
飞思卡尔半导体公司
参考
特里萨Maudie ,测试要求和可靠性
遇到微机械结构的问题,
第二届国际研讨会论文集
对组织和微加工系统,编。
D.丹顿,P.J赫斯基和H·休斯, ECS ,第一卷。
95–27 (1995) pp. 223–230.
( 2 )阿恩Nakladal
等,
湿度和湿气的影响
TURE的压阻式压力的长期稳定性
确保传感器,测量卷。 16 ( 1995年),第21-29 。
( 3 )马林NESE和安德斯Hanneborg ,阳极键合
硅硅晶片涂有铝,
氧化硅,多晶硅或氮化硅,传感器
和执行器,第二卷。 37-38 ( 1993年),第61-67 。
( 4 )雅努什Bryzek ,微型机械上月, IEEE
谱, 1994年5月。
( 5 ) JM胡,失效物理的基于可靠性Qualifi-
汽车电子,通信阳离子
RMS ,第一卷。 1 ,没有。 2( 1994),第21-33 。
( 6 )迈克尔Pecht等人,
质量一致性和Qualifi-
微电子封装及其内部阳离子
nects ,
约翰·威利& Sons公司, 1994年。
( 7 )威廉· M· Alvino ,
塑料的电子产品,
麦格劳 -
山, 1995年
( 8 )尤金R. Hnatek ,集成电路的质量和可靠性
能力,马塞尔·德克尔公司,1987 。
( 9 )查尔斯· A·哈珀,
手册塑料,弹性体,
和复合材料,
麦格劳 - 希尔, 1992年。
( 10 )理查德· W·赫茨伯格,
变形和断裂
机械工程材料,
约翰·威利&
Sons公司,1983 。
( 11 )约瑟夫M. Giachino ,汽车传感器:驾驶
对优化车辆性能, 7日国际CON-
ference对固态传感器和执行器,六月
1993.
( 12 ),佩里Poiss ,什么添加剂汽油做,水文
碳处理, 1973年2月。
(1)
( 13 )汽油/甲醇混合物为材料测试, SAE
合作研究报告CRP- 001 , 1990年9月。
( 14 )从市民营通信安德鲁·麦克尼尔
凤凰城,水和废水处,水
品质部, 1994年1月。
( 15 )洗衣粉,消费者报告, 1991年2月,
pp. 100–106.
( 16 )硅作为机械材料,库尔特· E. ·彼得森,
PROC 。 IEEE ,第70 ,没有。 5 ,第420-457 , 1982年5月。
( 17 )的原则和防腐蚀,丹尼A.
琼斯( Prentice Hall出版社:黄俊英,新泽西州, 1992年) 。
电化学平衡(18 )阿特拉斯的水解决方案
系统蒸发散, M. Pourbaix , ( Pergamon出版社:牛津, Eng-
土地,1966)
( 19 )各向异性碱性晶体硅刻蚀
解决方案,第一部分取向依赖和Behav-
钝化层的折射率, H·塞德尔
等,
J.电 -
化学。 SOC ,第一卷。 137 ,没有。 11 ( 1990年),第3612-3625 。
( 20 )各向异性碱性晶体硅刻蚀
解决方案,第二部分。掺杂剂的影响, H·塞德尔
et
人的
J.电化学会SOC ,第一卷。 137 ,没有。 11 ( 1990年)
pp. 3612–3625.
聚合物体系,第二版( 21 )原则。 , F·罗德里格斯,
(半球出版公司:华盛顿
哥伦比亚特区, 1982年。
( 22 ) DJ僧,通过物质间的压力泄漏
面临压力传感器封装,传感器在Elec-
TRONIC包装,主编。查尔斯·梅和潮
脚叶, MED-卷。 3 / EEP- 14卷( 1995年),页87-93 。
( 23 )保罗·托比亚斯和David C.特林达德,
应用可靠性
的能力,
范·诺斯特兰莱因霍尔德, 1995年。
( 24 )韦恩·纳尔逊,
加速测试,
约翰·威利&
Sons公司, 1990年。
( 25 ) O.哈尔贝里和DS派克, “最近的湿度加速
操作,基本的检测标准, “质量和
可靠性工程师。国际,卷。 7 ,页169-180 ,
1991.
飞思卡尔半导体公司...
摩托罗拉传感器设备数据
www.motorola.com/semiconductors
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
1–29