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飞思卡尔半导体公司
技术参数
文档编号: MPXM2053
REV 5.0 , 05/2006
50千帕片内温度
补偿和校准
硅压力传感器
该MPXM2053装置是硅压阻式压力传感器提供一个
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的
压力。该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的应变
测量和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光
修剪精确范围和偏移校正和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
提供易于使用磁带&卷轴
供电电压成正比
衡量了移植和非阀块选项
MPXM2053
系列
补偿和校准
压力传感器
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
MPAK套餐
典型应用
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
无创血压测量
订购信息
设备
TYPE
选项
MPX系列
订单号
填料
选项
轨道
设备
记号
MPXM2053D
1
2
MPXM2053D/DT
案例1320年至1302年
MPXM2053GS/GST1
CASE 1320A -02
引脚数
GND
+V
OUT
3
4
V
S
-V
OUT
非移植绝对,
只有元素
绝对的,轴向
PORT
移植
1320 MPXM2053D
1320 MPXM2053DT1
磁带&卷轴MPXM2053D
轨道
MPXM2053G
绝对的,轴向1320A MPXM2053GS
PORT
绝对的,
只有元素
1320A MPXM2053GST1
磁带&卷轴MPXM2053G
飞思卡尔半导体公司2006年版权所有。
图1
示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的方框图。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
X -能器
传感
元素
2
4
V
OUT +
V
OUT-
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与微分的应用
压力
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
表1.最大额定值
(1)
等级
高压
储存温度
工作温度
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
相对于所述真空侧侧。同样,输出电压
随着越来越多的真空施加到真空
相对于压力侧侧。
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPXM2053
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25°C)
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至50千帕)
温度迟滞
(5)
( -40°C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
热身
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
0
38.5
-1.0
-0.6
-2.0
-1.0
1000
1400
典型值
10
6.0
40
0.8
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
最大
50
16
41.5
1.0
0.4
2.0
1.0
2500
3000
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPXM2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图2)
or
( 2 )最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。该
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
曲线
相对电压输出
至少
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图2.线性度规格比较
片上温度
补偿和校准
科幻gure 3
示最小,最大和典型输出
该MPXM2053系列,在25℃的特性。输出
成正比的压力差,并
基本上是一条直线。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。
40
35
OUTPUT ( MVDC )
30
25
20
15
10
5
0
-5
0
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25°C
典型值
最大
跨度
范围
(典型值)
PSI
12.5
1.8
25
3.6
37.5
5.4
50
7.25
OFFSET
(典型值)
图3.输出与差压
MPXM2053
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
包装尺寸
第1页2
案例1320年至1302年
问题B
MPXM2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
压力
飞思卡尔半导体公司
50千帕片内温度
补偿和校准
硅压力传感器
该MPX2053系列器件的硅压阻式压力传感器
提供一个高度精确的和线性的电压输出正比于
施加的压力。一个单一的,单片硅膜片的应变计和
一种集成薄膜电阻网络。精确的量程和偏移校准
温度补偿是通过激光微调来实现。
MPX2053
转8 , 02/2009
MPX2053
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
易于使用芯片载体封装选项
供电电压成正比
衡量了移植和非阀块选项
提供易于使用磁带&卷轴
差分和表压选项
订购信息
设备名称
案件编号:
#端口
单身
应用实例
泵/电机控制
机器人
液位探测器
医疗诊断
压力开关
测量血压
压力式
迪FF erential
绝对
器件标识
小外形封装( MPXV2053G系列)
MPXV2053GP
