压力
飞思卡尔半导体公司
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿和
CALIBRATED
该MPX5100系列压阻式传感器是国家的最先进的单片
硅压力传感器设计用于广泛的应用范围，但特别是
那些采用微控制器或微处理器与A / D输入。该专利，
单元素传感器结合先进的微机械加工技术，薄膜
金属化，和双极型处理，以提供一种准确，高电平模拟
输出信号产生正比于所施加的压力。
MPX5100
转13 ， 05/2010
MPX5100
MPXV5100
系列
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
15 115千帕（ 2.2 16.7磅）
0.2 4.7 V输出
典型应用
病人监护
过程控制
泵/电机控制
压力开关
特点
2.5 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
提供绝压，差压和表压配置
耐用的环氧树脂承载式车身元素
易于使用芯片载体选项
订购信息
例
号
UNIBODY包装（ MPX5100系列）
设备名称
无
＃端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPX5100A
MPX5100AP
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100GP
MPXV5100G
MPXV5100G
MPXV5100DP
MPXV5100GP
MPX5100A
867
MPX5100AP
867B
MPX5100D
867
MPX5100DP
867C
MPX5100GP
867B
小外形封装（ MPXV5100系列）
MPXV5100GC6U
MPXV5100GC7U
MPXV5100DP
MPXV5100GP
482A
482C
1351
1369
飞思卡尔半导体公司， 2005-2010 。版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(
V
S
= 5.0伏，T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。在显示去耦电路
图5
为满足电气规范要求。 ）
特征
压力范围
(1)
表压，差压： MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G
绝对的： MPX5100A
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0 V
满量程输出
(4)
@ V
S
= 5.0 V
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0 V
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.
3.
4.
5.
6.
设备是在这个特定的激励范围比例。
偏移量（ V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，在温度循环到
和从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：
在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
输出偏差与施加在0°的温度范围内，以85 ℃的最小压力，相对于25 ℃。
从标称变化：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
当经受响应时间定义为在时间中的输出变化的增量从10％至到90 ％其最终值的
指定的步骤的变化压力。
预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
（0至85℃ ）
符号
P
OP
0
15
V
S
I
O
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
O+
—
—
4.75
—
0.088
—
—
5.0
7.0
0.20
100
115
5.25
10
0.313
V
DC
MADC
V
DC
V
DC
V
DC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
民
典型值
最大
单位
帕
差分和绝对（ 0至85°C ）
4.587
4.700
4.813
差分和绝对（ 0至85°C ）
—
4.500
—
—
—
—
—
—
—
—
45
1.0
0.1
20
±0.5
±2.5
—
—
—
—
—
7.
8.
9.
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1
＆ GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40 ℃至+ 125 ℃
-40 ℃至+ 125 ℃
单位
帕
°C
°C
1.Exposure超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
图1
示出内部电路集成在一个单片式封装的压力传感器芯片的框图。
V
S
3
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
1
2
GND
引脚4,5和6是未连接。
图1.完全集成压力传感器的原理图承载式车身封装器件
图2
示出内部电路在一个小型封装集成在压力传感器芯片的框图。
V
S
2
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
4
3
GND
引脚1和5-8号连接。
图2.完全集成压力传感器原理图小外形封装器件
MPX5100
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
片上温度补偿和校准
科幻gure 3
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的，最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图5中。
该
输出将饱和指定的压力范围之外。
图4
说明两者的差异/计及
绝对传感芯片在基本芯片载体（案例867 ） 。一
氟硅凝胶分离物从模具表面和引线键合
5
4
输出电压（V）
3
2
1
0
的环境，同时使压力信号是
传递给传感器隔膜。
该MPX5100系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
较干燥的空气等，可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
跨度范围（典型值）
100
110
90
V
OUT
= V
S
*(0.009*P+0.04)
± （压力误差*温度系数* 0.009 * V
S
)
V
S
= 5.0 V± 0.25伏
PE = 2.5
TM = 1
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型值
民
10
20
30
40
50
60
70
80
0
压（kPa ）
（典型值）
OFFSET
图3.输出与差压
氟
GEL模涂
引线键合
DIE
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
引线键合
氟硅凝胶
模涂
DIE
输出范围（典型值）
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
引线框架
差分/压力表元
DIE BOND
引线框架
ABSOLUTE元
DIE BOND
图4的剖视图（未按比例）
图5
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的输出到A / D输入
的微处理器或微控制器。适当的去耦
电源被推荐的。
+5.0
V
V
OUT
Vs
IPS
1.0
μF
0.01
μF
GND
产量
470 pF的
图5.推荐的电源去耦和输出滤波
（有关更多的输出滤波，请参考应用笔记AN1646 ）。
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPX5100
转11 ， 4/2008
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿，以及
CALIBRATED
该MPX5100系列压阻式传感器是国家的最先进的单片
硅压力传感器设计用于广泛的应用范围，但特别是
那些采用微控制器或微处理器与A / D输入。这
专利，单元素传感器结合先进的微机械加工
技术中，薄膜金属化，和双极处理，以提供一种准确，
高电平模拟输出信号，该信号正比于所施加的压力。
特点
2.5 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
提供绝压，差压和表压配置
耐用的环氧树脂承载式车身元素
易于使用芯片载体选项
MPX5100/MPXV5100
系列
集成压力传感器
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
15 115千帕
（ 2.2至16.7磅）
0.2 4.7 V输出
小外形封装
MPXV5100GC6U
CASE 482A -01
MPXV5100GC7U
CASE 482C -03
典型应用
病人监护
过程控制
泵/电机控制
压力开关
订购信息
设备
TYPE
选项
例
号
867
867
867C
867B
867B
867F
482A
482C
1351
1369
MPX系列订单
器件标识
数
MPX5100A
