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压力
飞思卡尔半导体公司
+
MPX2102
第七版, 10/2008
100千帕片内温度
补偿硅
压力传感器
该MPX2102系列器件的硅压阻式压力传感器
提供一种高度精确的和线性的电压输出正比于
施加的压力。该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的
应变仪和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光
修剪精确范围和偏移校正和温度补偿。
MPX2102
系列
0 100千帕( 0 14.5 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
应用实例
泵/电机控制
机器人
液位探测器
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
易于使用芯片载体封装选项
提供绝压,差压和表压配置
绝压,差压和表压选项
订购信息
选项
一体成型机身包( MPX2102系列)
MPX2102A
TRAY
MPX2102DP
TRAY
设备名称
MPX2102AP
MPX2102GP
MPX2102ASX
MPX2102GVP
TRAY
TRAY
TRAY
344
344C
344B
344B
344F
#端口
单身
压力式
绝对差
器件标识
MPX2102A
MPX2102DP
MPX2102AP
MPX2102GP
MPX2102A
MPX2102GVP
MPXV2102GP
TRAY
344D
小外形封装( MPXV2102G系列)
MPXV2102GP
TRAY
1369
MPAK包( MPXM2102系列)
MPXM2102A
1320
MPXM2102AT1
磁带和卷轴
1320
MPXM2102GS
MPXM2102GST1
MPXM2102AS
MPXM2102AST1
磁带和卷轴
磁带和卷轴
1320A
1320A
1320A
1320A
MPXM2102A
MPXM2102A
MPXM2102GS
MPXM2102GS
MPXM2102AS
MPXM2102AS
飞思卡尔半导体公司, 2005-2008 。版权所有。
压力
UNIBODY套餐
MPX2102A
CASE 344-15
MPX2102AP/GP
CASE 344B -01
MPX2102DP
CASE 344C -01
MPX2102GVP
CASE 344D -01
MPX2102ASX
CASE 344F -01
小外形封装
MPAK
MPXV2102GP
CASE 1369至01年
MPXM2102A
案例1320年至1302年
MPXM2102GS/AS
CASE 1320A -02
MPX2102
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 10 V
DC
, T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
MPX2102D系列
MPX2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
灵敏度
线性
(5)
MPX2102D系列
MPX2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
压力滞后
(5)
(0至100千帕)
温度迟滞
(5)
( - 40 ° C至+ 125°C )
满量程的温度系数
(5)
偏移量的温度系数
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
预热时间
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小相关的压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在被指定的范围内,任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从最小
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0至85℃的温度范围内,相对于25 ℃。
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
IN
Z
OUT
t
R
-0.6
-1.0
-0.6
-1.0
-2.0
-1.0
1000
1400
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
0.4
1.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2500
3000
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
W
W
ms
ms
%V
FSS
V
关闭
V
关闭
ΔV/ΔΡ
-1.0
-2.0
-1.0
-2.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2.0
mV
mV
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
0
38.5
典型值
10
6.0
40
最大
100
16
41.5
单位
V
DC
MADC
mV
毫伏/帕
进行时6.响应时间定义为从输出中的增量变化的时间从10%至到90 %其最终值的
在压力在指定步骤的变化。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPX2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
电压输出与微分的应用
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
绝对传感器具有一个内置的基准真空。该
