在低频率时运动传感器使用动态偏移补偿(Dymamic offset Compensation, DOC)技术实现低噪声。传感器包含两个主要模块:一个无源MEMS加速度计和一个面向特定应用的接口集成电路(AsIC)。MEMS传感器是一个无源表面微机械加速度计,具有1fF/g的分辨率。ATMEGA16L8Au由于寄生效应分流了系统和典型时钟电压,假设传感器的输出电压是1mV/g,这样小于5mg的传感器分辨率要求需要在0.1~10Hz带宽内5uⅤ的前端电压稳定性。这种稳定性要求是可以依靠面积大的晶体管来实现,但是受限于有限的空间,只好应用1〃噪声偏高的小尺寸晶体管。电容式MEMS传感器的读出需要交流励磁,相关双采样(CDs)技术用于抑制接口电路的1〃噪声。

   图8,9 惯性传感细节:具有MEMS传感器的加速度传感器在左边,自定义集成 感应接口电路在右边,物理连接展示在照片的右边,最终传感器进行封装 以完成制作加工[经IEEE(Ref:”B9780g51019)许可引用]