工作原理
飞思卡尔加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微加工的
电容感测单元（克细胞）和信号调节ASIC
包含在单个封装中。感测元件被密封
密封在使用微机械批量晶圆级
盖晶片。
是一个机械结构，从所形成的克细胞
（多晶硅）采用半导体半导体材料
过程（掩模和蚀刻） 。它可以建模为一组
的梁连接到该移动的可移动中央质量
固定横梁之间。可动波束可被偏转
从它们通过使该系统的其余部分的位置
加速度（图
3).
作为梁安装于中央质量的举动，所述
从它们在一侧的固定波束的距离将
按相同的量，该距离增大到固定
光束在另一侧减小。距离的变化
是加速度的测量值。
在G-细胞束形成两个背到背电容器
（图
3).
为中心梁加速度移动时，
光束的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化， （C = Aε / D ） 。其中A是的领域
梁，
ε
是介电常数，而D是距离
横梁之间。
该ASIC采用开关电容器技术来测量
对于g单元电容器，并提取从加速度数据
这两个电容之间的差。该ASIC也
信号条件和过滤器（开关电容器）的信号，
提供一个高层次的输出电压，比例和
与加速度成比例。
促进
其中，保障系统的完整性，必须确保在
产品的使用寿命。客户可以使用自测试验证
可焊性，以确认该部分被安装到所述印刷电路板
正确。要使用此功能来验证0克检测功能，
加速度计应该倒过来，这样的召开
z轴的经验-1g 。当自测试功能是
开始，一个静电力施加到每个轴对
使其偏转。 x轴和y轴都略微偏转
而z轴是修剪偏转1克。此过程
保证，无论是机械的（克细胞）和电子
加速度计的部分是否正常。
G-选择
在G-选择功能允许两者之间的选择
敏感性。根据不同的逻辑输入放置在销10
该器件的内部增益，可以改变它的功能
用1.5克或6克灵敏度（表
3).
该功能非常适合
当产品具有需要两个不同的应用程序
感光度以获得最佳性能。灵敏度可以
该产品的操作过程中随时改变。该
G-选择引脚可以悬空的应用
只需要一个1.5克灵敏度器件具有内部
下拉使其保持在该灵敏度（为800mV /克））。
表3. G-选择引脚说明
G-选择
0
1
G-范围
1.5g
6g
灵敏度
800毫伏/克
200毫伏/克
睡眠模式
3轴加速计提供了睡眠模式是
非常适合电池供电产品。当睡眠模式
活性，该装置的输出被关断，从而提供显著
减少工作电流。在7脚低输入信号
（睡眠模式）将会把该设备在此模式下，减少
至3的电流
A
（典型值） 。对于较低的功耗，这是
建议设置G-选择1.5克模式。通过将高
在7脚的输入信号时，器件将恢复到正常模式
的操作。
筛选
3轴加速度计包含一个板载单刀
开关电容滤波器。因为该过滤器是利用实现
开关电容技术，对于不要求
外部无源元件（电阻，电容）来设置
的截止频率。
比例调节
比例调节只是意味着输出失调电压和
灵敏度线性比例随外加电压。那
是，由于电源电压增加时，灵敏度和偏移
线性增加;由于电源电压降低时，偏移量和
灵敏度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器，因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
图3.简化的传感器物理模型
特殊功能
0g-Detect
该传感器提供了一个0克检测功能，提供了一个逻辑
高信号，当所有三个轴都在0克。此功能
使线性自由落体保护，如果应用
信号连接到中断引脚或在一个极化的I / O引脚
微控制器。
SELF TEST
该传感器提供了一个自检功能，可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在诸如硬盘驱动器的关键
MMA7360L
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