输出电压将随真空度,相对于周围环境,
被描绘在压力(P1)的一侧。
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
(P1)的一侧相对于所述真空(P2)的一侧。同样,输出
电压随着增加真空施加到
相对于压力(P1)的一侧真空(P2)的一侧。
图1
示出的内部电路的方框图。
上独立的压力传感器芯片。
V
S
3
X -能器
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
校准
电路
1
GND
2 +V
OUT
4 -V
OUT
图1.温度补偿压力传感器的原理
MPX2102
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
片上温度补偿和校准
图2
示出了MPX2102的输出特性
系列,在25℃ 。的输出是正比于
压差和基本上是一条直线。
40
35
30
25
输出(MV
DC
)
20
15
10
5
0
PSI
-5
0
25
3.62
50
7.25
75
10.88
14.5
OFFSET
(典型值)
最大
VS = 10 V
DC
TA = 25°C
MPX2102
P1 P2 >
温度对满量程和失调的影响
是非常小的,并在工作列
的特点。
典型值
跨度
范围
(典型值)
100
图2.输出与差压
硅凝胶
模涂
差分/压力表
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
硅凝胶
模涂
引线键合
绝对
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线键合
引线框架
差分/ GaugeElement
P2
BOND
DIE
引线框架
ABSOLUTE元
P2
DIE
BOND
图3的剖视图(不按比例)
科幻gure 3
说明绝对传感配置
(右)和在基本差分或测量仪配置
芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离模具表面
从环境和引线键合,同时使
压力信号被传输到硅膜片。
该MPX2102系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图4)
或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
曲线
相对电压输出
至少
偏差
直线
偏差
终点直
线飞度
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图4.线性度规格比较
MPX2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
应用说明
AN1979
REV 3 ,11/2006
高度计和气压计系统
本文作者:Michelle克利福德和费尔南多·冈萨雷斯
传感器产品部,坦佩,AZ
介绍
用更小的封装和更低的成本,压力传感器
可以设计成更消费应用。这
文档描述了一个参考设计,数字气压计
并使用在所述MPXM2102A压力传感器高度表
成本低MPAK包,一个四通道运算放大器,以及
MC68HC908QT4微控制器。该系统不断
监视气压,并将它与先前的
压力读数更新的高度和天气预测。
该参考设计使用户能够评估一个
飞思卡尔半导体公司,为公司的晴雨表压力传感器,
个人气象站和测高仪的应用程序。这
参考设计还可以让客户评估晴雨表
压力读数从MPXM2102A传感器获得
与此功能的手表或GPS系统。此外,
许多系统都要求气压数据来校正
系统响应的错误。本应用笔记介绍了
的可靠性和准确性,我们的传感器可以在此提供
系统。
系统设计
压力传感器
气压计/高度计系统要求的压力
传感器具有64千帕至105千帕的压力范围内。
飞思卡尔半导体公司拥有硅的广泛的产品组合
压阻压力传感器。它们提供了一个非常
准确和线性电压输出正比于
施加的压力。通过评估的应用设计和
成本,右侧压力传感器可以选自我们
投资组合。
在环境压力下测量的变化,我们需要一个已知的
压力参考。因此,绝对压力传感器
被选中。飞思卡尔提供了三个层次的集成:非
补偿的,补偿,并集成。由于能
大的温度变化从一个高度到另一个
需要传感器参考设计,以抵消
校准和温度补偿。因此,一个
补偿的传感器选择需要外部
放大电路。然而,集成的解决方案,如
该MPXM5100A ,也可以考虑,从而避免
需要的外部放大电路。
知的压力范围内,压力的类型
测量,并整合为此所需的电平
应用中, MPXM2102A传感器被选择。该
传感器同时具有温度补偿和校准
的电路上的硅和能够产生线性的
输出电压为0 100千帕的范围内,但可以推
进一步高达105千帕以线性的结果。的特性
此传感器中更详细地描述
表2中。
一个5伏
供应被用于整个电路供电的
组件。由于MPXM2102A是比指标,这意味着
输出电压的变化呈线性的供电电压,
传感器将拥有的20 mV的满量程,而不是
指定40毫伏在10 V电源。完整的计算
满量程如下所示:
(V
实际
/V
S规格
)× V
OUT全面规范
= V
输出满量程
( 5.0 V / 10 V )× 40毫伏= 20 mV的
一个用于压力的最重要的决定
应用是在包装上。飞思卡尔拥有一个大祭
压力封装选择。以最小化的最终的空间
应用中, MPAK包被选中。非移植
MPAK是保持理想的压力传感器封装体为手
GPS装置或测高仪的手表,由于其体积小。不过,
停泊的MPAK包也可以选择,允许管
被连接到该端口用于测试和演示
的目的。
图1.压力传感器
有三种类型的压力测量值:表,
绝对的,差。由于该参考设计
图2. MPXM2102A案例1320A -02
飞思卡尔半导体公司2006年版权所有。
表1. MPXM2102A工作特性
特征
压力范围
电源电压
电源电流
满量程
OFFSET
灵敏度
线性
MPX2102D系列
MPX2102A系列
MPX2102D系列
MPX2102A系列
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
