飞思卡尔半导体公司
机械故障
的机械故障的发生，包括部件
疲劳，辅助环境开裂和抗蠕变。
包装材料，过程，和残余应力都
贡献者机械故障。加速度摘要
应力见表3。联系苛刻的媒体是
加速应力所有的机械故障机制。
压力传感器解决方案
解决方案的压力传感器介质的范围内
兼容性是非常多样的。机械式压力传感器仍
占据许多应用由于本介质兼容性
关注。这些装置通常在可变操作
电感的方法，并且通常不是线性的
压阻元件。图10示出了比较
的机械压力传感器和压阻之间
元素一台洗衣机液位传感应用。该
曲线示出了用于机械传感器的响应是非线性
和对应的直线的压阻元件。
得到的介质兼容性的一个常见方法是将
放置一个阻挡涂层在管芯和导线互连。
该有机封装材料之间提供物理屏障
恶劣的环境和电路。阻挡涂层
范围可以从聚硅氧烷到聚对二甲苯或其它致密薄膜那
适用的典型的非常薄的层。这种技术提供
要因肿胀某些环境中有限的保护
和/或溶解的密封剂材料在接触时
与介质具有相似的溶解度。当聚合物材料
具有相同的值的溶解度参数
相应的媒体，肿胀或会发生溶解。
反充硅油不锈钢膜片
提供一个坚固的障碍最介质的环境中，但
通常是非常昂贵的，并限制了该装置的灵敏度。
硅油被用于从所述发送的应力
膜片的压阻元件。如果聚合
材料被用作芯片粘接，硅油将渗透
从包装中取出。这种关注需要一个芯片连接是
典型的高弹性模量比有机硅和可能不
充分地从模具中分离出封装应力。
2
1.8
1.6
压阻式压力传感器的输出（伏）
表3.机械故障机理
失效机理
疲劳裂纹的萌生
加速应力
机械应力/应变范围
循环温度范围
频率
媒体
机械应力范围
循环温度范围
频率
媒体
机械应力
温度
媒体
机械应力
温度
媒体
疲劳裂纹扩展
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环境辅助开裂
爬行
175
170
机械传感器输出（ HERTZ ）
165
1.4
1.2
1
160
155
0.8
0.6
0.4
150
145
0.2
140
0
1
2
3
时间（分钟）
洗涤
机
传感器
压阻
压力
传感器
4
5
6
0
图10的输出从一个机械压力传感器的图形的比较相比压阻
在洗涤机填充周期的传感器。
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