1369
MPXV2053DP
1351
MPXV2053GVP
1368
一体成型机身包( MPX2053系列)
MPX2053D
344
MPX2053DP
344C
MPX2053GP
344B
MPAK包( MPXM2053系列)
MPXM2053D
1320
MPXM2053DT1
1320
MPXM2053GS
1320A
MPXM2053GST1
1320A
MPXV2053GP
MPXV2053DP
MPXV2053GV
MPX2053D
MPX2053DP
MPX2053GP
MPXM2053D
MPXM2053D
MPXM2053GS
MPXM2053GS
飞思卡尔半导体公司, 2005-2009 。版权所有。
压力
UNIBODY套餐
MPX2053D
CASE 344-15
MPX2053GP
CASE 344B -01
MPX2053DP
CASE 344C -01
小外形封装
MPXV2053GVP
案例1368年至1301年
MPXV2053GP
CASE 1369至01年
MPXV2053DP
CASE 1351至01年
MPAK套餐
MPXM2053D/DT1
案例1320年至1302年
MPXM2053GS/GST1
CASE 1320A -02
MPX2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
2
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 10 V
DC
, T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
非线性
压力滞后( 0到50千帕)
温度迟滞( -40°至125°C )
满量程的温度系数
偏移量的温度系数
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(5)
(10%至90%)的
预热时间
偏移稳定性
(6)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.偏移稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FS
TCV
FS
TCV
关闭
Z
IN
Z
OUT
t
R
0
38.5
–1.0
ΔV / ΔP
–0.6
–2.0
–1.0
1000
1400
典型值
10
6.0
40
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
最大
50
16
41.5
1.0
0.8
0.4
2.0
1.0
2500
3000
单位
V
DC
MADC
mV
mV
%V
FS
%V
FS
%V
FS
%V
FS
mV
Ω
Ω
ms
ms
%V
FS
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
电源电压
压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度范围
最大值
16
200
-40到+125
-40到+125
单位
V
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPX2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
X -能器
传感
元素
2
4
V
OUT +
V
OUT-
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
相对于所述真空侧侧。同样,输出电压
随着越来越多的真空施加到真空
相对于压力侧侧。
片上温度补偿和校准
图2
示最小,最大和典型输出
该MPX2053系列在25C的特点。的输出是
成正比的压力差,并
基本上是一条直线。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。
40
35
OUTPUT ( MVDC )
30
25
20
15
10
5
0
-5
0
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25°C
典型值
最大
跨度
范围
(典型值)
PSI
12.5
1.8
25
3.6
37.5
5.4
50
7.25
OFFSET
(典型值)
图2.输出与差压
MPX2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
4
压力
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图3)
or
( 2 )最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。该
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
相对电压输出
至少
偏差
直线
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图3.线性度规格比较
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX2053系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
请参考应用笔记AN3728 ,以获取更多信息
有关介质兼容性。
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线框架
P2
RTV DIE
BOND
图4.承载式车身包 - 剖面图(不按比例)
MPX2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司...
传感器
器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
www.motorola.com/semiconductors
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
飞思卡尔半导体公司
数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
飞思卡尔半导体公司...
一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
ii
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
飞思卡尔半导体公司
传感器
设备数据
飞思卡尔半导体公司...
