飞思卡尔半导体公司
溶剂
洗涤剂Concentraion的轮廓图和
温度VS蚀刻速率（
m
米/小时）
120
乙醇
110
甲醇
100
温度（C ）
17.5
90
20
80
70
水
22.5
15
聚（丙烯腈）
异辛烷
甲苯
聚合物
7.5
10
PTFE
聚砜
聚氨酯
PMMA
PET
12.5 NYLON
飞思卡尔半导体公司...
60
0
10
20
30
40
50
ULTRA TIDE CONC （克/升）
刻蚀速率
预测
从型号
< = 0.10
< = 0.40
< = 0.20
> 0.40
< = 0.30
δ
= [卡/立方厘米] 1/2
溶解度参数的图6.典型值
为溶剂和聚合物（ δ [卡/立方厘米] 1/2） 。
图5的实验结果的蚀刻（100）
硅大约5×10 -5厘米-3硼
在市售洗涤剂中掺杂密度
如温度和洗涤剂的功能
浓度（它正比于pH下） 。
聚合物溶胀或溶解
肿胀或溶解影响的聚合物通常
采用打包的微机械结构和
取决于介质的性质，可以具有降解
对设备性能的影响。这两个相关的现象
通过溶剂扩散引起的进料和
占聚合物内的自由体积。溶解度
参数给出的定量测量的电位为
肿胀[21] ：即，它提供了一个定量的量度“像
溶解像“ （图6） 。既在聚合物和溶液
向这个失效机制，而媒体
（具体地，溶解度参数），温度，和
该压力可被用作加速度的因素。
图7示出的装置的暴露后的照片
一个残酷的燃料含有腐蚀性的水溶液。这
腐蚀凝胶的膨胀和证据表明该
至关重要的包对的可靠性
压力传感器装置。此外，已经观察到
发生腐蚀的更容易以下肿胀
聚合物密封剂。
初始边缘
凝胶
GEL EDGE
曝光后
汽油
用乙醇
图7.拍摄一个压力传感器装置的
含长期暴露在恶劣的燃料后，
腐蚀性的水，随后通过暴露于强
酸。凝胶肿胀的测试过程中的证据，
和除去从后相应的收缩
测试介质可以通过凝胶缩回远可见
从封装的侧壁。
1–22
www.motorola.com/semiconductors
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
摩托罗拉传感器设备数据