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100AP
MPX5100GP
MPX5100GSX
MPXV5100GC6U
MPX5V100GC7U
MPXV5100DP
MPXV5100GP
MPX5100A
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100AP
MPX5100GP
MPX5100D
MPXV5100G
MPXV5100G
MPXV5100
MPXV5100G
1
2
3
MPXV5100DP
CASE 1351至01年
MPXV5100GP
CASE 1369至01年
引脚数
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
UNIBODY包装（ MPX5100系列）
BASIC
绝对
元素的差异
移植
差分双端口
元素绝对，单端口
计，单端口
压力表，轴向PC山
压力表，轴向港， SMT
压力表，轴向港， DIP
压力表，双端口， SMT
计，侧口， SMT
1.引脚1 ，5，6 ，7，和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到由
缺口处于领先地位。
引脚数
(1)
V
OUT
GND
V
S
4
5
6
N / C
N / C
N / C
1.销4 ，图5，和图6是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到
缺口处于领先地位。
UNIBODY套餐
MPX5100A/D
CASE 867-08
MPX5100GSX
CASE 867F -03
MPX5100AP/GP
CASE 867B -04
MPX5100DP
CASE 867C -05
飞思卡尔半导体公司， 2005-2008 。版权所有。
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和增益
STAGE ＃ 1
增益级＃ 2
和地面
参考
位移电路
V
OUT
GND
引脚1和5至8是没有连接的小外形封装
引脚4,5和6是未连接的一体式机身包
图1.完全集成压力传感器的原理
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40 °C至+ 125°C
-40 °C至+ 125°C
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
表2.工作特性
(V
S
= 5.0 V
DC
, T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。在显示去耦电路
图4
为满足电气规范要求。 ）
特征
压力范围
(1)
表压，差压： MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G
绝对的： MPX5100A
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0 V
满量程输出
(4)
@ V
S
= 5.0 V
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0 V
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1.
2.
3.
4.
5.
（0至85℃ ）
差分和绝对（ 0至85°C ）
差分和绝对（ 0至85°C ）
符号
P
OP
民
0
15
4.75
—
0.088
4.587
—
—
—
—
—
—
—
典型值
—
—
5.0
7.0
0.20
4.700
4.500
—
45
1.0
0.1
20
±0.5
最大
100
115
5.25
10
0.313
4.813
—
±2.5
—
—
—
—
—
V
DC
MADC
V
DC
V
DC
V
DC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
单位
帕
V
S
I
O
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
O+
—
—
1千帕（千帕）等于0.145磅。
设备是在这个特定的激励范围比例。
偏移量（ V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，在温度循环到
和从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：
在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
输出偏差与施加在0°的温度范围内，以85 ℃的最小压力，相对于25 ℃。
从标称变化：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
MPX5100
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
当经受7.响应时间定义为在时间中的输出变化的增量从10％至到90 ％其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
片上温度补偿，校准和信号调理
图2
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的，最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图4中。
的输出将饱和的指定压力的外
范围内。
科幻gure 3
说明两者的差异/计及
绝对传感芯片在基本芯片载体（案例867 ） 。一
氟硅凝胶分离物从模具表面和引线键合
的环境，同时使压力信号是
传递给传感器隔膜。
该MPX5100系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
较干燥的空气等，可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
5
4
输出电压（V）
3
2
1
0
跨度范围（典型值）
100
110
90
环氧塑封
例
DIE BOND
V
OUT
= V
S
*(0.009*P+0.04)
± （压力误差*温度系数* 0.009 * V
S
V
S
= 5.0 V± 0.25伏
PE = 2.5
TM = 1
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型值
民
10
20
30
40
50
60
70
80
0
压（kPa ）
（典型值）
OFFSET
图2.输出与差压
氟硅凝胶
模涂
引线键合
氟
GEL模涂
引线键合
DIE
DIE
不锈钢
金属盖
引线框架
DIE BOND
差分/压力表元
引线框架
ABSOLUTE元
图3的剖视图（不按比例）
图4
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的输出到A / D输入
的微处理器或微控制器。适当的去耦
电源被推荐的。
+5.0
V
V
OUT
Vs
IPS
1.0
μF
0.01
μF
GND
产量
470 pF的
图4.推荐的电源去耦和输出滤波
（有关更多的输出滤波，请参考应用笔记AN1646 ）。
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
输出范围（典型值）
传递函数（ MPX5100D ， MPX5100G ， MPXV5100G
标称传输值：
V
OUT
VS = （P X 0.009 + 0.04 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
断点
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
40
60
在° C温度
80
100
120
140
温度
- 40
0至85 ℃的
+125°
倍增器
3
1
3
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
误差极限压力
0
20
40
60
80
100
120
压力，以kPa
压力
0 100千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
MPX5100
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
传递函数（ MPX5100A ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
（P X 0.009 + 0.095 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100A系列
断点
温度
倍增器
- 40
0至85 ℃的
+125°
3
1
3
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
40
60
80
100
120
130
140
在° C温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
MPX5100A系列
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
压力
15 115千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
0
20
40
60
80
100
130
压力，以kPa
误差极限压力
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
QQ：2880707522 复制