V
关闭
0
38.5
-1.0
-2.0
ΔV / ΔP
-0.6
-1.0
0.4
1.0
%V
FSS
典型值
10
6.0
40
0.4
最大
100
15
41.5
1.0
2.0
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
功放的选择和放大器引起的误差
信号调节电路的主要目的是将
该MPX2102A差动输出到一个单端,地面
参考的输出。差分输出是非常小的
为MCU来处理这样一个调理电路也需要
提供放大。
该参考设计具有的气压范围
64千帕至105千帕。该传感器的输出比例,以
电源电压和电源电压为5.0 V ,在FSS ,
灵敏度和偏移量是5.0 V / 10 V或一半,在指定的
值在10 V电源。利用这些计算敏感性和
偏移范围,最低和最高的可能值分别
计算出来的。
V
OUT
= (压力大小*灵敏度) ±偏移
V
OUT
在64千帕= 64千帕* 0.2毫伏/帕 - 1 MV = 11.32毫伏
V
OUT
在105千帕= 105千帕* 0.2毫伏/帕+ 1 MV = 21.0毫伏
这些值被认为是11.32 mV至22.79毫伏
来自传感器的差分输出。
各传感器的输出,然后使用差分
如图放大
图2中。
放大的第一阶段后,运放A的输出是:
V
A
=(1 + R8 / R6), x垂直
4
- ( R8 / R6 )× V
S
(1)
= ( 1 + 10 / 4.42k )× V
4
- ( 10 / 4.42k )× 5.0 V
= ( 1 + 10 / 4.42k )× V
4
- 11.3毫伏
和运算放大器B的输出为:
V
B
=(1 + R7 / R 5) x垂直
2
- ( R7 / R5 )× V
S
(2)
= ( 1 + 10 / 4.42 K) x垂直
2
- ( 10 / 4.42 K) X 0 V
= ( 1 + 10 / 4.42 K) x垂直
2
– 0
放大的第二级连接这两个
输出至公共差分放大器(运放C)的还
所示
网络连接gure 3 。
对于某些代数运算中,
输出电压(V
OUT
)的整个放大电路是
V
C
= (R 12 / R 11 )×[ (1 + R8 / R6 )× (Ⅴ
2
- V
4
) - ( R8 / R6 )× V
S
](3)
= ( 412K / 1千)×[ (1 + 10 / 4.42 K) ×( V
2
- V
4
) - ( 10 / 4.42 K) * 5 V]
= (412 )×[ ( 1.002 )× (Ⅴ
2
- V
4
) - 11.3毫伏]
= 412 ×( V
2
- V
4
) -11.3 mV的
两阶段设计
这两个阶段的设计水平移位的差动输出
通过从减去偏移电压的电压传感器的
AN1979
传感器
飞思卡尔半导体公司
2
R8
10
R6
4.42 K
V
4传感器
R12
412 K
6
5
+
7
V
A
V
CC
C5
0.1 f
13
12
R9
1K
9
3
4
R11
1K
+
4
11
1
2
V
CC
R5
4.42 K
V
2传感器
14
V
C
8
10
+
R7
10
MPXM2102A
R10
412 K
2
3
+
1
V
B
图3.扩增计划
在A / D转换器的范围是0到255计数。不过,
该系统可以实现在A / D的值是依赖于
的最大和最小系统的输出值:
数= (V
OUT
– V
RL
) / (V
RH
– V
RL
) x 255(4)
其中,V
XDCR
=传感器输出电压
V
RH
=最大A / D电压
V
LH
=最小的A / D电压
算(64千帕)=( 0.03 - 0.0 )/( 5.0 - 0.0 )× 255 = 2
COUNT( 105千帕) = ( 4.85 - 0.0 ) / ( 5.0 - 0.0 )× 255 = 247
共有#数= 247 - 2 = 245计数。
该系统的分辨率是由所确定的
每个A / D计数为代表的大气压力。如
上述计算出的,该系统具有247计数的跨度
表示从64千帕至105千帕的压力。因此,该
分辨率:
分辨率= (系统压力范围) /
#总数量( 5 )
= ( 105千帕 - 64千帕) / 245计数
=每个A / D计数0.17千帕
的存储器空间字节。该MC68HC908QT4提供
用户FLASH的4096字节和128字节的随机存取
存储器(RAM) ,便于软件的开发和
维护。有五个双向输入/输出线
和一个输入行与其他引脚功能共享。
该MCU可在八针和16针
包在这两个引脚PDIP和SOIC封装。对于这种应用,所述
8引脚PDIP选择。在8引脚PDIP被选中
为小包装,最终被设计成
应用为8引脚SOIC封装。如果添加的电路
加入微控制器编程器,旋风分离器可能
用于设置在PCB上采用SOIC 。如果您的设计要求
软件更新,请咨询MC68HC908QT4手册
加入这个选项。
改进
这种设计的分辨率是由8位A / D转换的限制
转换器的微控制器。理论上,精度
通过本设备产生输出时达到
海拔高度变化相差约41.54英尺( ΔZ ) 。这发生在
大约千英尺海平面以下。由于该
压力和海拔的对数之间的关系
结果的准确性会随着设备被抬起。在
12000英尺海拔,设备应识别
约65.53英尺( ΔZ )所示的变化
表3中。
一个10位
12比特或甚至16位的A / D转换器可以在实现
为了增加该参考设计的解决方案。
微处理器
提供了信号处理的压力值,一
需要微处理器。单片机选用此
应用是MC68HC908QT4 。该MCU是完美的
对于家电应用由于其低成本,小八针
包,以及其它片上资源。该MC68HC908QT4
提供:四通道, 8位A / D, 16位定时器,
可微调的内部定时器,并在系统编程的FLASH 。
中央处理单元是基于高
高性能M68HC08 CPU内核,它可以解决64
AN1979
3
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2微控制器的精度比较
Z(英尺)
-1000
12000
-1000
12000
-1000
12000
-1000
