工作原理
飞思卡尔加速计由一个MEMS电容式感应G-细胞和包含在一个信号调理ASIC
单个封装中。利用体微机械加工帽晶片感测元件被密封在晶片级。该
克细胞是从使用掩模和蚀刻工艺的半导体材料（多晶硅）形成的机械结构。
该传感器可以被建模为一个可移动的梁2机械地固定波束之间移动时（图
4).
两个差距
形成;动梁和第一固定梁和所述第二可动梁和间之间的一个感
第二个固定梁。
该ASIC采用开关电容器技术来测量的g单元电容器，并提取从所述加速度数据
两个电容之间的差别。该ASIC也发信号的条件和过滤器（开关电容器）的信号，提供了一个
数字输出正比于加速度。
促进
图4.简化的传感器物理模型
MMA7660FC
9
传感器
飞思卡尔半导体公司
