新型原位半导体计量带有集成等离子体电离源的新架构
发布时间:2021/7/17 7:09:47 访问次数:240
Aston是一个创新型原位半导体计量平台,带有集成等离子体电离源。
Aston是半导体生产计量领域中的一次重大演变,实现了原位分子过程控制,使现有工厂运行更高效,并可推动产出提升。
通过Aston,某些应用中的单位工艺吞吐量可以提升40%以上,这是一个很大的改进。对于一家典型的晶圆厂来说,即使整体产能提高1%,每年的产量也能增加价值数千万美元。
这将从本质上帮助制造商提高其生产水平,并有助于解决目前半导体晶圆厂产能不足的问题。
制造商:TT Electronics 产品种类:线绕电阻器 - 底架安装 系列:WH 电阻:330 Ohms 功率额定值:50 W 容差:5 % 温度系数:25 PPM / C 电压额定值:1.25 kV 最小工作温度:- 55 C 最大工作温度:+ 200 C 端接类型:Solder Lug 长度:51 mm 宽度:30 mm 高度:16 mm 封装:Bulk 特点:Aluminum Housed Resistors 工作温度范围:- 55 C to + 200 C 产品:Aluminum Housed Resistors 技术:Wirewound 商标:Welwyn Components / TT Electronics 安装风格:Chassis Mount 产品类型:Wirewound Resistors 工厂包装数量:200 子类别:Resistors 单位重量:29 g
快速、可操作的端点检测(EPD)是运行半导体工具和晶圆厂的最有效方式。到目前为止,许多工艺步骤都无法部署EPD,因为所需的原位传感器不能经受住苛刻的工艺或腔室清洁化学品的影响,或者会因冷凝水沉积而出现堵塞。
Integra的100V射频氮化镓技术的问世是高功率市场的一个重要里程碑。此项创新技术可以消除目前限制系统性能的障碍,并支持采用以前无法实现的新架构。
客户最终可以受益于更小的系统占用空间和更低的系统成本。

(素材来源:eccn和ttic.如涉版权请联系删除。特别感谢)
Aston是一个创新型原位半导体计量平台,带有集成等离子体电离源。
Aston是半导体生产计量领域中的一次重大演变,实现了原位分子过程控制,使现有工厂运行更高效,并可推动产出提升。
通过Aston,某些应用中的单位工艺吞吐量可以提升40%以上,这是一个很大的改进。对于一家典型的晶圆厂来说,即使整体产能提高1%,每年的产量也能增加价值数千万美元。
这将从本质上帮助制造商提高其生产水平,并有助于解决目前半导体晶圆厂产能不足的问题。
制造商:TT Electronics 产品种类:线绕电阻器 - 底架安装 系列:WH 电阻:330 Ohms 功率额定值:50 W 容差:5 % 温度系数:25 PPM / C 电压额定值:1.25 kV 最小工作温度:- 55 C 最大工作温度:+ 200 C 端接类型:Solder Lug 长度:51 mm 宽度:30 mm 高度:16 mm 封装:Bulk 特点:Aluminum Housed Resistors 工作温度范围:- 55 C to + 200 C 产品:Aluminum Housed Resistors 技术:Wirewound 商标:Welwyn Components / TT Electronics 安装风格:Chassis Mount 产品类型:Wirewound Resistors 工厂包装数量:200 子类别:Resistors 单位重量:29 g
快速、可操作的端点检测(EPD)是运行半导体工具和晶圆厂的最有效方式。到目前为止,许多工艺步骤都无法部署EPD,因为所需的原位传感器不能经受住苛刻的工艺或腔室清洁化学品的影响,或者会因冷凝水沉积而出现堵塞。
Integra的100V射频氮化镓技术的问世是高功率市场的一个重要里程碑。此项创新技术可以消除目前限制系统性能的障碍,并支持采用以前无法实现的新架构。
客户最终可以受益于更小的系统占用空间和更低的系统成本。

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