12000
P(千帕)
105
64.259
105
64.259
105
64.259
105
64.259
V (MV )
20.265
12.852
20.265
12.852
20.265
12.852
20.265
12.852
(Vx–12.8)*650
(Vx–12.8)*650
(Vx–12.8)*650
放大器方案
(Vx–12.8)*650
妖女(MV )
4852.3
33.8
4852.3
33.8
4852.3
33.8
4852.3
33.8
妖女 - 1位
4832.6
14.2
4847.4
28.9
4851
32.6
4852.2
33.7
P0
20.265
12.852
20.265
12.852
20.265
12.852
20.265
12.852
Px
20.235
12.822
20.257
12.844
20.263
12.85
20.265
12.852
Z
(m)
12.66
19.97
3.15
4.97
0.79
1.24
0.05
0.08
Z
( FT )
41.54
65.53
10.35
16.32
2.59
4.08
0.16
0.25
8位
8位
10位
10位
12位
12位
16位
16位
表2
示出理论上的最大分辨率,这
参考设计可以实现。然而,这些因素诸如噪声
该电路中,传感器的灵敏度和电压偏移中
在扩增方案应考虑到
考虑。容纳这些因素在
软件可以过滤掉其中的一些因素。
进一步的测试以测定的准确性
参考设计,没有限制的A / D转换器。
显示
气压,气压的显示
压力历史,当前计算出的高度,及一个简单的
气象预报被显示在一个16×2的LCD 。
气压
历史
气压
101.3kPam
1170英尺
高度
(必须校准)
SEL
飞思卡尔
耳鼻喉科
-----_----- -----_
_-------
稳定
简单的天气
预测
选择按钮
ENTER按钮
图4显示气压
由于对双向数据引脚的数量有限
微控制器,系统被设计成串联缓冲
显示数据。使用移位寄存器来保存的显示数据,在
液晶显示器的驱动与来自仅三条线输出的
PTA3
PTA4
HC908QT4
PTA5
R2
1K
R3
1K
A
B
CLK
HC164
微控制器:一个使能线,数据线和时钟信号
而两个LED被复用的数据线和
CLOCK信号。
EN
RS
RW
液晶显示
D80
D81
D82
D83
D84
D85
D86
D87
VEE
图5.复用LCD电路
AN1979
传感器
飞思卡尔半导体公司
4
单片机的输出引脚复用允许
要完成的具有三个引脚的LCD的通信
而不是8或11个I / O引脚通常是必需的。随着八
位的移位寄存器,我们能够以手动的时钟在8位的
数据。使能线, EN ,手动启动时8
字节被移入后,告诉LCD的数据上的数据
总线可用于执行。液晶显示屏将只写入和
对比度可以以恒定的亮度被保持,从而使
读/写和VEE位保持低电平,同时最大限度地减少
额外的I / O线。
表3.零件清单
REF
U3
C1
C2
C3
D1
D2
S2, S3
U1
U2
U4
U5
U6
R1, R4
R2, R3
R5, R6
R7, R8
R9, R11
R10, R12
数量。
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
2
2
2
2
2
描述
压力传感器
V
CC
运算放大器帽
移位寄存器帽
红色LED
绿色LED
按钮
微控制器
16×2液晶B&W
移位寄存器
稳压器
四路运算放大器
1/4 W电阻
1/4 W电阻
1/4 W电阻
1/4 W电阻
1/4 W电阻
1/4 W电阻
价值
1.0
0.1
F
0.1
F
0.1
F
8-Pin
16x2
5.0 V
10 K
1.0 K
3.65 K
10 K
1.0 K
200 K
供应商
飞思卡尔
通用
通用
通用
通用
通用
通用
飞思卡尔
精工
得克萨斯州
飞兆半导体
ADI
通用
通用
通用
通用
通用
通用
MC68HC908QT4
L168200J000
74HC164
LM78L05ACH
AD8544
产品型号
MPXM2102A
其他
这个系统被设计成在一个9.0伏电池运行。它
包含一个5.0 V稳压器提供5.0 V电源
压力传感器,微控制器和LCD 。电池是
安装在电路板的使用节省空间的春天回来
电池夹。
英尺计算的高度,展示了一个简单的消息
气象预报,如“阳光灿烂” , “雨天” , “稳”无
压力的变化,以及足够的历史上“历史”
收集作出预测。中的右上角
显示器,滚动图形显示的历史数据点
较过去40压力读数。
高度计/气压计软件
本应用笔记介绍了软件版本
是出版过程中可用。然而更新的软件
版本可提供具有进一步的功能和菜单
选择。查看我们的网站更新的更新与传感器
产品参考设计。
校准和校准软件
有两种形式的校准该系统。第一
校准用于该系统的晴雨表一部分。这
您收到之前已经完成标定
参考设计并仅需要将每一次系统完成的。
要校准气压计模块,两点校准
使用高度精确的压力发生器进行。该
系统需要在64千帕的校准点和另一个在105
千帕。按住这两个系统的SEL和ENT键
电时将使系统进入校正模式。在这
点,校准菜单将与被显示
以前的采样偏移电压。重新校准系统,
适用于64千帕的压力,然后按SEL键( PB1 ) 。
该A / D值,然后保存到一个位置,在
微控制器的内存。以获得第二个校准
点,使用精确的压力发生器施加压力
为105千帕,直接到传感器。然后按ENT键
( PB2 ) 。这个信号被类似地采样,平均并保存到
软件使用说明
当系统接通时或复位时,微控制器
闪烁的LED选择,并显示在节目标题
LCD五秒钟或直到选择( SEL )按钮
推开。然后,在菜单画面。使用SELECT
( SEL)的按钮,用户可以通过菜单滚动
选择的软件程序。要运行高度表程序,
使用( SEL )选择按钮,以高光的“高度计/气压计”
选项,然后按确认( ENT )按钮。高度计
程序会显示当前的气压值时,
AN1979
5
传感器
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司...
