图1
示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的方框图。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
1
GND
X -能器
传感
元素
2
V
OUT +
4 V
OUT-
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与
应用差压
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
表1.最大额定值
(1)
等级
高压
储存温度
工作温度
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
相对于所述真空侧侧。同样，输出电压
随着越来越多的真空施加到真空
相对于压力侧侧。
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPXM2202
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
