摩托罗拉
飞思卡尔半导体公司
半导体技术资料
订购此文件
由MPX2202 / D
200千帕片内温度
补偿&校准
压力传感器
该MPX2202 / MPXV2202G设备系列硅压阻式压力传感器
提供一种高度精确的和线性的电压输出 - 成正比的
施加的压力。该传感器是一个单片硅膜片的应变
测量和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片激光调整，
精确的量程和偏移校正和温度补偿。它们被设计
对于在应用中，如泵/马达控制器，机器人，液位指示器，医疗用
诊断，压力开关，气压计，高度计等。
特点
UNIBODY包装
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
易于使用芯片载体封装选项
提供绝压，差压和仪表CON-
音型
应用实例
泵/电机控制器
机器人
MPX2202A/D
CASE 344
一级指标
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
图1示出了内部的框图
电路中的独立的压力传感器芯片上。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
1
GND
MPX2202
MPXV2202G
系列
摩托罗拉的首选设备
0到200千帕（ 0 29 psi）的
40 mV的满量程
（典型值）
飞思卡尔半导体公司...
小外形封装
表面贴装
MPXV2202GP
CASE 1369
2
4
传感
元素
V
OUT +
V
OUT-
MPX2202AP/GP
CASE 344B
MPXV2202DP
CASE 1351
引脚数
1
2
MPX2202DP
CASE 344C
3
4
GND
+V
OUT
V
S
–V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
图1.温度补偿压力
传感器原理图
电压输出与
应用差压
传感器的差分电压输出是
正比于所施加的压力差。
绝对传感器有一个内置的参考vacu-
嗯。的输出电压会随着真空，
相对于周围环境，被描绘在压力（P1）的一侧。
差或计传感器的输出电压
与施加到越来越大的压力增加
相对于真空（P2）的侧压力（P1）的一侧。
类似地，输出电压随着增加vacu-
嗯被施加到相对于真空（P2）的侧
压力（P1）的一侧。
首选
设备是摩托罗拉建议选择以供将来使用
和最佳的整体价值。
注：1脚是注意到在缺口
领先。
MPX2202ASX/GSX
CASE 344F
引脚数
1
2
GND
+V
OUT
3
4
V
S
–V
OUT
MPX2202GVP
CASE 344D
替换MPX2200 / D
REV 2
注：1脚是注意到在缺口
领先。
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉公司，2002年
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
1
飞思卡尔
MPX2202 MPXV2202G系列
最大额定值
（注）
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
半导体公司
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
800
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
注：曝光超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
工作特性
(V
S
= 10 VDC ，T
A
= 25℃，除非另有说明， P1 > P2）的
特征
压力范围
(1)
电源电压
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
MPX2202D系列
MPX2202A系列
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
38.5
–1.0
—
–0.6
–1.0
—
—
–2.0
–1.0
1000
1400
—
—
—
典型值
—
10
6.0
40
—
0.2
—
—
±0.1
±0.5
—
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
200
16
—
41.5
1.0
—
0.4
1.0
—
—
2.0
1.0
2500
3000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
飞思卡尔半导体公司...
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
（0 200千帕）
温度迟滞
(5)
（ -40 ° C至+ 125°C ）
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
（10％至90％）的
热身
偏移稳定性
(7)
注意事项：
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误，由于设备自身的发热。
3.满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移（V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性：
从具有压力的直线关系输出偏差，采用终点法，通过所指定的
压力范围。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力，相对于25 ℃。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0的温度范围内，以85 ℃，相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
2
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
摩托罗拉传感器设备数据
飞思卡尔半导体，
MPX2202 MPXV2202G系列
公司
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式： V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性：（1）端点的直线拟合（见图2）或（2）
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差（低级数值），则
所需的计算是沉重的负担。
相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
（通常多在误差预算计算期望的）和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
相对电压输出
夸大
性能
曲线
至少
方
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力（ ％满量程）
100
飞思卡尔半导体公司...