传感器
器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
www.motorola.com/semiconductors
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数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
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一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
ii
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传感器
设备数据
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在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
第5版
摩托罗拉公司2003
“版权所有”
美国印刷
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
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摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
通过MPXM2102 / D
100千帕
片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPXM2102装置是硅压阻式压力传感器提供高度
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。该
传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的应变仪和薄膜
电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光调整,精确范围和偏移
校准和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
独特的硅剪应力应变计
易于使用的磁带卷&
供电电压成正比
压力表阀块&无阀块选项
应用实例
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
图1示出的内部电路上的独立压力的方框图
传感器芯片。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
电路
1
GND
MPXM2102
系列
摩托罗拉的首选设备
0 100千帕( 0 14.5 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
SCALE 2 : 1
CASE 1320A -02
MPAK ,风格1
SCALE 2 : 1
CASE 1320A -02
MPAK ,样式2
引脚数
1
2
4
V
OUT +
V
OUT-
GND
+V
OUT
3
4
V
S
–V
OUT
X -能器
传感
元素
2
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
首选
设备是摩托罗拉建议以供将来使用和最佳的总体值的选择。
的X能器是摩托罗拉公司的一个商标。
REV 0
摩托罗拉公司2000
MPXM2102系列
最大额定值
等级
超压
(8)
( P1 > P2 )
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
储存温度
工作温度
工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
0
38.5
–1.0
–2.0
–0.6
–1.0
–2.0
–1.0
1000
1400
典型值
10
6.0
40
0.4
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
最大
100
16
41.5
1.0
2.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2500
3000
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
压力滞后
(5)
(0至100千帕)
温度迟滞
(5)
( -40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
热身
偏移稳定性
(9)
机械特性
特征
重量
共模线压力
(7)
符号
典型值
待定
最大
待定
单位
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPXM2102系列
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见图2)或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的) ,并且校准
算结果是更直接的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测定中端的压力。
最小二乘法拟合
相对电压输出
夸大
性能
曲线
至少
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图2.线性度规格比较
片上温度补偿和校准
图3示出的最小值,最大值和典型输出
该MPXM2102系列,在25℃的特性。输出
是正比于压力差而被第ES
sentially一条直线。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。
40
35
OUTPUT ( MVDC )
30
25
20
15
10
5
PSI
0
-5
0
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25°C
P1 P2 >
最大
典型值
跨度
范围
(典型值)
25
3.62
50
7.25
75
10.87
100
14.5
OFFSET
(典型值)
图3.输出与差压
订购信息
设备类型
MPXM2102D
MPXM2102DT1
MPXM2102GS
MPXM2102GST1
MPXM2102A
MPXM2102AT1
MPXM2102AS
MPXM2102AST1
选项
非移植
非移植,磁带和卷轴
移植
移植,磁带和卷轴
非移植
非移植,磁带和卷轴
移植
移植,磁带和卷轴
摩托罗拉传感器设备数据
3
MPXM2102系列
包装尺寸
0.25 (0.10)
D
1
M
T B
S
A
S
VENT
0.040
注意事项:
1.尺寸和公差符合ANSI
Y14.5M , 1982年。
2.控制尺寸:英寸。
英寸
MILLIMETERS
最大
最大
0.325
0.335
8.25
8.51
0.245
0.255
6.22
6.48
0.155
0.165
3.94
4.19
0.014
0.018
0.35
0.46
0.120
0.130
3.05
3.30
0.020
0.030
0.51
0.76
0.050
1.27
0.009
0.011
0.23
0.28
0.002
0.010
0.05
0.25
0
_
7
_
0
_
7
_
0.475
0.485
12.06
12.32
–B–
G
4
–A–
P
暗淡
A
B
C
D
E
F
G
J
K
M
P
C
J
F
M
BACKSIDE VENT
K
–T–
飞机座位
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
GND
+V
OUT
V
S
-V
OUT
E
CASE 1320A -02
MPAK ,风格1
0.25 (0.10)
D
1
M
T B
S
A
S
注意事项:
1.尺寸和公差符合ANSI
Y14.5M , 1982年。
2.控制尺寸:英寸。
英寸
MILLIMETERS
最大
最大
0.325
0.335
8.25
8.51
0.245
0.255
6.22
6.48
0.377
0.397
9.57
10.08
0.014
0.018
0.35
0.46
0.120
0.130
3.05
3.30
0.020
0.030
0.51
0.76
0.050
1.27
0.009
0.011
0.23
0.28
0.002
0.010
0.05
0.25
0
_
7
_
0
_
7
_
0.475
0.485
12.06
12.32
0.107
0.117
2.71
2.97
0.192
0.202
4.88
5.13
0.283
0.293
7.19
7.44
0.363
0.373
9.22
9.47
GND
+V
OUT
V
S
-V
OUT
V
G
4
W
P
S
U
C
J
F
–A–
M
E
–B–
K
–T–
飞机座位
暗淡
A
B
C
D
E
F
G
J
K
M
P
S
U
V
W
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
CASE 1320A -02
MPAK ,样式2
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPXM2102系列
笔记
摩托罗拉传感器设备数据
5
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司...
