飞思卡尔半导体公司
介质兼容性免责声明
摩托罗拉已经测试媒体宽容传感器设备
选择的解决方案，或环境和测试结果
基于由选择的特定条件和程序
摩托罗拉。建议客户的结果可能会有所不同
实际服务的条件。客户应注意，
他们负责确定的介质兼容性
在他们的应用中传感器设备和可预见的使用
与他们的应用程序的滥用。
传感器的介质兼容性：问题与答案
T. Maudie ， DJ僧，四Zehrbach和D Stanerson
摩托罗拉半导体产品部，传感器产品部
5005 E.麦克道尔路，凤凰城，AZ 85018
抽象
介质兼容性的适用性会影响所有的传感器
一定程度上，但也许没有比更大幅
压阻式压力传感器。为了提供一个
与施加的压力精确，线性输出，媒体
应该在与硅管芯直接接触。任何屏障
在管芯和媒体之间，限制了装置
性能。一个典型的压阻式压力膜片
采用体微机械加工技术制造的传感器
示于图1，一种用于媒体兼容的定义
压力传感器将被提出。
为了确保精确的媒体测试中，要求与
方法需要被理解的，以及什么构成
是失败的。失败的物理学的理解可以
显著减少开发周期和生产
更高质量的产品[5,6]。的焦点
失效物理的方法包括失效机理，
加速环境，和故障模式。要求
对于一个典型的压力传感器的应用涉及到长期的
暴露于各种媒体在升高的温度和
可以包括附加的加速度分量，如
静态的或环状的温度和压力。
飞思卡尔半导体公司...
作为传感器和致动器被嵌入更深
电子系统的介质兼容性的问题，以及
传感器和执行器的性能和生存能力变
越来越关键。用大量的定义和
甚至更多的东西介质兼容性是解释，有
是混乱的，不仅行业内的一个地面隆起，但
之间的最终用户以及。传感器产业必须响应
创造什么样的介质兼容性是一个明确的定义，然后
努力为客户提供一个全面的了解和行业
什么是参与评估媒体广泛协议
耐受性和兼容性。最后，该行业必须创建
一组标准的工程参数来设计，评估
测试，最终限定在传感器和致动器发挥作用
各种介质条件。本文定义了媒体
相容性，确定了相关的兼容性问题，以及
建议的路径，行业标准化。
介绍
在微机电系统（ MEMS）的可靠性
各种媒体的是，目前还没有收到太大的主题
注意在文献中尚未[1-3] ，但确实带来了许多
潜在的问题。长期被媒体曝光的影响
硅MEMS器件和材料仍然需要答案[4]。
测试可能会导致可预测的硅或包装相关
的故障，但由于该机制的复杂性，
有害的故障可以被观察到。该传感器可以是
接触到不同的媒体市场，如汽车，
工业和医疗。这种介质可包括极性或
非极性有机液体，酸，碱，或水溶液。
集成电路（IC ）已经长期被暴露在
极端温度，潮湿的环境中，并且机械
试验，以证明或预测该装置的可靠性
该应用程序。不像典型的集成电路中，传感器通常必须存在
在一个恶劣的环境直接接触。恶劣的缺乏
媒体模拟试验的标准化，这些直接接触
情况就必须对方法的发展和
硬件进行可靠性测试。
隔膜
扩散的
应变计
金属化
硅
晶圆
蚀刻
空穴
DIE
RTV DIE BOND
线
互联
领导
FRAME
本文发表于传感器博览会，阿纳海姆， CA，并且是
授权转载，杂志传感器（ 174协和街，
彼得伯勒， NH 03458 ）和Expocon管理协会，
公司（邮政信箱915 ，费尔菲尔德， CT 06430 ） 。
图1.典型的块状硅微机械
压阻式压力传感器装置
和包装配置。
1–18
www.motorola.com/semiconductors
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
环氧树脂
例
摩托罗拉传感器设备数据
