据VLSI Research Inc.进行的一项年度调查结果，Tegal Corp.和Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.在2005年芯片制造设备产业中客户满意度排名榜上位居前列。

　　在2005年晶圆加工设备小型供应商的“10佳客户满意厂商”排名中，Tegal获得最高排名，而while Varian则在大型供应商中名列第一。

  　
　　VLSI Research的分析师May Chang表示，2005年芯片制造设备产业中的总体客户满意度比2004年微升0.1个百分点。

　　在芯片制造设备大型供应商的10佳客户满意度排名榜中，Varian但居第一，以下依次是Tokyo Electron Ltd.、ASML Holding NV、Dainippon Screen Mfg.、佳能(Canon Inc.)、ASM International BV、Hitachi Kokusai Electric Inc.、Novellus Systems Inc.、Lam Research Corp.和应用材料(Applied Materials Inc)。2004年Lam Research和应用材料榜上无名，当年应用材料名列第11，而Lam Research位于第12位。而尼康(Nikon Corp.)和Ulvac Inc.则跌落2005年的10佳排名榜。

　　在芯片制造设备小型供应商的10客户满意度10佳排名榜中，Tegal夺得第一，以下依次是Aixtron AG、EV Group、Suss MicroTec、SEZ Group、Axcelis Technologies Inc.、Unaxis Wafer Processing、Mattson Technology Inc.、FSI International Inc.和Semitool Inc.。