传感器
器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
www.motorola.com/semiconductors
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飞思卡尔半导体公司
数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
飞思卡尔半导体公司...
一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
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传感器
设备数据
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在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
第5版
摩托罗拉公司2003
“版权所有”
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
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技术参数
MPXM2102
转4 , 09/2005
100千帕片内温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPXM2102装置是硅压阻式压力传感器提供的
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的
压力。该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的应变
测量和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光
修剪精确范围和偏移校正和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
提供易于使用磁带&卷轴
供电电压成正比
衡量了移植和非阀块选项
MPXM2102
系列
补偿和校准
压力传感器
0 100千帕( 0 14.5 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
MPAK套餐
典型应用
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
订购信息
设备
TYPE
移植
选项
绝对
绝对
移植
压力表,轴向
PORT
压力表,轴向
PORT
MPX系列
订单号
填料
选项
轨道
设备
记号
MPXM2102D
1
2
MPXM2102D/A
案例1320年至1302年
MPXM2102GS/AS
CASE 1320A -02
引脚数
GND
+V
OUT
3
4
V
S
-V
OUT
1320 MPXM2102D
1320 MPXM2102DT1
1320 MPXM2102A
1320 MPXM2102AT1
1320A MPXM2102GS
1320A MPXM2102GST1
磁带&卷轴MPXM2102D
轨道
MPXM2102A
磁带&卷轴MPXM2102A
轨道
MPXM2102G
磁带&卷轴MPXM2102G
轨道
MPXM2102A
绝对的,轴向1320A MPXM2102AS
PORT
绝对的,轴向1320A MPXM2102AST1
PORT
磁带&卷轴MPXM2102A
飞思卡尔半导体公司2005年版权所有。
图1示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的方框图。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
电路
1
GND
X -能器
传感
元素
2
V
OUT +
4 V
OUT-
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与
应用差压
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
表1.最大额定值
(1)
等级
高压
储存温度
工作温度
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
相对于所述真空侧侧。同样,输出电压
随着越来越多的真空施加到真空
相对于压力侧侧。
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPXM2102
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25°C.)
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至100千帕)
温度迟滞
(5)
( -40°C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
热身
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0至85℃的温度范围内,相对于25 ℃。
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
0
38.5
-1.0
-2.0
-0.6
-1.0
-2.0
-1.0
1000
1400
典型值
10
6.0
40
0.4
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
最大
100
16
-
41.5
1.0
2.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2500
3000
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPXM2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图2)
或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。该
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
曲线
相对电压输出
至少
偏差
至少
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图2中。
线性度规格比较
片上温度
补偿和校准
科幻gure 3
示最小,最大和典型输出
该MPXM2120系列,在25℃的特性。输出
是正比于压力差而被第ES
sentially一条直线。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。
40
35
30
OUTPUT ( MVDC )
25
20
15
10
5
0
-5
0
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25°C
典型值
最大
跨度
范围
(典型值)
PSI
25
3.62
50
7.25
75
10.87
100
14.5
OFFSET
(典型值)
图3.输出与差压
MPXM2102
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
包装尺寸
第1页2
案例1320年至1302年
问题B
MPXM2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
压力
飞思卡尔半导体公司
+
MPX2102
转8 , 10/2010
100千帕片内温度
补偿硅
压力传感器
该MPX2102系列器件的硅压阻式压力传感器
提供一种高度精确的和线性的电压输出正比于
施加的压力。该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的
应变仪和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光
修剪精确范围和偏移校正和温度补偿。
MPX2102
系列
0 100千帕( 0 14.5 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
应用实例
泵/电机控制
机器人
液位探测器
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
易于使用芯片载体封装选项
