MS761
压力传感器芯片（ 0-1 BAR ）
0至100千帕条范围（ 1条或14.5 PSI ）
高灵敏度
符合RoHS标准&无铅
1
描述
该MS761A的传感器元件包括一个硅微机械膜与硼硅玻璃的装
在真空条件下。植入电阻利用压阻效应。绝对压力传感器
（ MS761 -A ）进行，而差动传感器隔膜下方的密封真空参考腔
（S- 761 - D）具有在派热克斯玻璃，在所述传感器的背侧的孔。
特点
未补偿的压力传感器芯片
高灵敏度：输出跨度240毫伏@ 5V
温度范围：-40 ° ... + 125 °
C
C
线性度0.15 ％ （典型值）
小尺寸2.00 X 1.86毫米
低成本，高可靠性
应用
对于高分辨率绝对式传感器系统
发动机控制
气压计，高度计， Variometers
电气连接
正输出压力施加上部
VS +
EPI
VS + ：惠斯登电桥的供电电压
外延：外延层的连接（膜）
OUT +
OUT-
输出：输出负
OUT + ：正输出
GND1 ：接地
GND2 ：接地
GND1
1
GND2
欧盟RoHS指令2002/95 / EC （使用某些有害物质的电器和电子设备中限制）
禁止使用铅，汞，镉，六价铬，多溴联苯（PBB ）和多溴联苯醚
（ PBDE ） 。
DA761_002.doc
00000761348
ENC922
2007年5月9日
1/4
满量程压力
帕
100
BAR
1
MBAR
1000
PSI
14.5
自动取款机
0.987
毫米汞柱
750
M·H
2
O
10.197
英寸水柱
2
O
401
绝对最大额定值
参数
电源电压
储存温度
压力超负荷
符号
VS +
T
S
TA = 25℃
-40
o
条件
民
最大
20
+125
5
单位
V
C
BAR
o
电气特性
（参考条件：电源电压VS + = 5 VDC ;环境温度Ta = 25 ° ）
C
参数
工作压力范围
工作温度范围
电桥电阻
满量程（ FS ）
零压力偏置
线性
电阻的温度COE FFI cient
跨度
OFFSET
压力滞后
重复性
温度迟滞
民
0
-40
3.0
190
-40
典型值
-
最大
1
125
单位
BAR
°
C
k
mV
mV
％ FS
PPM / °
C
PPM / °
C
V/°
C
％ FS
％ FS
％ FS
1
2
笔记
3.4
240
0
± 0.15
3.8
290
40
± 0.4
+ 3300
- 2300
+ 100
± 0.15
± 0.15
0.3
+ 2400
- 1500
- 100
+ 2800
- 1900
0.05
0.05
3
4
5
笔记
1）的偏差，在从最小平方最佳线套在压力范围（0到1巴）的一半满刻度压力。
2）从25 °到60°斜坡的终点的直线的
C
C.
3）在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从输出偏差
最小或最大的额定压力，在25℃
C.
4 ）经过10次循环的压力和3相同）
5 ）最大的区别在后一个热周期偏移在-40 °C至+ 125 °
C
C.
DA761_002.doc
00000761348
ENC922
2007年5月9日
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采摘工具
该MS761传感器具有敏感膜（0.9 ×0.9 mm）输入传感器骰子外径为：
1.93 X 1.76毫米。取放工具，必须有一个柔软的材料如橡胶（硬度78-97邵尔A ）的。其
外部尺寸必须符合所述传感器和所述真空腔室必须是一样大的膜本身。测试成功
其中，完成与SPT的一些工具，见SPT图纸和参考波纹管） 。
SPT引用
外形尺寸
内部尺寸
RTR-A1-060x060
TL & TW ： 0.06 /1.52英寸毫米
H:
0.035英寸/ 0.89毫米
CTR-A1-080
F:
0.08英寸/ 2.03毫米
H:
0.035英寸/ 0.89毫米
订购信息
产品编号
MS761-A
MS761-A_0.2
MS761-D
TYPE
绝对
绝对
迪FF erential
产品
1 bar压力传感器芯片上锯B / F
1 bar压力传感器芯片0.2毫米高硼硅锯对B / F
1 bar压力传感器芯片上锯B / F
Art. - Nr.
76125021
76125022
76125121
该MS761骰子供应锯蓝色贴膜，装在塑料环
工厂联系
Intersema感官SA
CH 。 Chapons德佩11
CH -2022 Bevaix的
瑞士
电话： （ 032 ） 847 9550
电话：诠释。 +41 32 847 9550
传真：+41 32 847 9569
电子信箱：
http://www.intersema.ch
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保这样的应用将是适于不经进一步测试或修改所指定的用途。
DA761_002.doc
00000761348
ENC922
2007年5月9日
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