飞思卡尔半导体公司
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图形的金引线框架中硝酸的均匀腐蚀在5伏直流3实施例和电化腐蚀上
公正设备在商业洗涤剂金线/铝焊垫界面。
图3的部分显示的是我们有一个例子
描述为电蚀（即，类似的腐蚀
金属表面在电解液中所引起的
在两个表面之间的电势差足够） 。
这似乎是金引线框架的均匀腐蚀
表面。但是应当注意的是，这种类型的故障，观察
即使在'贵族'的金属如金。施加的电势的驱动
对于该反应力。所有金属可以以这种方式被腐蚀
取决于溶液浓度（pH ）和所施加的
势。 Pourbaix图描述这些热力学
关系[18] 。
图3示出的电偶腐蚀的一个例子。该
图表示，由于腐蚀可能也会发生
被电连接，并且异种金属
浸在电解质溶液。在A的区别
两种金属之间的腐蚀电位的驱动力
用于该反应的。局部腐蚀的例子很普遍
为好。通常它们可以是前体看似上
宏观尺度是均匀的或电化腐蚀。
现场
在电解媒体监测设备将能更好地
诊断这种故障机制。典型
易地
或区间
可靠性测试可能不允许的根本原因的诊断，以
失效，从而限制了任何由此产生的预测能力
可靠性模型。
硅刻蚀
图4示出了加速试验的结果
压力传感器管芯到高温洗涤剂溶液。
所使用的清洁剂是一种主要的消费品牌，并导致
在硅的戏剧性蚀刻。碱性解决方案
经过水解反应可能导致的腐蚀
硅类似的堆积微加工操作。此故障
机制可导致敏感性的永久性改变
该装置因为灵敏度正比于
硅厚度的平方成反比。此外，它可能会导致
在晶圆间债券完整性（图4）的损失。硅
蚀刻[ 19-20 ] ，如腐蚀反应，是一种化学
反应，因此促成因素包括硅
材料，其晶体取向和它的掺杂水平，则
溶液的类型，浓度和pH值，和所施加的电位。
温度，浓度（即pH值） ，和电压的所有行为
加速这一过程。图5示出的例子
模拟结果说明了其中的两个变量。
后图4.照片硅刻蚀
暴露在含水洗涤剂溶液中
升高的温度下在延长时间。熔块层，
水平方向的中间，附着到硅上
任一侧上。浸蚀量由可见
引用在最左侧的玻璃料的边缘。
这两个硅边分别对准到玻璃料
当模具被锯的边缘。
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