仪器设计有两套测量系统对上工作台移动过程申在水平面内的平移和转角进行测量并进行校正， F75111RG以补偿阿贝误差。

   上工作台运动中水平面内的平移测量及校正原理如图2 -28所示。在仪器底座的左侧安置有瞄准影像投影器。6V 5W的光源l照明细丝分划板2，并通过长焦距透镜组3，经固定在上工作台上的五角棱镜4和直角棱镜5组合体转向，把细丝影像投射到瞄准光电显微镜的狭缝6平面上。光电显微镜装在固定于底座上的支架中。因此，当上工作台在移动过程中发生平移时，五角棱镜和直角棱镜跟着一起平移，使得细丝影像在狭缝平面上的位置有所改变，破坏了原来的瞄准状态，引出一个电压输出量。此电压施加在两个压电陶瓷9上，使上工作台产生平移，直到光电显微镜输出为零为止。由图2 -28可见，当工作台平移距离口时，由于直角棱镜的又一次反射，使两次转向后的光轴偏离原光轴距离为20，故放大了一倍。

   上工作台运动中水平面内的扭摆（转角）测量及校正原理如图2 - 29所示。这里采用了激光小角度测量法。在上工作台的左部装了一对角耦棱镜。若上工作台移动过程中产生转动，角耦棱镜3相对于角耦棱镜8所对应的程差将有增大或缩短。这样，根据测得

的偏差值的正负方向，通过电子线路，使压电陶瓷5作相应的伸长或缩短，以补偿上工作台在运动中产生的在水平面内的扭摆（转角）。