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压力

图1

示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的方框图。

V

S

3

薄膜

温度

赔偿金

和校准

电路

2

传感

元素

+V

OUT

4 -V

OUT

1

GND

图1.温度补偿压力传感器的原理

电压输出与应用差压

传感器的差分电压输出直接

正比于所施加的压力差。

差或计传感器的输出电压

与施加到压力增加的压力增加

侧（P1）相对于所述真空侧（P2）。同样，输出

电压随着增加真空施加到

真空侧（P2）的相对的压力侧（P1）。

MPX2050

2

传感器

飞思卡尔半导体公司

2

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