特性及用途
4.位置检测误差
位置检测功能是最重要的字符
teristic的PSD的。一个点的光入射到的位置
PSD的表面可以通过计算来测定
根据从各电极中提取的光电流。
与PSD获得这里的位置是中锋， OF-
斑点光的重心，并且是独立的点光
尺寸，形状和强度。
然而，计算出的位置通常是轻微的变化在
每个PSD的从入射光的实际位置。这
差被称为“位置检测误差”和
下面进行说明。
如果一个光束撞击的PSD的电气中心，该
从输出电极提取的信号电流是
平等的。当这个电中心被视为原点，
位置检测误差被定义为差BE-
补间，在该光实际上入射到位置
将PSD和从PSD的输出计算出的位置。
PSD图4-1截面
X
1
电阻长度L
X
电动
中心B
Xi
Xm
p型
电阻层
I层
N层
实际位置
Xi
计算出的位置
Xm
公共电极
KPSDC0071EA
图4-2显示了光输出的例子
一维PSD的带电阻的电极
为3毫米的长度（ S4583-04等），测定时的光
束扫描在有源表面上。在DE-位置
从所获得的数据来估计tection误差也
在下面的图中所示。
图中单4-2光电流输出示例
维PSD （ S4583-04等）
光电流相对输出
I
X1
I
X2
1.0
0.5
SPOT
光
X
2
0
-1.5
0
+1.5
立场PSD （毫米）
的一维位置检测误差的例子
维PSD （ S4583-04等）
+50
位置检测误差（微米）
0
在图4-1上方，如果入射光的实际位置
是Xi和由所述光电流计算出的位置
(I
X1
我
X2)
从电极X
1
和X
2
是XM ，则
在熙，而Xm之间的距离差被定义为
作为计算下面的位置检测误差。
位置检测误差E =兮 - XM （微米） ........ （ 4-1 ）
夕：入射光的实际位置（微米）
XM ：入射光的计算位置（微米）
XM =
I
X2
-
I
X1
.
L
X
........ (4-2)
I
X1
+
I
X2
2
-50
-1.5
-1.0
-0.5
0
+0.5
+1.0
+1.5
立场PSD （毫米）
KPSDB0005EA
用于位置检测误差特定区域
光束位置可以在整个AC-被检测
略去区PSD的。然而，如果光束撞击的部
所述有源区之外，在该位置偏移中心OF-
整个光束和光之间引力发生
点落入有源区域内，使该位置
测量不可靠。因此，有必要选择
一个PSD的活动区域相匹配的事件射灯。
图4-3中央的重力事故现场光
活跃
区域
SPOT
光
的位置检测误差的后续下测定
荷兰国际集团的条件。
光源
:
λ=890
nm
·射灯尺寸
:
φ200
m
·总光电流： 10 μA
·反向电压：指定的值（在数据表中列出）
产量
电极X
1
CENTER- OF- GRAVITY
现货灯光罩
活动区域内
CENTER- OF- GRAVITY
作者：全点光
产量
电极X
2
KPSDC0073EA
7