图2.线性度规格比较
片上温度补偿和校准
图3示出的输出特性
MPX2202 / MPXV2202G系列在25 ℃。输出直接
正比于压力差而基本上是一个
直线。
温度对满量程和失调的影响
非常小，在工作特性如图所示。
40
35
OUTPUT （ MVDC ）
30
25
20
15
10
5
0
-5
帕0
PSI
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25°C
P1 P2 >
最大
典型值
跨度
范围
（典型值）
民
25
50
7.25
75
100
14.5
压力
125
150
21.75
175
200
29
OFFSET
图3.输出与差压
硅凝胶
模涂
引线键合
引线键合
引线框架
差分/压力表元
P2
DIE
BOND
引线框架
图4的横截面图（不按比例）
图4示出了绝对传感管芯（右）和
差分或规模的基本芯片载体（案例344 ） 。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境，同时使压力信号是
发送给硅膜片。
该MPX2202 / MPXV2202G系列压力传感器能操作
阿婷的特点和内部的可靠性和资格
试验是基于使用的干燥空气作为压力介质。我 -
直径比干燥空气等可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
摩托罗拉传感器设备数据
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
ABSOLUTE元
P2
差分/压力表
不锈钢
DIE
金属盖
P1
环氧树脂
例
硅凝胶绝对
模涂
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
例
DIE
BOND
3
飞思卡尔
MPX2202 MPXV2202G系列
半导体公司
TiAl金属施加压力， P1 > P2 。绝对传感器
设计用于施加到P1侧真空。
的压力（ P1）的一侧可以通过使用被识别
下表：
压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该
压力（P1）的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧
它可以隔离来自环境的模具。微分
或压力表传感器的设计与正面differen-操作
产品型号
MPX2202A
MPX2202DP
MPX2202AP
MPX2202GVP
MPX2202ASX
MPXV2202GP
MPX2202GSX
MPX2202GP
MPX2202D
案例类型
344
344C
344B
344D
344F
1369
1351
压力（ P1 ）侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
方用端口连接
方用最热
飞思卡尔半导体公司...
MPXV2202DP
订购信息 - UNIBODY包装（ MPX2202系列）
MPX系列
设备类型
基本元素
移植的要素
选项
绝压，差压
差分，双端口
绝压
绝压推力
压力表，真空
案例类型
344
344C
344B
344F
344D
订单号
MPX2202A
MPX2202D
MPX2202DP
MPX2202AP
MPX2202GP
MPX2202ASX
MPX2202GSX
MPX2202GVP
器件标识
MPX2202A
MPX2202D
MPX2202DP
MPX2202AP
MPX2202GP
MPX2202A
MPX2202D
MPX2202GVP
订货信息 - 小型封装（ MPXV2202G系列）
设备类型
移植的要素
选项
计，侧口， SMT
差分，双端口， SMT
案件编号：
1369
1351
MPX系列订单号
MPXV2202GP
MPXV2202DP
包装选项
托盘
托盘
记号
MPXV2202G
MPXV2202G
4
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
摩托罗拉传感器设备数据
飞思卡尔半导体，
MPX2202 MPXV2202G系列
公司
小尺寸封装尺寸
2处4 TIPS
0.008 （ 0.20 ）C A B
A
E
e
5
4
抵押品
飞机
e/2
.014 (0.35)
θ
L
详细信息摹
A1
D
8
1
8X
F
b
0.004 (0.1)
M
C A B
飞思卡尔半导体公司...
B
E1
注意事项：
1.控制尺寸：英寸。
2. INTERPRET尺寸和公差PER
ASME Y14.5M - 1994 。
3.尺寸"D"和"E1"不包括塑模
毛边或突起。塑模毛边或
突起不得超过0.006 （ 0.152 ）
每边。
4.尺寸"b"不包括密封条
前伸。允许的dambar突出
SHALL BE 0.008 （ 0.203 ）最大。
暗淡
A
A1
b
D
E
E1
e
F
K
L
M
N
P
T
θ
英寸
民
最大
0.300
0.330
0.002
0.010
0.038
0.042
0.465
0.485
0.717 BSC
0.465
0.485
0.100 BSC
0.245
0.255
0.120
0.130
0.061
0.071
0.270
0.290
0.080
0.090
0.009
0.011
0.115
0.125
0
°
7
°
MILLIMETERS
民
最大
7.11
7.62
0.05
0.25
0.96
1.07
11.81
12.32
18.21 BSC
11.81
12.32
2.54 BSC
6.22
6.47
3.05
3.30
1.55
1.80
6.86
7.36
2.03
2.28
0.23
0.28
2.92
3.17
0
°
7
°
T
N
K
A
8X
M
P
0.004 (0.1)
座位
飞机
详细信息摹
C
CASE 1369至01年
发行
摩托罗拉传感器设备数据
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
5
QQ：2881677436 复制