在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
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使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
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摩托罗拉公司2003
“版权所有”
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPXM2053
第2版, 10/2004
50千帕
片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPXM2053装置的硅压阻式压力传感器提供高度
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。该
传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的应变仪和一个薄 - 膜
电阻网络集成 - 芯片。该芯片是激光调整,精确范围和偏移
校准和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
可在易 - 到 - 使用磁带&卷轴
供电电压成正比
压力表阀块&无阀块选项
应用实例
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
非 - 创血压测量
图1示出的内部电路在支架上的方框图 - 单独压力
传感器芯片。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
电路
1
GND
MPXM2053
系列
飞思卡尔半导体首选设备
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
MPAK包装
比例为1 : 1
MPXM2053D/DT1
CASE 1320
比例为1 : 1
2
4
X - 能器
传感
元素
V
OUT +
V
out--
MPXM2053GS/GST1
CASE 1320A
引脚数
1
2
GND
+V
OUT
3
4
V
S
--V
OUT
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
首选
器件是Freescale半导体建议以供将来使用和最佳的总体值的选择。
飞思卡尔半导体公司2004版权所有。
MPXM2053系列
1
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
最大额定值
(注)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
--40到125
--40到125
单位
°C
°C
注:曝光超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至50千帕)
温度迟滞
(5)
( --40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
暖 - 最多
偏移稳定性
(7)
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
0
38.5
--1.0
--0.6
--2.0
--1.0
1000
1400
典型值
10
6.0
40
0.8
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
最大
50
16
41.5
1.0
0.4
2.0
1.0
2500
3000
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误是由于设备自身 - 加热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPXM2053系列
2
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见图2)或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的) ,并且校准
算结果是更直接的用户。飞思卡尔
安森美半导体的指定压力传感器的非线性
基于在所测量的结束点的直线的方法
中端的压力。
最小二乘法拟合
相对电压输出
夸大
性能
曲线
至少
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图2.线性度规格比较
导通
片内温度补偿和校准
图3示出的最小值,最大值和典型输出
该MPXM2053系列,在25℃的特性。输出
是正比于压力差而被第ES
sentially一条直线。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。
40
35
OUTPUT ( MVDC )
30
25
20
15
10
5
PSI
0
--5
0
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25°C
P1 P2 >
最大
典型值
跨度
范围
(典型值)
12.5
1.8
25
3.6
37.5
5.4
50
7.25
OFFSET
(典型值)
图3.输出与差压
订购信息
设备类型
MPXM2053D
MPXM2053DT1
MPXM2053GS
MPXM2053GST1
选项
非 - 移植
非 - 移植,磁带和卷轴
移植
移植,磁带和卷轴
任何情况下,
1320
1320
1320A
1320A
MPXM2053系列
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
3
包装尺寸
2X
0.006 C A B
E
e
引脚4
注意事项:
1.尺寸以英寸。
2. INTERPRET尺寸和公差PER
ASME Y14.5M - 1994年。
3.尺寸“D”和“E1”不包括塑模
FLASH或突出。塑模毛边或
PROTRUSION不得超过0.006 “每边。
4.所有垂直表面为5 °最大。
5.尺寸“B ”不包括密封条
前伸。允许的dambar突出
SHALL BE 0.008最大。
英寸
最大
.155
.165
.002
.010
.014
.018
.120
.130
.245
.255
.475
.485
.325
.335
.050 BSC
0.025 BSC
.038
.048
0
°
7
°
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
e/2
b1
0.004
M
销1
C A B
4X
b
C A B
0.004
M
E1
B
A
D
暗淡
A
A1
b
b1
D
E
E1
e
e/2
L
θ
GND
+ VOUT
Vs
--Vout
A
0.004
DETAIL ê
C
座位
飞机
.014
抵押品
飞机
A1
L
DETAIL ê
θ
CASE 1320-
-02
发出
MPAK ,风格1
MPXM2053系列
4
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
包装尺寸
2X
0.006 C A B
E
e
e/2
A1
L
DETAIL ê
4X
.014
抵押品
飞机
θ
b
C A B
b1
0.004
M
N
C A B
0.004
M
P
注意事项:
1.尺寸以英寸。
2. INTERPRET尺寸和公差PER
ASME Y14.5M - 1994年。
3.尺寸“D”和“E1”不包括塑模
FLASH或突出。塑模毛边或
PROTRUSION不得超过0.006 “每边。
4.所有垂直表面为5 °最大。
5.尺寸“B ”不包括密封条