提供绝压,差压和表压配置
绝压,差压和表压选项
订购信息
选项
一体成型机身包( MPX2102系列)
MPX2102A
TRAY
MPX2102AP
TRAY
设备名称
MPX2102ASX
MPX2102DP
MPX2102GP
MPX2102GVP
TRAY
TRAY
TRAY
344
344B
344F
344C
344B
#端口
单身
压力式
绝对差
器件标识
MPX2102A
MPX2102AP
MPX2102A
MPX2102DP
MPX2102GP
MPX2102GVP
MPXV2102GP
TRAY
344D
小外形封装( MPXV2102G系列)
MPXV2102GP
TRAY
1369
MPAK包( MPXM2102系列)
MPXM2102A
1320
MPXM2102AT1
磁带和卷轴
1320
MPXM2102AS
MPXM2102AST1
MPXM2102D
MPXM2102DT1
MPXM2102GS
MPXM2102GST1
磁带和卷轴
磁带和卷轴
磁带和卷轴
1320A
1320A
1320
1320
1320A
1320A
MPXM2102A
MPXM2102A
MPXM2102AS
MPXM2102AS
MPXM2102D
MPXM2102D
MPXM2102GS
MPXM2102GS
飞思卡尔半导体公司, 2005年至2008年, 2010年。保留所有权利。
压力
UNIBODY套餐
MPX2102A
CASE 344
MPX2102AP/GP
CASE 344B
MPX2102DP
CASE 344C
MPX2102GVP
CASE 344D
MPX2102ASX
CASE 344F
小外形封装
MPAK
MPXV2102GP
CASE 1369
MPXM2102A/ATI
MPXM2102D/DT1
CASE 1320
MPXM2102AS/AST1
MPXM2102GS/AS
CASE 1320A
MPX2102
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 10 V
DC
, T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
MPX2102D系列
MPX2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
灵敏度
线性
(5)
MPX2102D系列
MPX2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
压力滞后
(5)
(0至100千帕)
温度迟滞
(5)
( -40°C至+ 125°C )
满量程的温度系数
(5)
偏移量的温度系数
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
预热时间
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小相关的压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在被指定的范围内,任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从最小
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0至85℃的温度范围内,相对于25 ℃。
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
IN
Z
OUT
t
R
-0.6
-1.0
-0.6
-1.0
-2.0
-1.0
1000
1400
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
0.4
1.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2500
3000
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
W
W
ms
ms
%V
FSS
V
关闭
V
关闭
ΔV/ΔΡ
-1.0
-2.0
-1.0
-2.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2.0
mV
mV
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
0
38.5
典型值
10
6.0
40
最大
100
16
41.5
单位
V
DC
MADC
mV
毫伏/帕
当经受6.响应时间定义为从输出中的增量变化的时间从10%至到90 %其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPX2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
电压输出与微分的应用
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
绝对传感器具有一个内置的基准真空。该
输出电压将随真空度,相对于周围环境,
被描绘在压力(P1)的一侧。
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
(P1)的一侧相对于所述真空(P2)的一侧。同样,输出
电压随着增加真空施加到
相对于压力(P1)的一侧真空(P2)的一侧。
图1
示出的内部电路的方框图。
上独立的压力传感器芯片。
V
S
3
X -能器
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
校准
电路
1
GND
2 +V
OUT
4 -V
OUT
图1.温度补偿压力传感器的原理
MPX2102
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
片上温度补偿和校准
图2
示出了MPX2102的输出特性
系列,在25℃ 。的输出是正比于
压差和基本上是一条直线。
40
35
30
25
输出(MV
DC
)
20
15
10
5
0
PSI
-5
0
25
3.62
50
7.25
75
10.88
14.5
OFFSET
(典型值)
最大
VS = 10 V
DC
TA = 25°C
MPX2102
P1 P2 >
温度对满量程和失调的影响
是非常小的,并在工作列
的特点。
典型值
跨度
范围
(典型值)
100
图2.输出与差压
硅凝胶
模涂
差分/压力表
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
硅凝胶
模涂
引线键合
绝对
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线键合
引线框架
差分/ GaugeElement
P2
BOND
DIE
引线框架
ABSOLUTE元
P2
DIE
BOND
图3的剖视图(不按比例)
科幻gure 3
说明绝对传感配置
(右)和在基本差分或测量仪配置
芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离模具表面
从环境和引线键合,同时使
压力信号被传输到硅膜片。
该MPX2102系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图4)
或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
曲线
相对电压输出
至少
偏差
直线
偏差
终点直
线飞度
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图4.线性度规格比较
MPX2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
压力
飞思卡尔半导体公司
100千帕片内温度
补偿硅
压力传感器
该MPX2102系列器件的硅压阻式压力传感器
提供一种高度精确的和线性的电压输出正比于
施加的压力。该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的
应变仪和一个薄膜电阻器网络芯片上集成。该芯片是激光
修剪精确范围和偏移校正和温度补偿。
文档编号: MPX2102
第9版, 01/2012
MPX2102
系列
0 100千帕( 0 14.5 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
应用实例
泵/电机控制
