飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPXV5050VC6T1
版本1 , 05/2005
高温度精度
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MPXV5050VC6T1传感器集成了片上,双极运算放大器电路和
薄膜电阻器网络,以提供较高的输出信号和温度
补偿。小外形尺寸和片上集成的高可靠性
使飞思卡尔半导体公司压力传感器的逻辑和
对于系统设计者经济的选择。
该MPXV5050VC6T1压阻式传感器是一个国家的最先进的,
单片信号调节,硅压力传感器。该传感器结合
先进的微机械加工技术,薄膜金属化,和双极
半导体加工以提供精确的,高电平模拟输出信号
正比于施加的压力。
图1
示出内部电路集成在一个框图
压力传感器芯片。
特点
2.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
从在-40 °温度补偿至+ 125°C
专利的硅剪应力应变计
耐用的热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
易于使用芯片载体选项
非常适用于汽车和非汽车应用
MPXV5050VC6T1
集成
压力传感器
-50 0千帕( -7.25至0 PSI )
0.1至4.6伏特输出
小外形封装
MPXV5050VC6T1
CASE 482A -01
引脚数
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
典型应用
真空泵监控
订购信息
设备
TYPE
选项
例
号
482A
MPX系列
订单号
MPXV5050VC6T1
填料
选项
器件标识
1.引脚1 ,5,6 ,7,和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到
缺口处于领先地位。
移植
真空,
单元轴向端口
磁带&卷轴MPXV5050VC6T1
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
GND
引脚1 , 5 , 6 , 7 ,和8号连接
图1.完全集成压力传感器的原理
MPXV5050VC6T1
传感器
飞思卡尔半导体公司
1
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40 °C至+ 125 °
-40 °C至+ 125 °
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
表2.工作特性
(
V
S
= 5.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2 )。
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
满量程输出
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(4)
灵敏度
响应时间
(5)
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
压力补偿
(8)
(0至85℃ )
(0至85℃ )
(P
差异
= 0千帕)
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSO
民
–50
4.75
—
4.488
典型值
—
5.0
7.0
4.6
最大
0
5.25
10
4.713
单位
帕
VDC
MADC
VDC
V
FSS
—
4.5
—
VDC
(0至85℃ )
—
V / P
t
R
—
—
V
关闭
—
—
—
—
—
0
—
90
1.0
20
±0.5
0.1
±2.5
—-
—-
—-
—-
0.213
%V
FSS
毫伏/帕
ms
ms
%V
FSS
VDC
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.精度是作为跨度的百分比的偏差在从标称输出实际输出在整个压力范围和温度范围
在25℃下,由于误差的各种来源,包括以下内容:
线性度:
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在指定范围内的任意压力,当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset :
以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后所需的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
8.补偿(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
MPXV5050VC6T1
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
氟
GEL模涂
P1
引线键合
领导
FRAME
DIE
不锈
钢帽
热塑性
例
+5 V
V
OUT
V
s
IPS
1.0
F
0.01
F
GND
产量
470 pF的
P2
差分传感元件
DIE BOND
图2横截面图
(不按比例)
图3.典型应用电路
(输出源电流操作)
传递函数MPXV5050VC6T1
传递函数MPXV5050VC系列
5
传递函数为:
V
OUT
= V
S
×( 0.018 X P + 0.92 ) ± (PE X TM X 0.018 X V
s
)
V
s
= 5.0 ± 0.25伏
PE = 1.25
TM = 1
温度为0 85 ℃下
输出范围(典型值)
OFFSET
(典型值)
跨度范围(典型值)
0
4
输出电压(V)
3
最大
2
民
1
典型
0
–50
–40
–30
压(kPa )
–20
–10
图4.输出与绝对压力
图4
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的最小和最大输出
曲线示工作在0至85℃的温度
范围内。的输出将饱和的额定压力的外
范围内。
氟硅凝胶隔离模具表面和引线键合
从环境中,同时允许所述压力信号,以
被发送给硅膜片。该
MPXV5050VC6T1压力传感器工作
特性,内部的可靠性和资格测试
根据使用的干燥空气作为压力介质。其他媒体
较干燥的空气可能对传感器的性能产生不利影响
和长期可靠性。与工厂联系信息
就在你的应用程序的介质兼容性。
MPXV5050VC6T1
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
传递函数( MPXV5050VC6T1
标称传输值:
V
OUT
= V
S
×( 0.018 X P + 0.92 )
± (压力误差X温度多X 0.018 X V
S
)
V
S
= 5.0
±
0.25 V
温度误差带
MPXV5050V
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
在° C温度
断点
温度
–40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
注:该温度乘数是从0℃到-40 ℃,并从85 ℃至125 ℃的线性响应。
压力误差带
MPXV5050V
误差极限压力
1.25
压力误差(千帕)
1.00
0.75
0
–0.75
–1.00
–1.25
压力
-50至0千帕
误差(最大值)
± 1.25千帕
–50
–40
–30
–20
–10
