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CCD在高速电子轰击下会产生辐射损伤

发布时间:2016/1/30 22:48:10 访问次数:1114

   根据加速电压和覆盖层情况不同,轰击到CCD像敏元上的电子能量也不同。一般, R5F21144SP每个光电子可以产生大约2000~3000个电子。作为光子探测器应用,这种增益量级已经足够。例如,若CCD芯片上放大器噪声为300个电子,则很易分清有一个光电子或者没有光电子。而作为微光摄像应用,由于二代像增强器光阴极的灵敏度可达400 yA/lm以上,所以,EBCCD也可以实现高灵敏度、高电子增益和低暗电流。

   EBCCD的不足是工作寿命短。CCD在高速电子轰击下会产生辐射损伤,辐射损伤使暗电流和漏电流增加,转移效率下降,从而严重影响CCD的寿命。采用背面辐照方式,情况有所改善,但需要增加工艺步骤,成品率低。

   除上述两种得到应用的微光CCD外,还可以使背照减薄的帧/场转移结构CCD在低温下工作,以大大地降低暗电流,并允许增加每场光积分时间,而进一步提高信噪比。正  图7.31倒像式EBCCD结构面光照器件的量子效率典型值为25%左右,而背照器件的量子效率可高达80%。制冷器件适用于凝视工作模式,已经在天文观察方面获得成功的应用。

   根据加速电压和覆盖层情况不同,轰击到CCD像敏元上的电子能量也不同。一般, R5F21144SP每个光电子可以产生大约2000~3000个电子。作为光子探测器应用,这种增益量级已经足够。例如,若CCD芯片上放大器噪声为300个电子,则很易分清有一个光电子或者没有光电子。而作为微光摄像应用,由于二代像增强器光阴极的灵敏度可达400 yA/lm以上,所以,EBCCD也可以实现高灵敏度、高电子增益和低暗电流。

   EBCCD的不足是工作寿命短。CCD在高速电子轰击下会产生辐射损伤,辐射损伤使暗电流和漏电流增加,转移效率下降,从而严重影响CCD的寿命。采用背面辐照方式,情况有所改善,但需要增加工艺步骤,成品率低。

   除上述两种得到应用的微光CCD外,还可以使背照减薄的帧/场转移结构CCD在低温下工作,以大大地降低暗电流,并允许增加每场光积分时间,而进一步提高信噪比。正  图7.31倒像式EBCCD结构面光照器件的量子效率典型值为25%左右,而背照器件的量子效率可高达80%。制冷器件适用于凝视工作模式,已经在天文观察方面获得成功的应用。

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