MMA2201D
工作原理
摩托罗拉加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的电容器的
略去传感细胞（克细胞）和CMOS信号调节
专用集成电路包含在单个集成电路封装。该
感测元件是在晶片级气密密封
采用体硅微机械“帽'的晶片。
是一个机械结构，从semicon-形成的克细胞
采用半导体亲导体材料（多晶硅）
正如事实（掩模和蚀刻） 。它可以建模为两个
固定板与可动板在两者之间。该
中心板可以从它的静止位置由子被偏转
jecting系统的加速度（图2）。
当中间板挠曲，从它到1的距离
固定板将用相同量的显示增加
tance到另一个板下降。距离的变化是
测量加速度。
在G-电池板形成两个背到背电容器
（图3） 。为中心板加速运动时，
板的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化， （C = Aε / D ） 。其中A是的领域
板，
ε
是介电常数，而D是距离
板之间。
该CMOS ASIC采用开关电容技术
测量G-电池电容和提取加速
由两个电容器之间的差值数据。该
ASIC还信号条件和过滤器（开关电容）
的信号，从而提供一个高电平输出电压是比 -
公制和加速度成比例。
促进
自测
该传感器提供了一个自检功能，可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在应用，如汽车安全气囊临界
其中，系统的完整性，必须确保在系统使用寿命
该车辆的。第四个“板” '被用在克细胞作为自
试板。当用户施加一个逻辑高输入到
自测针，一个标定电位横跨施加
自测试板和可动板。由此产生的elec-
trostatic力（ FE = 1/2 AV2 / D2 ）使中心板
偏转。所得到的偏转是由加速测
erometer控制ASIC和比例的输出电压
结果。这个过程确保了两者的机械
（克细胞）和加速计的电子部分是
工作。
比例调节
比例调节简单地意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性比例随外加电压。
也就是说，当增加的电源电压的灵敏度和
偏置线性增加;由于电源电压降低时，偏移
和敏感度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器，因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
状态
摩托罗拉加速计包括故障检测电路
和故障锁存器。 STATUS引脚从故障输出
锁存器，逻辑与的具有自检，并且被设置为高时的一个（或
多个下述事件）发生：
电源电压低于低电压检测（LVD ）
电压阈值
时钟振荡器落在时钟监视器低于最低
频率
的EPROM位奇偶变成单数。
故障锁存器可通过在自上升沿复位
试输入管脚，除非一项所述的故障条件（或更多）
继续存在。
图2.传感器
物理模型
图3.等效
电路模型
基本连接
引脚说明
N / C
N / C
N / C
ST
VOUT
N / C
VSS
VDD
1
2
3
4
5
6
7
8
16
15
14
13
12
11
10
9
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
特殊功能
筛选
摩托罗拉加速度计包含一个板载4针
开关电容滤波器。贝塞尔实现使用
因为它提供了最平坦的响应延迟（线性
相）从而保持脉冲形状的完整性。由于滤波器
之三是利用开关电容技术来实现，有
外部无源元件（电阻器没有要求
和电容器）来设置截止频率。
4
摩托罗拉传感器设备数据