0
压力(千帕)
MPXV5050VC6T1
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
飞思卡尔半导体公司
高温度精度
集成硅压力传感器
用于测量绝对压力,
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MPXV5050V系列传感器集成了片上,双极运算放大器电路和
薄膜电阻器网络,以提供较高的输出信号和温度
补偿。小外形尺寸和片上集成的高可靠性
使飞思卡尔半导体公司压力传感器的逻辑和
对于系统设计者经济的选择。
该MPXV5050V系列压阻式传感器是一个国家的最先进的,
单片信号调节,硅压力传感器。该传感器结合
先进的微机械加工技术,薄膜金属化,和双极
半导体加工以提供精确的,高电平模拟输出信号
正比于施加的压力。
MPXV5050VC6T1
第2版, 11/2009
MPXV5050V
系列
-50 0千帕( -7.25至0 PSI )
0.1 4.6 V输出
应用实例
真空泵监控
特点
2.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
从在-40 °温度补偿至+ 125°C
专利的硅剪应力应变计
耐用的热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
易于使用芯片载体选项
非常适用于汽车和非汽车应用
订购信息
设备名称
小外形封装
MPXV5050VC6T1
482A
真空/压力表
MPXV5050V
例
号
#端口
无
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
小外形封装
MPXV5050VC6T1
CASE 482A -01
飞思卡尔半导体公司, 2005年, 2009年。保留所有权利。
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 5.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
满量程输出
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(4)
灵敏度
响应时间
(5)
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
压力补偿
(8)
(0至85℃ )
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
—
—
V
关闭
民
-50
4.75
—
4.488
典型值
—
5.0
7.0
4.6
最大
0
5.25
10
4.713
单位
帕
VDC
MADC
VDC
(0至85℃ )
—
4.5
—
VDC
(0至85℃ )
—
—
—
—
—
0
—
90
1.0
20
±0.5
0.100
±2.5
—
—
—
—
0.213
%V
FSS
毫伏/帕
ms
ms
%V
FSS
VDC
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.精度是作为跨度的百分比的偏差在从标称输出实际输出在整个压力范围和温度范围
在25℃时,由于错误包括以下的所有源:
线性度:从与压力超过规定的压力范围内的直线关系输出偏差。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:在指定范围内的任意压力输出的偏差,当此压力被循环到并从最小或
最大额定压力在25℃ 。
TcSpan :在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内的输出偏差。
TcOffset :以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后所需的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000次脉冲压力,温度循环有偏差测试。
8.补偿(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
MPXV5050VC6T1
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
2
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和
地
参考
位移电路
4
V
OUT
GND
3
引脚1 , 5 , 6 , 7 ,和8号连接
图1.完全集成压力传感器的原理
MPXV5050VC6T1
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
片上温度补偿和校准
图2
示出了在基本的绝对传感芯片
超小外形封装芯片载体(案例482A ) 。
科幻gure 3
显示了一个典型应用电路(输出源
当前的操作) 。
图4
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的最小和最大输出
曲线示工作在0°至85℃的温度
范围内。的输出将饱和的额定压力的外
范围内。
氟
GEL模涂
P1
线
BOND
领导
FRAME
P2
差分检测
元素
热塑性
例
V
OUT
V
s
IPS
1.0
μF
0.01
μF
GND
470 pF的
产量
氟硅凝胶隔离模具表面和引线键合
从环境中,同时允许所述压力信号,以
被发送给硅膜片。该MPXV5050
系列压力传感器的工作特性,内部
可靠性和鉴定试验是基于使用的干燥空气作为
压力介质。媒体比干燥空气等都有可能
对传感器的性能和长期的不利影响
可靠性。该工厂有关的信息媒体联系
在你的应用程序的兼容性。
DIE
不锈
钢帽
+5 V
DIE BOND
图2剖视图的SSOP (不按比例)
图3.典型应用电路
(输出源电流操作)
传递函数MPXV5050VC系列
5
传递函数为:
V
OUT
= V
S
×( 0.018 X P + 0.92 ) ± (PE X TM X 0.018 X V
s
)
V
s
= 5.0 ± 0.25伏
PE = 1.25
TM = 1
温度为0 85 ℃下
输出范围(典型值)
OFFSET
(典型值)
跨度范围(典型值)
0
4
输出电压(V)
3
最大
2
民
1
典型
0
–50
–40
–30
压(kPa )
–20
–10
图4.输出与绝对压力
MPXV5050VC6T1
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
传递函数( MPXV5050V )
标称传输值:
V
OUT
= V
S
×( 0.018 X P + 0.92 )
± (压力误差X温度多X 0.018 X V
S
)
V
S
= 5.0
±
0.25 V
温度误差带
MPXV5050V
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
在° C温度
断点
温度
–40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
注:该温度乘数是从0℃到-40 ℃,并从85 ℃至125 ℃的线性响应。
压力误差带
MPXV5050V
误差极限压力
1.25
压力误差(千帕)
1.00
0.75
0
–0.75
–1.00
–1.25
压力
-50至0千帕
误差(最大值)
± 1.25千帕
–50
–40
–30
–20
–10
0
压力(千帕)
MPXV5050VC6T1
传感器
飞思卡尔半导体公司
5