从整体结构布局考虑采取的是齐端式
发布时间:2017/2/5 21:25:20 访问次数:747
该干涉系统在设计时应考虑以下几个问题。
(1)为适应一般工业生产的需要, ICR18650-30B应简化结构,降低成本性能,力求作到稳定。采用一套干涉系统测量菇、),两个坐标的方案,减少了一套干涉系统,即将五角棱镜固定在中滑板上实现戈方向的测量,而立体直角锥棱镜固定在上滑板上实现),方向测量。但该系统的缺点是戈、y运动有交叉影响,测量光轴与工作物轴线不完全重合,存在一定的阿贝误差,直接影响整机的精度。因整机精度要求l l.t,m—0.5¨m的范围,该系统能满足要求。
(2)该干涉系统另一简化是取消了常规干涉系统中必备的准直系统,直接采用激光器发出的光束,因此也省去了接收元件前的聚光系统殁一系列的光阑,同时由于光束直径很细,使整套光学元件尺寸大大缩小,使整机的体积相应缩小。
(3)从整体结构布局考虑采取的是齐端式,由于结构限制不遵守共路原则,为减少外界环境对干涉系统精度的影响,一是用机罩将整个干涉系统罩在一起。为防止激光器的影响,将激光器与干涉仪隔开,采用单独的机罩,故使干涉仪的全部元件处于相同的外界环境。二是两光路条件尽量做到光程相同,故在参考光路中加梯形棱镜,做到两光路中经过光学元件的光程相等,同时也缩小了结构尺寸。
(4)在元件的选择上主要是调整、安装方便,采用了配对的立体直角锥棱镜、五角棱镜及直角棱镜等。这些光学元件虽加工精度要求高,但给装配调整带来了方便,适于工业生产需要。
该干涉系统在设计时应考虑以下几个问题。
(1)为适应一般工业生产的需要, ICR18650-30B应简化结构,降低成本性能,力求作到稳定。采用一套干涉系统测量菇、),两个坐标的方案,减少了一套干涉系统,即将五角棱镜固定在中滑板上实现戈方向的测量,而立体直角锥棱镜固定在上滑板上实现),方向测量。但该系统的缺点是戈、y运动有交叉影响,测量光轴与工作物轴线不完全重合,存在一定的阿贝误差,直接影响整机的精度。因整机精度要求l l.t,m—0.5¨m的范围,该系统能满足要求。
(2)该干涉系统另一简化是取消了常规干涉系统中必备的准直系统,直接采用激光器发出的光束,因此也省去了接收元件前的聚光系统殁一系列的光阑,同时由于光束直径很细,使整套光学元件尺寸大大缩小,使整机的体积相应缩小。
(3)从整体结构布局考虑采取的是齐端式,由于结构限制不遵守共路原则,为减少外界环境对干涉系统精度的影响,一是用机罩将整个干涉系统罩在一起。为防止激光器的影响,将激光器与干涉仪隔开,采用单独的机罩,故使干涉仪的全部元件处于相同的外界环境。二是两光路条件尽量做到光程相同,故在参考光路中加梯形棱镜,做到两光路中经过光学元件的光程相等,同时也缩小了结构尺寸。
(4)在元件的选择上主要是调整、安装方便,采用了配对的立体直角锥棱镜、五角棱镜及直角棱镜等。这些光学元件虽加工精度要求高,但给装配调整带来了方便,适于工业生产需要。
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