来源：电力电子技术 作者：秦雯 刘燕等

    1引 言

    大功率超声波装置除用于工业清洗外，还在医疗、军事、石油换能器技术，以及海洋探测与开发、减噪防振系统、智能机器人、波动采油等高技术领域有着广泛的应用前景[1]。超声波装置由超声波逆变电源和换能器组成。近年来，由于新型稀土功能材料的开发和研制成功，使制造大功率超声波换能器成为可能，但与之配套的高频正弦逆变电源产品尚为少见。目前，市场上的大功率正弦逆变电源均为采用igbt制成的中低频产品[2]，而高频逆变电源大多数是方波电源或占空比可调的脉冲逆变电源。因此，高频大功率正弦逆变电源已成为超声波应用的瓶颈，使得对该电源的研制已成为急待解决的问题。这里，应用混合脉宽调制(hybrid pulse width modulation，hpwm)控制技术，采用mosfet并联运行方式，应用单片机组成智能控制系统，对高性能、大功率正弦超声波逆变电源的研制进行了研究。

    2 系统构成

    用于高性能、大功率正弦超声波的逆变电源，其频率为25khz，功率为4．5kw。电压要求在0～200v之间可调，频率要求在10～25khz之间可调。

    2．1 方案的设计

    图1示出该逆变电源的系统硬件构成框图[3]。它由ac／dc和dc／ac两大部分组成。包含有交-直-交主电路、驱动电路、单片机控制系统、低通滤波器、显示及保护等主要环节。

    主电路由220v市电直接供电。单相交流电压经晶闸管恒流恒压控制模块将交流转换为直流，为逆变器提供恒定的直流电压。

    为了使逆变能得到性能和波形比较好的正弦输出，需要有较大的载波比。由于其载波信号将达400～600khz，因此只能选用mosfet作为开关器件。但是，mosfet的输出功率较小，为了增大输出功率，可采用mosfet并联运行的方式来解决高频与大功率间的矛盾。

    逆变部分采用频率恒定的三角载波信号与输入的正弦波进行异步调制。控制方式采用hpwm技术．将直流电压逆变成一系列等幅的脉冲信号。其脉冲信号的幅度和脉宽始终与调制正弦波成正比。这些脉冲信号经低通滤波器将高频载波信号滤除后．即可得到与调制波同频的正弦波输出。因此只要改变输入的调制波，就可容易地实现幅度可调的变频正弦波输出。

    2．2 单片机控制系统

    该电源采用专为控制逆变器设计的80c196mc单片机作为逆变的控制核心[4，5]。80c196mc单片机内部的波形发生器wfg，占用cpu时间非常短．可由p6口直接输出4路pwm信号用于逆变器的驱动。由80c196mc和eprom2764构成最小微机系统．将完成超声波频率和电压大小的给定．以及载波频率的设定，并模拟输出单极性正弦波恒幅脉宽调制hpwm信号。可实现电压幅度和频率的显示．以及电源的保护控制。

    2．3 逆变主电路及hpwm控制方式

    在高频下运行时，功率管的开关损耗极大．器件易于损坏，限制了功率的提高。该电源的关键技术难题是在高频条件下，如何得到大功率的变频正弦波输出。即逆变器的难点是如何降低开关管的开关损耗，使du／dt及di／dt应力大为下降，以实现高频逆变。为了达到这些目的。逆变主电路采用了易于实现软开关技术的单相全桥拓扑结构．在控制方式中采用了hpwm控制方式。图2示出逆变器的主电路拓扑。图3示出4个开关管的驱动信号及逆变器的输出信号。

    hpwm控制方式的实质仍属于单极性spwm控制方式。逆变桥输出端得到的是三态输出电压波、形。在输出电压的正半周，正弦调制波与三角载波交／截产生的脉冲信号控制vs1和vs3桥臂高频互补通断；控制vs2和vs4桥臂低频互补通断，即vs2关断，vs4导通。在输出电压的负半周，两桥臂的工作状态互换