体泄露及其他干扰因素的影响,炉体压强上下波动,系统偏离平衡态,严重时影响等离子工艺处理。我们采用普通直流电动机,通过l298n驱动直流电动机,由电动机通过减速杆带动锥体转动。当锥体旋进时,抽气机单位时间内抽出气体减少;旋出时,抽出气体增多,从而使炉体内的压强稳定在所需的值。炉体压强的变化通过压强传感器测出并通过变送器,将气体流量控制器送至反馈电压。抽气口采用电动真空蝶阀价格昂贵,如图1所示。

3 l298n芯片介绍
  
l298n可接受标准ttl逻辑电平信号vss,vss可接4.5~7 v电压。4脚vs接电源电压,vs电压范围vih为+2.5~46 v。输出电流可达2.5 a,可驱动电感性负载。1脚和15脚下管的发射极分别单独引出以便接入电流采样电阻,形成电流传感信号。l298可驱动2个电动机,out1,out2和out3,out4之间可分别接电动机,本实验装置我们选用驱动一台电动机。5,7,10,12脚接输入控制电平,控制电机的正反转。ena,enb接控制使能端,控制电机的停转。表1是l298n功能逻辑图。   

in3,in4的逻辑图与表1相同。由表1可知ena为低电平时,输入电平对电机控制起作用,当ena为高电平,输入电平为一高一低,电机正或反转。同为低电平电机停止,同为高电平电机刹停。

4 控制器原理
  
图3是控制器原理图,由3个虚线框图组成。

下面是3个虚线框图功能:
  
(1)虚线框图1控制电机正反转,u1a,u2a是比较器,vi来自炉体压强传感器的电压。当vi>vrbf1时,u1a输出高电平,u2a输出高电平经反相器变为低电平,电机正转。同理vi<vrbf1时,电机反转。电机正反转可控制抽气机抽出气体的流量,从而改变炉体压强。
  
(2)虚线框图2中,u3a,u4a两个比较器组成双

限比较器,当vb<vi<va时输出低电平,当vi>va,vi<vb时输出高电平。va,vb是由炉体压强转感器转换电压的上下限,即反应炉体压强控制范围。根据工艺要求,我们可自行规定va,vb的值,只要炉体压强在va

1 离子渗氮理论
  
渗氮是强化金属表面的一种化学热处理方法,他是将金属零件置于活性氮的介质中,在一定温度和保温时间下,使氮元素渗入金属表层,从而改变金属层的化学成份,使之具有高的耐磨性、疲劳强度、抗蚀能力及抗烧伤性等,因而在工业上获得广泛应用[1]
  
离子渗氮是在低温等离子中进行的,低气压气体在电场作用下使之电离,产生高能离子和高能中性原子,这些高能粒子可以改善渗层组织结构和促进化学反应过程,加速渗氮层的形成。离子渗氮是在辉光放电中进行,在离子渗氮过程中对炉体的压强控制精度要求比较高,控制偏差几十帕。根据帕邢定律[2]

其中: p为气体压强;
   
    d为平行板电极间距离;
   
    γ为阴极二次电子发射系数;
   
    b为斯托列夫常数;

    a是常数。

对式(1)求导,可得出击穿电压表达式(2):  

由式(2)可知,击穿电压v与气体压强和d有关,而一般实验中d是固定不变,因此离子渗氮对压强控制极为重要。

2 系统流量与压强测控框图
  
流量计控制进气口的气体流量,当进气和抽气流量平衡时,炉体压强保持稳定。由于炉体气体泄露及其他干扰因素的影响,炉体压强上下波动,系统偏离平衡态,严重时影响等离子工艺处理。我们采用普通直流电动机,通过l298n驱动直流电动机,由电动机通过减速杆带动锥体转动。当锥体旋进时,抽气机单位时间内抽出气体减少;旋出时,抽出气体增多,从而使炉体内的压强稳定在所需的值。炉体压强的变化通过压强传感器测出并通过变送器,将气体流量控制器送至反馈电压。抽气口采用电动真空蝶阀价格昂贵,如图1所示。

3 l298n芯片介绍
  
l298n可接受标准ttl逻辑电平信号vss,vss可接4.5~7 v电压。4脚vs接电源电压,vs电压范围vih为+2.5~46 v。输出电流可达2.5 a,可驱动电感性负载。1脚和15脚下管的发射极分别单独引出以便接入电流采样电阻,形成电流传感信号。l298可驱动2个电动机,out1,out2和out3,out4之间可分别接电动机,本实验装置我们选用驱动一台电动机。5,7,10,12脚接输入控制电平,控制电机的正反转。ena,enb接控制使能端,控制电机的停转。表1是l298n功能逻辑图。   

in3,in4的逻辑图与表1相同。由表1可知ena为低电平时,输入电平对电机控制起作用,当ena为高电平,输入电平为一高一低,电机正或反转。同为低电平电机停止,同为高电平电机刹停。

4 控制器原理
  
图3是控制器原理图,由3个虚线框图组成。

下面是3个虚线框图功能:
  
(1)虚线框图1控制电机正反转,u1a,u2a是比较器,vi来自炉体压强传感器的电压。当vi>vrbf1时,u1a输出高电平,u2a输出高电平经反相器变为低电平,电机正转。同理vi<vrbf1时,电机反转。电机正反转可控制抽气机抽出气体的流量,从而改变炉体压强。
  
(2)虚线框图2中,u3a,u4a两个比较器组成双

限比较器,当vb<vi<va时输出低电平,当vi>va,vi<vb时输出高电平。va,vb是由炉体压强转感器转换电压的上下限,即反应炉体压强控制范围。根据工艺要求,我们可自行规定va,vb的值,只要炉体压强在va

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