前伸。允许的dambar突出
SHALL BE 0.008最大。
英寸
最大
.377
.397
.002
.010
.014
.018
.120
.130
.245
.255
.475
.485
.325
.335
.050 BSC
0.025 BSC
.013
.023
.283
.293
.363
.373
.107
.117
.192
.202
0
°
7
°
S
A
DETAIL ê
0.004
E1
C
座位
飞机
B
A
D
暗淡
A
A1
b
b1
D
E
E1
e
e/2
L
M
N
P
S
θ
CASE 1320A-
-02
发行
MPAK ,风格1
MPXM2053系列
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
5
压力
飞思卡尔半导体公司
50千帕片内温度
补偿和校准
硅压力传感器
该MPX2053系列器件的硅压阻式压力传感器
提供一个高度精确的和线性的电压输出正比于
施加的压力。一个单一的,单片硅膜片的应变计和
一种集成薄膜电阻网络。精确的量程和偏移校准
温度补偿是通过激光微调来实现。
MPX2053
第七版, 10/2008
MPX2053
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
易于使用芯片载体封装选项
供电电压成正比
衡量了移植和非阀块选项
提供易于使用磁带&卷轴
差分和表压选项
订购信息
设备名称
案件编号:
#端口
单身
应用实例
泵/电机控制
机器人
液位探测器
医疗诊断
压力开关
测量血压
压力式
迪FF erential
绝对
器件标识
小外形封装( MPXV2053G系列)
MPXV2053GP
1369
MPXV2053DP
1351
MPXV2053GVP
1368
一体成型机身包( MPX2053系列)
MPX2053D
344
MPX2053DP
344C
MPX2053GP
344B
MPAK包( MPXM2053系列)
MPXM2053D
1320
MPXM2053DT1
1320
MPXM2053GS
1320A
MPXM2053GST1
1320A
MPXV2053GP
MPXV2053DP
MPXV2053GV
MPX2053D
MPX2053DP
MPX2053GP
MPXM2053D
MPXM2053D
MPXM2053GS
MPXM2053GS
飞思卡尔半导体公司, 2005-2008 。版权所有。
压力
UNIBODY套餐
MPX2053D
CASE 344-15
MPX2053GP
CASE 344B -01
MPX2053DP
CASE 344C -01
小外形封装
MPXV2053GP
案例1368年至1301年
MPXV2053GP
CASE 1369至01年
MPXV2053DP
CASE 1351至01年
MPAK套餐
MPXM2053D/DT1
案例1320年至1302年
MPXM2053GS/GST1
CASE 1320A -02
MPX2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
2
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 10 V
DC
, T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
非线性
压力滞后( 0到50千帕)
温度迟滞( -40°至125°C )
满量程的温度系数
偏移量的温度系数
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(5)
(10%至90%)的
预热时间
偏移稳定性
(6)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.偏移稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FS
TCV
FS
TCV
关闭
Z
IN
Z
OUT
t
R
0
38.5
–1.0
ΔV / ΔP
–0.6
–2.0
–1.0
1000
1400
典型值
10
6.0
40
±0.1
±0.5
1.0
20
±0.5
最大
50
16
41.5
1.0
0.8
0.4
2.0
1.0
2500
3000
单位
V
DC
MADC
mV
mV
%V
FS
%V
FS
%V
FS
%V
FS
mV
Ω
Ω
ms
ms
%V
FS
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
电源电压
压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度范围
最大值
16
200
-40到+125
-40到+125
单位
V
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPX2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
X -能器
传感
元素
2
4
V
OUT +
V
OUT-
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
相对于所述真空侧侧。同样,输出电压
随着越来越多的真空施加到真空
相对于压力侧侧。
片上温度补偿和校准
图2
示最小,最大和典型输出
该MPX2053系列在25C的特点。的输出是
成正比的压力差,并
基本上是一条直线。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。
40
35
OUTPUT ( MVDC )
30
25
20
15
10
5
0
-5
0
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25°C
典型值
最大
跨度
范围
(典型值)
PSI
12.5
1.8
25
3.6
37.5
5.4
50
7.25
OFFSET
(典型值)
图2.输出与差压
MPX2053
传感器
飞思卡尔半导体公司
4
压力
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图3)
or
( 2 )最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。该
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
相对电压输出
至少
偏差
直线
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图3.线性度规格比较
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX2053系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
请参考应用笔记AN3728 ,以获取更多信息
有关介质兼容性。
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线框架
P2
RTV DIE
BOND
图4.承载式车身包 - 剖面图(不按比例)
MPX2053
传感器
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传感器
器件数据手册
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数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
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一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