机器人
液位探测器
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
易于使用芯片载体封装选项
提供绝压,差压和表压配置
绝压,差压和表压选项
订购信息
选项
一体成型机身包( MPX2102系列)
MPX2102A
TRAY
MPX2102AP
TRAY
设备名称
MPX2102ASX
MPX2102DP
MPX2102GP
MPX2102GVP
TRAY
TRAY
TRAY
344
344B
344F
344C
344B
#端口
单身
压力式
绝对差
器件标识
MPX2102A
MPX2102AP
MPX2102A
MPX2102DP
MPX2102GP
MPX2102GVP
MPXV2102GP
TRAY
344D
小外形封装( MPXV2102G系列)
MPXV2102GP
TRAY
1369
MPAK包( MPXM2102系列)
MPXM2102A
1320
MPXM2102AT1
磁带和卷轴
1320
MPXM2102AS
MPXM2102AST1
MPXM2102D
MPXM2102DT1
MPXM2102GS
MPXM2102GST1
磁带和卷轴
磁带和卷轴
磁带和卷轴
1320A
1320A
1320
1320
1320A
1320A
MPXM2102A
MPXM2102A
MPXM2102AS
MPXM2102AS
MPXM2102D
MPXM2102D
MPXM2102GS
MPXM2102GS
2005-2008年, 2010年, 2012飞思卡尔半导体, Inc.保留所有权利。
压力
UNIBODY套餐
MPX2102A
CASE 344
MPX2102AP/GP
CASE 344B
MPX2102DP
CASE 344C
MPX2102GVP
CASE 344D
MPX2102ASX
CASE 344F
小外形封装
MPAK
MPXV2102GP
CASE 1369
MPXM2102A/ATI
MPXM2102D/DT1
CASE 1320
MPXM2102AS/AST1
MPXM2102GS/AS
CASE 1320A
MPX2102
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 10 V
DC
, T
A
= 25
°
C除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
绝对压力范围MPX2102A
差压量程MPX2102D
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
MPX2102D系列
MPX2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
灵敏度
线性
(5)
MPX2102D系列
MPX2102A系列
MPXM2102D / G系列
MPXM2102A系列
压力滞后
(5)
(0至100千帕)
温度迟滞
(5)
( -40°C至+ 125°C )
满量程的温度系数
(5)
偏移量的温度系数
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
预热时间
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小相关的压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点的方法,在指定的压力范围内。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:在被指定的范围内,任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从最小或
最大额定压力在25℃ 。
TcSpan :超过0的温度范围内充分额定压力至85° C输出偏差,相对于25 ℃。
TcOffset :与最小额定压力输出偏差施加,在0至85℃的温度范围内,相对于25 ℃。
当经受6.响应时间定义为从输出中的增量变化的时间从10%至到90 %其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
IN
Z
OUT
t
R
-0.6
-1.0
-0.6
-1.0
-2.0
-1.0
1000
1400
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
0.4
1.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2500
3000
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
W
W
ms
ms
%V
FSS
V
关闭
V
关闭
ΔV/ΔΡ
-1.0
-2.0
-1.0
-2.0
0.4
1.0
2.0
1.0
2.0
mV
mV
P
OP
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
20
0
38.5
10
6.0
40
100
100
16
41.5
V
DC
MADC
mV
符号
典型值
最大
单位
毫伏/帕
MPX2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
电压输出与微分的应用
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
绝对传感器具有一个内置的基准真空。该
输出电压将随真空度,相对于周围环境,
被描绘在压力(P1)的一侧。
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
(P1)的一侧相对于所述真空(P2)的一侧。同样,输出
电压随着增加真空施加到
相对于压力(P1)的一侧真空(P2)的一侧。
图1
示出的内部电路的方框图。
上独立的压力传感器芯片。
V
S
3
X -能器
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
校准
电路
1
GND
2 +V
OUT
4 -V
OUT
图1.温度补偿压力传感器的原理
MPX2102
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
片上温度补偿和校准
图2
示出了MPX2102的输出特性
系列,在25℃ 。的输出是正比于
压差和基本上是一条直线。
40
35
30
25
输出(MV
DC
)
20
15
10
5
0
PSI
-5
0
25
3.62
50
7.25
75
10.88
14.5
OFFSET
(典型值)
最大
VS = 10 V
DC
TA = 25°C
MPX2102
P1 P2 >
温度对满量程和失调的影响
是非常小的,并在工作列
的特点。
典型值
跨度
范围
(典型值)
100
图2.输出与差压
硅凝胶
模涂
差分/压力表
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
硅凝胶
模涂
引线键合
绝对
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线键合
引线框架
差分/ GaugeElement
P2
BOND
DIE
引线框架
ABSOLUTE元
P2
DIE
BOND
图3的剖视图(不按比例)
科幻gure 3
说明绝对传感配置
(右)和在基本差分或测量仪配置
芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离模具表面
从环境和引线键合,同时使
压力信号被传输到硅膜片。
该MPX2102系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图4)
或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
曲线
相对电压输出
至少
偏差
直线
偏差
终点直
线飞度
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图4.线性度规格比较
MPX2102
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
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全新原装正品/质量有保证
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