ADXL323
工作原理
将ADXL323是一个完整的2轴加速度测量
系统在单一的单片IC 。该ADXL323具有测量
±3换货范围
g
最低限度。它包含一个多晶硅表面
微机械加工的传感器和信号调节电路，以
实现开环加速度测量结构。
的输出信号是模拟电压成比例的
加速。加速度计可以测量静态加速度
灰重力在倾斜感测应用中，以及动态
加速运动，冲击或振动产生的。
该传感器是一个多晶硅表面微加工结构
建立在一个硅晶片的顶部。多晶硅弹簧悬挂的
结构在晶片的表面上，并提供一个电阻
对加速力。结构的变形是meas-
使用差电容器，它包含独立的被保险
固定板和板附连到运动质量。固定
板由180 °异相方波驱动。促进
偏转运动质量和不平衡的差动
电容器产生的传感器输出，其振幅是
与加速度成比例。相敏解调
然后技术被用于确定大小和
加速度的方向。
的解调器输出被放大和带片
通过一个32 kΩ的电阻。然后，用户设置信号频带 -
该装置的宽度增加一个电容器。这种过滤提高
测量分辨率，并有助于防止混淆。
机械传感器
将ADXL323使用单一结构，用于感测在X轴和
Y轴。其结果是，这两个轴的感方向
高度正交很少有交叉轴灵敏度。机械
传感器芯片到封装的不对准是首席
源交叉轴灵敏度。机械错位可以的，
当然，标定出在系统级别。
性能
而不是使用附加的温度补偿
电路系统，创新的设计技术确保高
性能是建立在对ADXL323 。其结果是，有
没有量化误差，也不单调行为，
温度滞后是非常低（通常小于3毫克以上
在-25 ° C至+ 70 ° C的温度范围内） 。
图13和图16示出了零
g
的输出性能
焊接到PCB过-25 ℃的8份（X轴和Y轴）
至+ 70 °C温度范围。
图25和图28展示了典型的灵敏度漂移
在整个温度范围为3 V的电源电压，这是典型的
在-25 ° C至+ 70 ° C的温度范围内优于± 1 ％ 。
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