空气质量流量
空气质量流量
传感器
质量气流传感器中包含的薄膜，含有加热器热隔离桥的结构和
温度传感元件。桥结构提供的流程的敏感和快速的响应
空气或其它气体在芯片上。
国家的最先进的芯片设计和制造技术使微桥是显着
灵敏，快速，体积小。用于任何气流需要测量。
电源电压：
工作温度：
介质兼容性：
8伏至15伏直流
-25°C至85°C （ -13 °F至185 °F ）
只有干气
AWM2000系列
该AWM2000系列微桥空气质量流量
传感器是一种无源器件包括两个
惠斯通电桥，并具有双向传感
能力。加热器控制电路所需的
按规范操作。传感桥
还需要对每个操作的电源电路
规格。这两种电路都登不上
的包，并且必须在供给
应用程序。差分放大器是一个有用的
接口，用于感测桥。它可用于
引入的增益和对电压偏移到传感器
输出。
信号调理：
无放大（ -44,5 MVDC到
44,5 MVDC ）
接口类型：
直
传感器的电阻：
5千欧
AWM3000系列
像AWM2000系列，双惠斯登电
桥梁控制气流的测量。该
AWM3000系列被放大;因此，它可以是
用于增加增益，并引入电压
偏移传感器的输出。加热器控制
电路和传感桥供电电路上
登上包。
信号调理：
接口类型：
上午
plified （ 1伏到5伏）
直
AWM40000系列
微桥空气质量流量传感器的工作原理
对传热的理论。空气质量流量为
跨越传感表面定向
元素。按比例输出电压变化
通过质量空气或其它气体流
入口和所述包的出口端口。该
特别设计的房屋正好指示
并控制整个气流
微传感元件。机械
包装的设计使得它能够很容易地
安装到印刷电路板。
微桥空气质量流量传感器具有
基于先进独特的硅芯片
显微技术。它包括一个
薄膜，热隔离桥结构
含有加热器和温度传感
元素。桥结构提供了一个
向空气的流动敏感和快速的响应或
其他气体过芯片。双传感元件
定位在中央加热的两侧
元件指示流动方向以及流
率。激光微调厚膜和薄膜
电阻提供一致的互换性
从一个设备到下一个。
接口类型：
歧管
流量/压力范围
±200 SCCM
2.0 + H中
2
0 （ 5毫巴）
± 1000 SCCM （ 1 SLPM ）
参考
AWM3100V
AWM3200V
AWM3300V
流量/压力范围
±200 SCCM
± 4.0 H中
2
O（ 10毫巴）
± 1000 SCCM （ 1 SLPM ）
参考
AWM2100V
AWM2200V
AWM2300V
信号
空调
无放大（ 8.5毫伏）
无放大（ 54.7毫伏）
放大
（ 1伏到5伏）
放大
（ 1伏到5伏）
流量/
压力范围
± 25 SCCM
± 1000 SCCM （ 1 SLPM ）
± 1000 SCCM （ 1 SLPM ）
+ 6 SLPM
参考
AWM42150VH
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
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