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传感器
设备数据
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在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
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“版权所有”
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
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第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
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压力
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数据表:技术数据
MPX2053
第9版,二千○一十二分之一十
50千帕片内温度
补偿和校准
硅压力传感器
该MPX2053系列器件的硅压阻式压力传感器
提供一个高度精确的和线性的电压输出正比于
施加的压力。一个单一的,单片硅膜片的应变计和
一种集成薄膜电阻网络。精确的量程和偏移校准
温度补偿是通过激光微调来实现。
MPX2053
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
易于使用芯片载体封装选项
供电电压成正比
衡量了移植和非阀块选项
提供易于使用磁带&卷轴
差分和表压选项
订购信息
设备名称
案件编号:
#端口
单身
应用实例
泵/电机控制
机器人
液位探测器
医疗诊断
压力开关
测量血压
压力式
迪FF erential
绝对
器件标识
小外形封装( MPXV2053G系列)
MPXV2053GP
1369
MPXV2053DP
1351
一体成型机身包( MPX2053系列)
MPX2053D
344
MPX2053DP
344C
MPX2053GP
344B
MPAK包( MPXM2053系列)
MPXM2053D
1320
MPXM2053DT1
1320
MPXM2053GS
1320A
MPXM2053GST1
1320A
MPXV2053GP
MPXV2053DP
MPX2053D
MPX2053DP
MPX2053GP
MPXM2053D
MPXM2053D
MPXM2053GS
MPXM2053GS
2005-2009 , 2012飞思卡尔半导体公司保留所有权利。
压力
UNIBODY套餐
MPX2053D
CASE 344-15
MPX2053GP
CASE 344B -01
MPX2053DP
CASE 344C -01
小外形封装
MPXV2053GP
CASE 1369至01年
MPXV2053DP
CASE 1351至01年
MPAK套餐
MPXM2053D/DT1
案例1320年至1302年
MPXM2053GS/GST1
CASE 1320A -02
MPX2053
传感器
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2
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 10 V
DC
, T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
非线性
压力滞后( 0到50千帕)
温度迟滞( -40°至125°C )
满量程的温度系数
偏移量的温度系数
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(5)
(10%至90%)的
预热时间
偏移稳定性
(6)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.偏移稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FS
TCV
FS
TCV
关闭
Z
IN
Z
OUT
t
R
0
38.5
–1.0
ΔV / ΔP
–0.6
–2.0
–1.0
1000
1400
典型值
10
6.0
40
0.1
0.5
1.0
20
0.5
最大
50
16
41.5
1.0
0.8
0.4
2.0
1.0
2500
3000
单位
V
DC
MADC
mV
mV
%V
FS
%V
FS
%V
FS
%V
FS
mV
ms
ms
%V
FS
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
电源电压
压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度范围
最大值
16
200
-40到+125
-40到+125
单位
V
C
C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPX2053
3
传感器
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压力
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
校准
X -能器
传感
元素
2
4
V
OUT +
V
OUT-
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出直接
正比于所施加的压力差。
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
相对于所述真空侧侧。同样,输出电压
随着越来越多的真空施加到真空
相对于压力侧侧。
片上温度补偿和校准
图2
示最小,最大和典型输出
该MPX2053系列在25C的特点。的输出是
成正比的压力差,并
基本上是一条直线。
将硅酮胶隔离模具表面和引线键合
的环境,同时使压力信号是
发送给硅膜片。
40
35
OUTPUT ( MVDC )
30
25
20
15
10
5
0
-5
0
V
S
= 10 VDC
T
A
= 25C
典型值
最大
跨度
范围
(典型值)
PSI
12.5
1.8
25
3.6
37.5
5.4
50
7.25
OFFSET
(典型值)
图2.输出与差压
MPX2053
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4
压力
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图3)
or
( 2 )最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。该
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
相对电压输出
至少
偏差
直线
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图3.线性度规格比较
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX2053系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
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硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
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