工作原理
飞思卡尔加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微加工的
电容感测单元（克细胞）和CMOS信号
调节ASIC包含在单个集成电路
封装。所述传感元件设置在所述密封
采用体硅微机械“帽''晶圆晶片级。
是一个机械结构，从所形成的克细胞
（多晶硅）采用半导体半导体材料
过程（掩模和蚀刻） 。它可以建模为一组
的梁连接到该移动的可移动中央质量
固定横梁之间。可动波束可被偏转
从它们通过使该系统的其余部分的位置
加速度（图
3).
作为梁安装于中央质量的举动，所述
从它们在一侧的固定波束的距离将
按相同的量，该距离增大到固定
光束在另一侧减小。距离的变化
是加速度的测量值。
在G-细胞束形成两个背到背电容器
（图
4).
随着中央与质量加速运动时，
光束的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化， （C = NAε / D ） 。其中A是的领域
面对光束的侧
ε
是介电常数，D是
n中的光束之间的距离，并且是波束的数量。
在XY装置中包含两个结构成直角
彼此。
该CMOS ASIC采用开关电容技术
测量G-电池电容和提取加速
由两个电容器之间的差值数据。该
ASIC还信号条件和过滤器（开关电容）
的信号，从而提供一个高电平输出电压即
比例和加速度成比例。
促进
促进
特殊功能
筛选
飞思卡尔加速计包含一个板载4针
开关电容滤波器。贝塞尔实现使用
因为它提供了最平坦的响应延迟（线性
相）从而保持脉冲形状的完整性。因为
过滤器是利用开关电容技术来实现，有
外部无源元件（电阻器没有要求
和电容器）来设置截止频率。
自检
该传感器提供了一个自检功能，可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在应用，如汽车安全气囊临界
其中，系统的完整性，必须确保在系统使用寿命
该车辆的。第四个“板” '被用在克细胞作为自
试板。当用户施加一个逻辑高输入到自
测试管脚，一个标定电位跨越自检施加
板和所述可移动板。由此产生的静电
力（ FE =
1
/
2
AV
2
/d
2
）使中心板偏斜。该
所得的偏转是由加速度计的测量
控制ASIC和比例的输出电压的结果。这
过程保证，无论是机械的（克细胞）和
加速度计的电子部分的功能一样。
比例调节
比例调节简单地意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性比例随外加电压。
也就是说，当增加的电源电压的灵敏度和
偏置线性增加;由于电源电压降低时，偏移
和敏感度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器，因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
状态
飞思卡尔加速计包括故障检测电路
和故障锁存器。 STATUS引脚从故障输出
锁存器，逻辑与的具有自检，并且被设置为高时的一个（或
多个下述事件）发生：
电源电压低于低电压检测（LVD ）
电压阈值
时钟振荡器落在时钟监视器低于最低
频率
的EPROM位奇偶变成单数。
故障锁存器可以通过自检的上升沿被复位
输入引脚，除非一项所述的故障条件（或更多）
继续存在。
图3.传感器
物理模型
图4.等效
电路模型
MMA3201D
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
