
摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
通过MPX10 / D
10千帕
无偿
硅压力传感器
该MPX10系列器件的硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。这
标准,成本低,未补偿的传感器允许制造商设计和添加
自己的外部温度补偿和信号调理网络。
因为摩托罗拉的单一的可预测性补偿技术简化
元应变计的设计。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
图1示出的内部电路上的独立压力的示意
传感器芯片。
3脚
+ VS
销2
+ VOUT
X -能器
引脚4
- Vout的
销1
MPX10
系列
0至10千帕( 0 - 1.45 psi)的
35 mV的满量程
(典型值)
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ,风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ,风格1
注: 1脚是缺口引脚。
引脚数
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
第5版
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1